极紫外光刻胶
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国内团队称破解芯片光刻缺陷难题
第一财经· 2025-10-27 17:43
技术突破 - 北京大学研究团队利用冷冻电子断层扫描技术解析光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构,并提出产业化方案,使光刻技术减少图案缺陷的改进大于99%[3] - 该技术方案可直接用于半导体制造,与现有装备兼容,能在12英寸晶圆上消除聚合物残留物造成的缺陷,缺陷数量降幅超过99%[3][7] - 研究提出通过提高曝光后烘烤温度至105°C抑制聚合物缠结,并使用连续液膜防止聚合物重新沉积,以实现缺陷控制[6][7] 行业背景与挑战 - 光刻胶是半导体光刻过程中的关键材料,其显影步骤直接影响集成电路尺寸精度,但光刻胶在显影液中的行为长期不明确,成为制约7纳米及更先进制程良率提升的瓶颈之一[4][5] - 产业界以往通过扫描电子显微镜等技术表征光刻图案,但这些技术受限于与液体环境不兼容或分辨率较低,导致优化工艺只能反复试错[5][6] - 随着图案特征尺寸接近光刻胶聚合物轮廓长度,液膜内光刻胶分子的吸附和纠缠行为成为控制图案缺陷形成的关键因素[5] 国内研究进展 - 除北京大学外,清华大学开发出基于聚碲氧烷的新型极紫外光刻胶,复旦大学设计功能型光刻胶集成2700万个有机晶体管,华中科技大学突破双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶技术并完成初步工艺验证[10] - 国内学者在光刻胶领域处于努力追赶状态,国际同行早在2000年左右就对深紫外和极紫外光刻胶进行大量研究[11] - 研究团队强调交叉学科合作的重要性,例如将结构生物学领域的冷冻电子断层扫描技术应用于光刻领域[9] 市场格局与国产化 - 2024年全球半导体光刻胶市场规模约26.85亿美元,预计2031年将达45.47亿美元[11] - 光刻胶核心厂商主要包括东京应化、JSR、信越化学等日本、美国和韩国企业,2023年前五大厂商占据约86%市场份额[11] - 国内企业已在部分中低端产品领域取得突破,并投入极紫外光刻胶研发以推动国产化进程[11]
前瞻全球产业早报:国家育儿补贴方案公布
前瞻网· 2025-07-29 20:29
人工智能与机器人技术 - 宇树科技指出人形机器人面临环境感知碎片化、动作连贯性缺失和多任务泛化能力不足等“伪智能”困局 [3] - 上海市支持新一代通用人工智能、智能芯片、具身智能等重点前沿方向技术创新,按项目总投资给予最高30%、最高5000万元支持 [3] - 全球首款多模态梦境脑机接口设备“梦邻”发布,具备脑电信号监测、睡眠调控、干预策略生成及AI数据分析功能 [6] - 蚂蚁数科发布基于Qwen3的金融推理大模型Agentar-Fin-R1,在FinEval1.0等评测中超越同尺寸开源模型 [7] - 京东宣布言犀大模型升级为JoyAI,推理效率平均提升30%,训练成本降低70%,并开源JoyAgent智能体 [7] - 智元机器人拟进军北美、欧洲、中东、日本及东南亚等海外市场 [7] 半导体与先进制造 - 清华大学开发出基于聚碲氧烷的新型极紫外光刻胶材料,为先进半导体制造提供新策略 [8] - 马斯克表示三星德克萨斯工厂将生产特斯拉下一代AI6芯片,台积电将在中国台湾生产AI5芯片并在亚利桑那州生产 [8] 汽车产业与市场 - 中汽协组织召开“推动构建汽车统一大市场”研讨会,重点讨论汽车消费全流程数字化以解决多头跑、流程繁、耗时长等问题 [4][5] - 越南电动车商VinFast在印度开设首家展厅,计划年底前在至少27个城市设立35家经销商并建立充电和售后服务网络 [11] 国际贸易与投资 - 今年上半年中国对非洲进出口同比增长14.4%,其中出口增长23.0%,进口增长2.3%,非洲成为增长最快的区域市场 [3] - 美国与欧盟达成贸易协议,将对欧盟输美商品征收15%关税,欧盟将增加对美国投资6000亿美元 [8] - 日本预计5500亿美元对美投资承诺中仅1-2%属实际投资,大部分为贷款,协议将为其节省约10万亿日元关税 [8] - 韩国向美国提议名为“MASGA”的数十万亿韩元规模造船业合作项目 [9][10] 医疗健康科技 - 以色列理工学院研发新型可穿戴设备,可实时监测糖尿病患者体内血糖水平和药物浓度,并适配其他慢性病 [13] 资本市场与公司动态 - 合成生物学企业引航生物完成超亿元新一轮融资 [13] - 包子连锁品牌堂上堂完成数百万元Pre-A轮融资 [13] - 天域半导体向港交所提交上市申请 [14] - 奥克斯电气已完成港股上市备案 [14] - A股三大指数收盘集体上涨,沪指涨0.12%,深成指涨0.44%,创业板指涨0.96% [14] - 港股恒生指数涨0.68%,科技指数跌0.24%,国企指数涨0.29% [14] 政策与行业规范 - 国家育儿补贴方案公布,2025年1月1日起对3周岁以下婴幼儿按每孩每年3600元标准发放补贴 [2] - OpenAI首席执行官警告ChatGPT对话内容不具有法律保密性,可能被传唤作法庭证据 [12]