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PECVD(等离子体增强化学气相沉积)
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研微半导体完成近7亿元A轮融资,引入高瓴资本、中证投资等
搜狐财经· 2026-02-23 10:12
公司融资与股东情况 - 研微半导体完成A轮融资,总融资额近7亿元人民币 [1] - 新引入石溪资本、金石投资、高瓴资本、安芯资本、冯源资本、芯辰资本、中证投资、泰达科投、金圆资本、合肥产投、典实资本、永鑫方舟等多家投资方 [1] - 老股东湖杉资本、襄禾资本、毅达资本、欣柯资本、春华资本等持续加码 [1] 资金用途与公司业务 - 募集资金将重点用于核心产品迭代、产能建设及研发扩容 [3] - 资金将用于巩固公司在半导体高端薄膜沉积设备领域的技术优势,加速推进设备国产化替代进程 [3] - 公司专注于半导体高端薄膜沉积设备研发、生产与销售,精准切入芯片制造核心工序 [3] - 公司以高端ALD(原子层沉积)、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)及特色外延设备为核心产品 [3] - 产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、先进封装、功率器件、射频元件等领域,形成全场景产品矩阵 [3] - 公司打通研发、工艺验证到量产交付全链条 [3] 行业地位与市场认可 - 研微半导体入选《2025中国新晋未来独角兽榜单》,该榜单以“估值超10亿美元”为独角兽核心门槛 [3] - 公司是榜单中唯一聚焦薄膜沉积技术的高端装备企业 [3]
拓荆科技——踏遍荆棘冲破国际巨头垄断
证券时报· 2025-06-25 07:50
行业概况 - 薄膜沉积设备与光刻设备、刻蚀设备并列为芯片制造三大核心设备 长期占据晶圆制造设备市场20%以上份额 但市场长期被国际巨头垄断[2] - 2024年中国大陆薄膜沉积设备市场规模推算为97亿美元 其中拓荆科技覆盖的产品市场规模约48.5亿美元[2] 公司市场表现 - 拓荆科技对应产品收入41亿元 在覆盖市场中占据约12%份额[2] - 公司产品已支撑逻辑芯片、存储芯片所需的全部介质薄膜材料约100多种工艺应用[2] - 晶圆对晶圆混合键合设备获得重复订单并扩大产业化应用 芯片对晶圆混合键合设备实现出货 配套检测设备已产业化[3] 技术研发实力 - 主要研发PECVD、ALD、Gap Fill等薄膜沉积设备 70%产品服务于新工艺和先进工艺需求[2][4] - 累计承担11项国家重大专项或课题 申请专利1640项(含PCT) 获授权507项[3] - 量产设备性能指标达到国际同类设备先进水平 在三维集成领域形成新增长点[3] 发展潜力 - 国产厂商通过自主创新实现技术突破 在工艺覆盖度方面快速追赶国际龙头[2][3] - 董事长明确表示当前市场份额仍有较大提升空间[2] - 提前布局两代、三代后的产品技术 三维集成设备成为业绩新引擎[3][4]