G5级氢氟酸
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电子化学品产业如何突围
中国化工报· 2025-12-12 11:36
行业核心观点 - 中国湿电子化学品和电子气体产业在高端领域面临结构性失衡,国产化率低,存在技术壁垒和进口依赖,但国内科研机构与企业正通过全链条技术突破,在多个关键环节取得显著进展,以推动产业升级和自主保障 [1][5][9] 湿电子化学品产业现状与挑战 - 产业面临结构性失衡问题,高端产品依赖进口,中低端市场竞争激烈,制约产业升级并影响下游产业链安全 [2][5] - 在半导体领域,6英寸产线湿电子化学品已基本国产化,8英寸产线国产化率约80%,12英寸产线国产化率约50% [5] - 在显示面板领域,湿电子化学品整体国产化率约70%,但OLED及大尺寸液晶面板部分品种仍依赖韩国、日本等地供应 [5] - 随着国内晶圆厂扩产,12英寸产线规模扩大,对G4、G5等级高端湿电子化学品需求将大幅提升,供需缺口可能扩大 [5][6] - 芯片制程从28纳米减小至7纳米时,金属杂质要求从10-6g/L降低至10-9g/L以下,国内7纳米及以下制程部分产品仍依赖进口 [6] - 国内生产企业规模小、资金不足、研发实力弱,难以承担高端产品研发的巨额投资 [6] - 高端制造装备材料如纯化塔、分析仪器等依赖进口,同时缺乏跨学科的复合型专业人才 [6] 湿电子化学品技术突破 - 南京理工大学团队从分子设计入手,研发出特定结构全氟聚醚类硅烷偶联剂,可降低液体表面张力,防止微观结构坍塌,提升洁净度 [2] - 中国科学院过程工程研究所团队采用多位点碱性功能离子液体非金属催化剂及微通道反应器,使电子级醇醚酯反应效率提升8~9倍,并设计高稳定离子交换树脂实现ppt级杂质脱除,完成G5级丙二醇甲醚醋酸酯纯化系统优化 [3] - 北京化工大学团队研发“高强贴附”特殊材料真空衬里技术及设备内壁超精细打磨新技术,避免金属离子和颗粒物污染,已应用于生产G5级氢氟酸、硫酸等,金属离子含量不超过5ppt [4] 湿电子化学品发展建议与方向 - 企业需练好“内功”,立足中国成熟制程芯片产能全球最大的现实,实现该领域全面、稳定、高性价比的自主可控,再向尖端领域拓展 [7] - 企业需在低端同质化“红海”中寻求差异化突破,在特定细分领域做深做细 [7] - 需要企业、政府与产业链各方形成合力,共同推进,政府需做好政策引导,构建有利于创新的制度与环境 [7] - 行业正朝“分子级循环、生物基替代、数字孪生优化、区域生态协同”四大方向深度变革 [8] - 需关注产业链条补链强链产品,以高端特色产品为引领,构建闭环供应链 [8] 电子气体产业现状与进展 - 产业整体呈现研发投入加大、国产化成效显著、高端市场增长迅猛、行业整合加速与关键技术突破并存的态势 [9] - 近十年,中国电子特气企业专利申请累计突破2023件,其中2024年420件,研发投入累计超54.3亿元 [9] - 多种电子气体已实现较高程度国产化,包括含氟气体、空分气体等 [9] - 2024年用于半导体制造的电子气体销售收入为90.9亿元,同比增长73.8% [9] - 硅烷与氯硅烷气体技术发展迅速,相关电子气体国产化率已超过50%,基本覆盖所有应用硅烷的半导体企业 [10][11] 电子气体面临的挑战 - 电子特气研发面临巨大挑战,因其分子结构独特、种类多、应用场景具体,公开资料少,关键技术保密 [11] - 与国际领先水平相比,中国电子气体产业高端材料自主性不足、国际话语权较弱 [12] - 诸多领域仍待攻关,如提升部分气体纯度、深度脱除关键杂质、精准控制混合配气精度与误差 [12] - 分析和检测环节大量仪器依赖进口 [12] - 部分已国产化的气体因供应充足,价格大幅下跌 [12] - 硅源气体的合成与提纯面临热稳定性与反应活性平衡难题,规模化生产成本控制是挑战 [13] 电子气体发展趋势与方向 - 预计到2030年,全球集成电路材料市场规模将突破900亿美元,带动电子特气等新材料需求增长 [14] - 随着半导体制造向先进制程演进,特种气体如六氟丁二烯、三氟化氯等将呈现较快增长势头 [14] - 后摩尔时代,人工智能发展带来封装形式多样性,给电子特气产业带来不确定性,特定领域需优化结构满足特殊应用需求 [14] - 绿色发展成为必然,采用先进低碳排技术的供应商更受青睐 [14] - 产业整合与业务拓展是关键,建议通过收并购进行整合,并基于原有产业基础延伸开发 [15] - 硅源气体及前驱体将向高纯度与工艺适配性方向发展,定制化需求将激增,尤其在光伏、显示面板和先进封装领域 [15][16] - 未来趋势聚焦于原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)技术的适配性优化,通过分子设计提升薄膜性能 [16]
湿电子化学品制造体系的挑战与机遇会议:构建更为安全高效的供应链体系
中国化工报· 2025-11-24 10:37
行业现状与市场格局 - 中国湿电子化学品产业在中低端市场取得显著进展,但高端领域核心技术仍受制于人 [1] - 半导体领域整体国产化率约50%,新型显示领域国产化率达55%,光伏领域基本实现国产化 [1] - 通用化学品90%以上的品类基本实现本土供应,但客制化、高端配方型功能化学品与国外水平存在差距 [1] - 湿电子化学品生产所需部分核心材料、装置耗材、包装材料及分析设备的相关技术仍被日美企业掌握 [1] 市场需求与产业挑战 - 2024年全球半导体产业复苏与增长带动了半导体制造用电子湿化学品的市场需求 [1] - 芯片制程由28nm减小至7nm导致湿法处理次数倍增,对化学品纯度与性能提出更高要求 [2] - 国内芯片制造企业以成熟制程为主,下游企业对材料降价诉求明显,叠加原材料价格上涨影响材料企业业绩 [1] 技术研发与国产化突破 - 中国科学院过程工程研究所开发出多位点碱性功能离子液体非金属催化剂,完成G4级丙二醇甲醚醋酸酯纯化系统优化及批量制备 [2] - 北京化工大学研发的高效抗杂质渗入技术已应用于河南多氟多,能够生产级别最高的G5级氢氟酸、硫酸等产品 [2] - 南京理工大学研发的含氟硅烷偶联剂可提升湿电子化学品润湿性能,降低毛细力并避免结构坍塌 [2] - 国内科研机构与企业正积极寻求通过技术创新和产业链协同加快高端产品国产化替代 [1][2]