Workflow
晶圆减薄机
icon
搜索文档
预算1.21亿元!东南大学采购大批仪器
仪器信息网· 2025-06-05 14:05
东南大学仪器设备采购意向 - 东南大学发布37项仪器设备采购意向,预算总额达1.21亿元,涉及薄膜热应力测量仪、扫描电化学显微镜、汞探针测试仪、傅里叶红外光谱仪等设备,预计采购时间为2025年5~6月 [1][2] - 采购清单包含胶膜层压机(预算320万元)、Parylene沉积设备(50万元)、薄膜热应力测量仪(302万元)、扫描电化学显微镜(340万元)、汞探针测试仪(340万元)、傅里叶红外光谱仪(230万元)等 [4] - 12寸探针台预算450万元,要求XY精度优于±2微米,Z精度优于2微米,EMI屏蔽>30 dB@1 kHz-1 MHz,温度范围-60至200°C [4] - 晶圆减薄机预算800万元,要求减薄后12寸晶圆片内厚度偏差小于2.5微米 [5] - 12寸等离子增强气相沉积设备预算1650万元,要求12英寸晶圆片内不均匀度小于5% [5] 高端科研设备技术参数 - 薄膜热应力测量仪需满足测量范围1MPa-7.8GPa,应力测量精度<1%或0.32 MPa,翘曲扫描分辨率1微米 [4] - 扫描电化学显微镜需具备3D控制平台位移扫描范围100 mm×100 mm×100 mm,X/Y/Z三轴扫描精度优于1 nm [4] - 汞探针测试仪要求载流子浓度测试范围1E14-1E19 carriers/cm³,测试精度≤2%,测试重复性≤0.50% [4] - 傅里叶红外光谱仪需满足光谱范围8000-400 cm-1,分辨率优于0.2 cm-1,波数精度优于0.01 cm-1 [4] - 半导体器件脉冲电压电流测试系统要求最大脉冲电压1500V,最大脉冲电流33A,最小脉宽200ns [5] 生物医学设备采购 - 超高分辨率激光共聚焦显微镜预算595万元,需具备超分辨视野、多激光、全自动荧光显微镜、活细胞培养功能 [5] - 流式细胞仪预算240万元,需具备高灵敏度、高分辨率、多激光器功能 [5] - 高分辨率活细胞工作站预算200万元,用于观测活细胞增殖、迁移、粘附等动态过程 [6] - 全自动体视荧光显微镜采购2套,预算170万元,需具备多通道体视荧光采集、超长寿命荧光光源 [6] - 超低温冰箱采购32台,预算173万元,要求温度达到零下80°C [6] 特种实验装置 - MW级加压富氧燃烧平台预算185万元,需实现0.1~1.5MW燃料在≤1MPa富氧环境下燃烧,燃烧效率≥95% [5] - 环境模拟实验装置舱体及系统集成预算2500万元,用于极地与极端环境模拟实验,要求质保期3年以上 [6] - 雷达信号收发器预算436万元,需覆盖低频至毫米波频段,支持FPGA资源拓展开发 [5] - 微纳中心原位力学测试系统预算470万元 [6] - 超快光声光谱测量与成像系统预算300万元,包含飞秒激光器和超快光声测量模块 [6]
机科股份(835579) - 投资者关系活动记录表
2025-05-15 20:35
投资者关系活动基本信息 - 活动类别为业绩说明会 [3] - 活动时间是2025年5月14日,地点在全景网“投资者关系互动平台” [3] - 参会人员为通过网络参加2024年年度报告业绩说明会的投资者,上市公司接待人员有董事长吴进军、财务总监兼董事会秘书徐欢、保荐代表人胡悦 [3] 研发相关 - 公司作为科研院所转制企业,坚守创新初心,近年来持续加大研发投入,组建专项创新团队,以智能制造为抓手激发科技创新动能 [4] - 已完成部分型号晶圆减薄机的研发工作并实现样机销售,未来将根据市场需求持续投入研发、开拓市场 [5] 市值管理 - 公司密切关注股价及市值波动,以提升经营管理水平和企业内在价值为市值管理根本,通过多种渠道与资本市场沟通,传递经营理念和投资价值 [5] 业务情况 - 机科股份是智能制造装备及整体解决方案提供商,业务围绕智能机器人及输送系统、智能检测及装配装备、工业母机工业软件及智能产线、新能源及环保装备四个板块开展 [5] - 北自科技提供以自动化立体仓库为核心的智能物流系统,未来聚焦发展该主营业务,目前不存在与机科股份智能输送系统构成同业竞争的业务,未来亦不会从事相关业务 [6] - 机科股份积极参与项目招投标,可能因长期框架协议或网站统计不全面导致数据显示问题,具体以公司公告为准 [6] 人员待遇 - 报告期内,公司研发人员薪资待遇处于行业合理水平,通过员工持股等方式提振研发人员创新赋能 [6] 未来计划 - 公司会根据整体战略规划和经营发展需要,审慎考虑重组和股权激励计划,若有计划将及时履行信息披露义务 [7]