项目概况 - 项目名称为华海清科晶圆再生扩产项目，规划扩建总产能为40万片/月，首期建设产能为20万片/月 [1][5] - 首期投资预计不超过5亿元人民币，资金来源为自有和自筹资金 [1][2][8] - 项目建设周期预计不超过18个月，实施主体为公司新设全资子公司，选址于江苏省昆山市经济技术开发区 [3][7][8] 项目背景与必要性 - 国家政策支持集成电路产业发展，为项目落地提供良好政策环境 [9] - 国内12寸晶圆厂加速扩产导致挡控片、测试片需求激增，公司需提高晶圆再生加工能力以响应客户需求 [10] - 公司现有晶圆再生产能已达20万片/月，获得多家大生产线批量订单，具备先发优势 [10] 技术优势与协同性 - 晶圆再生核心工艺（CMP和清洗）采用公司自研装备，技术先进且可定制化降低资本投入 [11][12] - 公司CMP研磨技术可提升再生晶圆循环使用次数，在先进制程服务中具备竞争力 [11] - 晶圆再生客户与现有装备业务客户群高度重合，市场和技术协同性强 [12] 项目实施与影响 - 项目通过新设全资子公司实施，授权管理层根据进展通过增资、借款或贷款等方式投入 [9] - 投资金额未达董事会或股东大会审议标准，不构成关联交易或重大资产重组 [3][15] - 项目将扩大公司市场份额和规模效应，提升业绩和持续经营能力 [15]

项目扩产计划 - 公司拟在江苏省昆山市建设晶圆再生扩产项目，规划扩建总产能为40万片/月，其中首期建设产能为20万片/月，首期投资预计不超过5亿元 [2] - 项目建设周期预计不超过18个月，资金来源于公司的自有及自筹资金 [2] - 扩产目的是抢抓晶圆厂加速扩产的窗口期，扩大先发优势和规模效应，进一步扩大晶圆再生服务的市场份额 [2] 财务表现 - 2024年营业收入同比增长35.82%达34.06亿元，归母净利润同比增长41.4%达10.23亿元，扣非净利润同比增长40.79%达8.56亿元 [2] 行业背景 - 集成电路产业是国民经济和社会发展的战略性产业，国家出台了一系列鼓励政策推动行业发展 [2] - 国内12寸晶圆厂加速扩产，对新建产线的工艺要求越来越高，相应对挡控片、测试片的需求激增 [3] 技术优势 - 公司以自有化学机械抛光（CMP）装备和清洗装备为依托，拓展晶圆再生业务 [3] - 现有晶圆再生产能已达20万片/月左右，获得多家大生产线批量订单并长期稳定供货 [3] - 通过采用先进的CMP研磨方式，大幅提升再生晶圆的循环使用次数 [3] - CMP和清洗技术是晶圆再生工艺流程的核心，公司可以通过定制化装备降低资本投入 [3] 客户协同 - 晶圆再生客户主要是集成电路制造厂，与公司现有装备业务的客户群高度重合 [4] - 已与国内集成电路制造厂建立良好合作关系，客户对公司装备产品的工艺认可为晶圆再生业务奠定市场拓展基础 [4] - 晶圆再生业务与公司现有装备业务在市场和技术方面都具有很高的协同性 [4]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [6][8] 报告的核心观点 - CMP市场占有率和销售规模持续提高，盈利能力持续增强，2024年公司实现营收34.06亿元，同比+35.82%，归母净利润10.23亿元，同比+41.40%；2025Q1实现营收9.12亿元，同比+34.14%，归母净利润2.33亿元，同比+15.47% [3] - 积极把握先进封装、化合物半导体等发展机遇，减薄装备、划切装备持续推进，2024年12英寸超精密晶圆减薄机完成首台验证并实现批量销售，12英寸晶圆减薄贴膜一体机和12英寸晶圆划切装备已发往客户端进行验证 [4] - 完成芯嵛公司控股权收购，实现离子注入核心技术吸收转化，推进“装备 + 服务”平台化发展战略，芯嵛公司低能大束流离子注入装备已实现多台验收，并积极推进更多品类开发验证 [5][7] 根据相关目录分别进行总结 公司基本情况 - 最新收盘价159.18元，总股本2.37亿股，流通股本1.70亿股，总市值377亿元，流通市值271亿元，52周内最高/最低价为211.66 / 118.67元，资产负债率44.9%，市盈率36.76，第一大股东为清控创业投资有限公司 [2] 盈利预测和财务指标 | 项目 | 2024A | 2025E | 2026E | 2027E | | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业收入（百万元） | 3406 | 4732 | 5918 | 7404 | | 增长率(%) | 35.82 | 38.91 | 25.07 | 25.12 | | EBITDA（百万元） | 1133.21 | 1669.61 | 2090.25 | 2629.39 | | 归属母公司净利润（百万元） | 1023.41 | 1379.43 | 1751.30 | 2255.54 | | 增长率(%) | 41.40 | 34.79 | 26.96 | 28.79 | | EPS(元/股) | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 市盈率（P/E） | 36.82 | 27.32 | 21.52 | 16.71 | | 市净率（P/B） | 5.82 | 4.81 | 3.93 | 3.18 | | EV/EBITDA | 32.05 | 20.79 | 15.69 | 11.72 | [10] 财务报表和主要财务比率 | 项目 | 2024A | 2025E | 2026E | 2027E | | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业收入（百万元） | 3406 | 4732 | 5918 | 7404 | | 营业成本（百万元） | 1935 | 2686 | 3354 | 4186 | | 税金及附加（百万元） | 30 | 43 | 53 | 67 | | 销售费用（百万元） | 122 | 166 | 207 | 252 | | 管理费用（百万元） | 191 | 246 | 296 | 333 | | 研发费用（百万元） | 382 | 483 | 562 | 644 | | 财务费用（百万元） | -24 | -41 | -56 | -94 | | 资产减值损失（百万元） | -21 | -20 | -20 | -20 | | 营业利润（百万元） | 1118 | 1507 | 1914 | 2465 | | 利润总额（百万元） | 1118 | 1508 | 1914 | 2465 | | 所得税（百万元） | 95 | 128 | 163 | 210 | | 净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 归母净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 每股收益（元） | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 货币资金（百万元） | 2761 | 3431 | 5338 | 7310 | | 交易性金融资产（百万元） | 1845 | 1845 | 1845 | 1845 | | 应收票据及应收账款（百万元） | 681 | 903 | 1129 | 1394 | | 预付款项（百万元） | 40 | 56 | 70 | 87 | | 存货（百万元） | 3268 | 4539 | 5638 | 7037 | | 流动资产合计（百万元） | 8832 | 11013 | 14284 | 17949 | | 固定资产（百万元） | 965 | 1466 | 1568 | 1642 | | 在建工程（百万元） | 373 | 2 | 2 | 2 | | 无形资产（百万元） | 228 | 202 | 175 | 149 | | 非流动资产合计（百万元） | 2919 | 3103 | 3175 | 3221 | | 资产总计（百万元） | 11751 | 14116 | 17459 | 21170 | | 短期借款（百万元） | 28 | 20 | 20 | 20 | | 应付票据及应付账款（百万元） | 1306 | 1762 | 2232 | 2766 | | 其他流动负债（百万元） | 2852 | 3441 | 4563 | 5485 | | 流动负债合计（百万元） | 4186 | 5223 | 6815 | 8271 | | 其他（百万元） | 1085 | 1054 | 1054 | 1054 | | 非流动负债合计（百万元） | 1085 | 1054 | 1054 | 1054 | | 负债合计（百万元） | 5271 | 6277 | 7869 | 9325 | | 股本（百万元） | 237 | 237 | 237 | 237 | | 资本公积金（百万元） | 3907 | 3907 | 3907 | 3907 | | 未分配利润（百万元） | 2261 | 3434 | 4922 | 6840 | | 少数股东权益（百万元） | 7 | 7 | 7 | 7 | | 其他（百万元） | 68 | 254 | 517 | 855 | | 所有者权益合计（百万元） | 6480 | 7839 | 9590 | 11846 | | 成长能力 - 营业收入增长率(%) | 35.8 | 38.9 | 25.1 | 25.1 | | 成长能力 - 营业利润增长率(%) | 41.6 | 34.8 | 27.0 | 28.8 | | 成长能力 - 归属于母公司净利润增长率(%) | 41.4 | 34.8 | 27.0 | 28.8 | | 获利能力 - 毛利率(%) | 43.2 | 43.2 | 43.3 | 43.5 | | 获利能力 - 净利率(%) | 30.0 | 29.2 | 29.6 | 30.5 | | 获利能力 - ROE(%) | 15.8 | 17.6 | 18.3 | 19.1 | | 获利能力 - ROIC(%) | 13.7 | 16.2 | 16.9 | 17.6 | | 偿债能力 - 资产负债率(%) | 44.9 | 44.5 | 45.1 | 44.0 | | 偿债能力 - 流动比率 | 2.11 | 2.11 | 2.10 | 2.17 | | 营运能力 - 应收账款周转率 | 5.97 | 6.09 | 5.93 | 5.98 | | 营运能力 - 存货周转率 | 0.68 | 0.69 | 0.66 | 0.66 | | 营运能力 - 总资产周转率 | 0.33 | 0.37 | 0.37 | 0.38 | | 每股指标 - 每股收益（元） | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 每股指标 - 每股净资产（元） | 27.34 | 33.08 | 40.48 | 50.01 | | 估值比率 - PE | 36.82 | 27.32 | 21.52 | 16.71 | | 估值比率 - PB | 5.82 | 4.81 | 3.93 | 3.18 | | 现金流量表 - 净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 现金流量表 - 折旧和摊销（百万元） | 90 | 203 | 232 | 258 | | 现金流量表 - 营运资本变动（百万元） | 55 | -515 | 189 | -278 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -13 | -17 | -44 | -51 | | 现金流量表 - 经营活动现金流净额（百万元） | 1155 | 1051 | 2127 | 2185 | | 现金流量表 - 资本开支（百万元） | -322 | -344 | -304 | -304 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -270 | 28 | 97 | 104 | | 现金流量表 - 投资活动现金流净额（百万元） | -592 | -315 | -206 | -200 | | 现金流量表 - 股权融资（百万元） | 0 | 0 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 债务融资（百万元） | -210 | -48 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -179 | -18 | -13 | -13 | | 现金流量表 - 筹资活动现金流净额（百万元） | -389 | -66 | -13 | -13 | | 现金流量表 - 现金及现金等价物净增加额（百万元） | 174 | 669 | 1908 | 1971 | [13]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [6][8] 报告的核心观点 - CMP市场占有率和销售规模持续提高，盈利能力持续增强，2024年公司实现营收34.06亿元，同比+35.82%，归母净利润10.23亿元，同比+41.40%；2025Q1实现营收9.12亿元，同比+34.14%，归母净利润2.33亿元，同比+15.47% [3] - 积极把握先进封装、化合物半导体等发展机遇，减薄装备、划切装备持续推进，2024年12英寸超精密晶圆减薄机完成首台验证并实现批量销售，12英寸晶圆减薄贴膜一体机和12英寸晶圆划切装备已发往客户端进行验证 [4] - 完成芯嵛公司控股权收购，实现离子注入核心技术吸收转化，推进“装备 + 服务”平台化发展战略，芯嵛公司低能大束流离子注入装备已实现多台验收 [5][7] 根据相关目录分别进行总结 公司基本情况 - 最新收盘价159.18元，总股本2.37亿股，流通股本1.70亿股，总市值377亿元，流通市值271亿元，52周内最高/最低价为211.66 / 118.67元，资产负债率44.9%，市盈率36.76，第一大股东是清控创业投资有限公司 [2] 盈利预测和财务指标 | 项目 | 2024A | 2025E | 2026E | 2027E | | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业收入（百万元） | 3406 | 4732 | 5918 | 7404 | | 增长率(%) | 35.82 | 38.91 | 25.07 | 25.12 | | EBITDA（百万元） | 1133.21 | 1669.61 | 2090.25 | 2629.39 | | 归属母公司净利润（百万元） | 1023.41 | 1379.43 | 1751.30 | 2255.54 | | 增长率(%) | 41.40 | 34.79 | 26.96 | 28.79 | | EPS(元/股) | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 市盈率（P/E） | 36.82 | 27.32 | 21.52 | 16.71 | | 市净率（P/B） | 5.82 | 4.81 | 3.93 | 3.18 | | EV/EBITDA | 32.05 | 20.79 | 15.69 | 11.72 | [10] 财务报表和主要财务比率 | 项目 | 2024A | 2025E | 2026E | 2027E | | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业收入（百万元） | 3406 | 4732 | 5918 | 7404 | | 营业成本（百万元） | 1935 | 2686 | 3354 | 4186 | | 税金及附加（百万元） | 30 | 43 | 53 | 67 | | 销售费用（百万元） | 122 | 166 | 207 | 252 | | 管理费用（百万元） | 191 | 246 | 296 | 333 | | 研发费用（百万元） | 382 | 483 | 562 | 644 | | 财务费用（百万元） | -24 | -41 | -56 | -94 | | 资产减值损失（百万元） | -21 | -20 | -20 | -20 | | 营业利润（百万元） | 1118 | 1507 | 1914 | 2465 | | 利润总额（百万元） | 1118 | 1508 | 1914 | 2465 | | 所得税（百万元） | 95 | 128 | 163 | 210 | | 净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 归母净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 每股收益（元） | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 货币资金（百万元） | 2761 | 3431 | 5338 | 7310 | | 交易性金融资产（百万元） | 1845 | 1845 | 1845 | 1845 | | 应收票据及应收账款（百万元） | 681 | 903 | 1129 | 1394 | | 预付款项（百万元） | 40 | 56 | 70 | 87 | | 存货（百万元） | 3268 | 4539 | 5638 | 7037 | | 流动资产合计（百万元） | 8832 | 11013 | 14284 | 17949 | | 固定资产（百万元） | 965 | 1466 | 1568 | 1642 | | 在建工程（百万元） | 373 | 2 | 2 | 2 | | 无形资产（百万元） | 228 | 202 | 175 | 149 | | 非流动资产合计（百万元） | 2919 | 3103 | 3175 | 3221 | | 资产总计（百万元） | 11751 | 14116 | 17459 | 21170 | | 短期借款（百万元） | 28 | 20 | 20 | 20 | | 应付票据及应付账款（百万元） | 1306 | 1762 | 2232 | 2766 | | 其他流动负债（百万元） | 2852 | 3441 | 4563 | 5485 | | 流动负债合计（百万元） | 4186 | 5223 | 6815 | 8271 | | 其他（百万元） | 1085 | 1054 | 1054 | 1054 | | 非流动负债合计（百万元） | 1085 | 1054 | 1054 | 1054 | | 负债合计（百万元） | 5271 | 6277 | 7869 | 9325 | | 股本（百万元） | 237 | 237 | 237 | 237 | | 资本公积金（百万元） | 3907 | 3907 | 3907 | 3907 | | 未分配利润（百万元） | 2261 | 3434 | 4922 | 6840 | | 少数股东权益（百万元） | 7 | 7 | 7 | 7 | | 其他（百万元） | 68 | 254 | 517 | 855 | | 所有者权益合计（百万元） | 6480 | 7839 | 9590 | 11846 | | 负债和所有者权益总计（百万元） | 11751 | 14116 | 17459 | 21170 | | 成长能力 - 营业收入增长率(%) | 35.8 | 38.9 | 25.1 | 25.1 | | 成长能力 - 营业利润增长率(%) | 41.6 | 34.8 | 27.0 | 28.8 | | 成长能力 - 归属于母公司净利润增长率(%) | 41.4 | 34.8 | 27.0 | 28.8 | | 获利能力 - 毛利率(%) | 43.2 | 43.2 | 43.3 | 43.5 | | 获利能力 - 净利率(%) | 30.0 | 29.2 | 29.6 | 30.5 | | 获利能力 - ROE(%) | 15.8 | 17.6 | 18.3 | 19.1 | | 获利能力 - ROIC(%) | 13.7 | 16.2 | 16.9 | 17.6 | | 偿债能力 - 资产负债率(%) | 44.9 | 44.5 | 45.1 | 44.0 | | 偿债能力 - 流动比率 | 2.11 | 2.11 | 2.10 | 2.17 | | 营运能力 - 应收账款周转率 | 5.97 | 6.09 | 5.93 | 5.98 | | 营运能力 - 存货周转率 | 0.68 | 0.69 | 0.66 | 0.66 | | 营运能力 - 总资产周转率 | 0.33 | 0.37 | 0.37 | 0.38 | | 每股指标 - 每股收益（元） | 4.32 | 5.83 | 7.40 | 9.53 | | 每股指标 - 每股净资产（元） | 27.34 | 33.08 | 40.48 | 50.01 | | 估值比率 - PE | 36.82 | 27.32 | 21.52 | 16.71 | | 估值比率 - PB | 5.82 | 4.81 | 3.93 | 3.18 | | 现金流量表 - 净利润（百万元） | 1023 | 1379 | 1751 | 2256 | | 现金流量表 - 折旧和摊销（百万元） | 90 | 203 | 232 | 258 | | 现金流量表 - 营运资本变动（百万元） | 55 | -515 | 189 | -278 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -13 | -17 | -44 | -51 | | 现金流量表 - 经营活动现金流净额（百万元） | 1155 | 1051 | 2127 | 2185 | | 现金流量表 - 资本开支（百万元） | -322 | -344 | -304 | -304 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -270 | 28 | 97 | 104 | | 现金流量表 - 投资活动现金流净额（百万元） | -592 | -315 | -206 | -200 | | 现金流量表 - 股权融资（百万元） | 0 | 0 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 债务融资（百万元） | -210 | -48 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -179 | -18 | -13 | -13 | | 现金流量表 - 筹资活动现金流净额（百万元） | -389 | -66 | -13 | -13 | | 现金流量表 - 现金及现金等价物净增加额（百万元） | 174 | 669 | 1908 | 1971 | [13]