远程等离子体源
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季华实验室:硬核突破支撑“佛山造” 产业集群跑出加速度
21世纪经济报道· 2026-02-15 08:10
文章核心观点 - 季华实验室作为广东省重要科研平台,通过硬核科技创新服务国家战略并赋能产业升级,尤其在商业航天、新型显示等领域取得显著技术突破和产业化成果 [1][2][4] 技术研发与突破 - 实验室测试中心拥有球差矫正透射电镜和双束电镜联用技术,将材料检测精度从微米级提升至原子级,为商业航天产品提供关键材料技术保障 [2] - 极端光学工程中心可将光学元件面形精度控制在几纳米(相当于头发丝直径的万分之一),相关核心器件已成功应用于卫星载荷、深空探测等领域 [2] - 实验室成功研制“佛山一号超轻高分面阵空间相机”,其28kg相机重量、0.5m分辨率、7km×2.5km幅面等核心指标被鉴定为国际领先水平 [3] - 2025年关键技术项目取得阶段性突破,包括G8.6 OLED喷墨打印装备、远程等离子体源、自动扫频射频发生器等核心指标达国际先进水平,超精密单点金刚石机床关键性能对标国际主流产品 [4] - 2025年全年申请发明专利618件,累计发明专利申请量近3000件 [4] 产业化与成果转化 - 实验室以“璀璨行动”为抓手,作为业主单位完成多台套整机装备攻关,并牵引10家行业优势企业落地佛山,带动总投资超85亿元,加速新型显示产业集群成型 [4] - 实验室建立偏重本土导向的成果转化激励机制:科研团队成果落地佛山可享受90%转化收益奖励,落地广东奖励70%,落地外省奖励50% [4] - 截至目前,季华孵化企业已达24家,其中大捷智能、超滑科技、季华恒一3家已获评国家级专精特新“小巨人”,“季华系”企业产业规模突破50亿元 [4] - 实验室深化“科技+金融+产业”融合模式,与南方电网、佛山农商行、华大基因等行业龙头共建联合实验室,推动智能巡检机器人、AI金融应用等成果落地 [5] - 依托佛山—茂名对口帮扶协作机制,将防爆智能巡检机器人、非充气轮胎等成熟技术输出至粤西,相关项目获广东省“扬帆计划”专项支持 [5]
国产射频电源龙头 恒运昌科创板IPO今日上市
上海证券报· 2026-01-28 12:18
公司上市与市场地位 - 恒运昌于2026年1月28日在上海证券交易所科创板上市,成为当年首家科创板IPO企业 [1] - 公司核心产品为等离子体射频电源系统,是半导体设备中技术壁垒最高的核心零部件之一,被誉为控制等离子体的“纳米手术刀” [1] - 根据弗若斯特沙利文统计,2024年恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额高居第一 [2] 技术与产品实力 - 公司坚持自主创新,构建了三大基石技术体系及八大产品化支撑技术,形成完全自主可控的核心技术链 [1] - 公司已推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列,其中Bestda系列支持28纳米制程,Aspen系列可覆盖7—14纳米先进制程,达到国际先进水平并填补国内空白 [1] - 截至2025年6月30日,公司累计获得261项授权专利,其中发明专利108项,另有133项发明专利处于申请阶段,同时承担三项国家级重大科研课题 [1] 客户合作与业绩表现 - 公司已与拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商建立深度战略合作关系 [2] - 产品广泛应用于刻蚀、PECVD、ALD等关键制程,并最终进入中芯国际等晶圆厂产线 [2] - 2022年至2024年,公司营收从1.58亿元跃升至5.41亿元,年均复合增长率超80%;扣非归母净利润从0.20亿元增长至1.29亿元 [2] 募投项目与未来规划 - 本次IPO募集资金将投向五大方向:沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心建设项目以及补充流动资金 [2] - 沈阳项目旨在建设现代化生产基地,大幅提升等离子体射频电源系统的量产能力 [3] - 智能化生产运营基地和研发中心项目将进一步丰富和拓展低频大功率等离子体射频电源、PVD直流溅射电源、远程等离子体源等产品,并探索在光伏、显示面板、精密光学等领域的应用延伸 [3] - 公司将在长三角、珠三角、京津冀、中西部地区等关键区域设立技术支持中心,打造“产品+服务”一体化解决方案能力 [3] 行业前景与公司展望 - 中国半导体产业正处于国产替代加速与技术升级并行的关键阶段 [3] - 据弗若斯特沙利文数据,2025至2029年中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将以15.6%的复合增长率持续扩张 [3] - 公司手握技术、客户与先发优势,叠加募投项目落地,有望进一步巩固在国产射频电源领域的龙头地位,并在全球半导体供应链重构中扮演更重要的角色 [3] 股价表现 - 截至上市当天10时41分,恒运昌股价涨超275%,报346元/股 [4]