电子束光刻
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倒计时7天!【第3届光掩模与光刻胶技术论坛】议程更新
国芯网· 2026-04-17 20:17
行业论坛信息 - 第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开,由亚化咨询主办 [2] - 论坛将汇聚行业领军企业与专家,探讨下一代光刻技术方向、中国光掩模与光刻胶产业的技术进展、市场机遇与挑战 [5] - 会场外设有精品展位,并开放多种赞助合作形式,包括主题演讲、联合主办、晚宴赞助、广告宣传等 [7][10] 行业技术发展趋势 - 半导体工艺节点向2nm及以下推进,下一代光刻技术成为焦点,主要方向包括高数值孔径极紫外光刻、纳米压印光刻、电子束光刻、定向自组装和X射线光刻等 [3] - 2026年,高NA EUV光刻技术已进入高容量制造阶段,而纳米压印光刻和X射线光刻作为潜在颠覆者正加速研发 [3] - 论坛报告议题涵盖光刻材料前沿进展、人工智能驱动创新、电子束光刻胶、EUV光刻胶技术、数字光学微纳加工、定向自组装技术及光刻胶成膜树脂产业化挑战等前沿领域 [6][7] 全球及中国光掩模市场 - 全球半导体光掩模版市场从2018年的40.4亿美元增长至2024年的51亿美元,年复合增长率达4.0% [3] - 预计到2030年,全球光掩模版市场规模将扩大至约80亿美元 [3] - 全球市场由Photronics、日本凸版和大日本印刷三大企业主导,合计市场占有率超过70% [3] - 亚化咨询预计2026年中国光掩模版市场规模有望达到100亿元,预计2030年中国掩模版市场规模有望达到120亿元 [3][4] - 亚化咨询研究认为中国2025年第三方掩模版市场规模占比为70%左右 [3] - 中国市场本土企业如路维光电、清溢光电、龙图光罩等正在提升竞争力并在国产化替代方面取得突破 [3] 中国光刻胶产业发展 - 在ArF光刻胶领域,国内厂商正在加快研发并取得核心突破,例如南大光电已实现ArF光刻胶量产 [4] - 国内光刻胶龙头企业如上海新阳、南大光电、容大感光、广信材料、晶瑞电材等在研发和生产方面取得显著进展 [5] - 国内领先的光刻胶新锐企业还包括珠海基石和国科天骥 [5] - 国内光掩模与光刻胶产业发展正在提速,技术进步是重要推动力 [5]
【必读】会议指南 | (第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-07-08 10:01
会议基本信息 - 会议名称为2025势银(第五届)光刻产业大会,主办单位为势银(TrendBank),协办单位为深圳市半导体与集成电路产业联盟,承办单位为势银芯链 [4] - 会议时间为2025年7月9日-10日,地点在安徽合肥的合肥新站利港喜来登酒店,规模为300人 [4] - 会议包含自助午餐和全体晚宴,凭餐券或参会证就餐,地点在酒店2F二楼多功能厅及原会场 [10] 会议内容 - 讨论极紫外光刻(EUV)、电子束光刻、纳米压印等前沿光刻技术的最新研究进展与应用前景 [5] - 深入剖析光刻胶、湿电子化学品、掩膜版等光刻材料的国产化现状与技术瓶颈,探讨提升自给率与质量水平的路径 [5] - 聚焦光刻设备国产化进程中的关键问题与解决方案,包括研发、制造工艺、性能提升及市场情况 [6] 参会单位 - 24家产学研单位确认参会并发表演讲,包括中科芯、芯东来、鼎龙、波米科技、星泰克、永光化学、润晶科技、复旦大学等 [1] 日程安排 - 7月8日14:30-19:00为签到时间 [12] - 7月9日议程包括开幕式致辞、4场主题演讲(穿插茶歇)、圆桌论坛 [12] - 7月10日议程包括2场主题演讲(穿插茶歇)及闭幕式 [13] 签到与参会管理 - 会议仅支持二维码签到,需通过势银活动小程序使用本人手机号生成二维码 [16][20] - 签到成功后显示座位号,签到越早位置越靠前,可通过人脉圈查看座位信息(部分功能需付费开通) [18] 交通与住宿 - 会场酒店协议价为大床房/双床房350元/间夜(含双早),需联系主办方登记 [28] - 周边推荐尚品花园酒店(200元起)、合肥戴斯温德姆酒店(300元起)等,需自行预订 [31][33][36][37] - 交通信息:距离合肥站1.34公里、合肥西站9.08公里、合肥南站11.08公里、合肥新桥国际机场35.37公里 [25][26] 主办方信息 - 势银(TrendBank)是中国领先的产业研究与数据公司,提供数据、研究、咨询、会议等服务 [49] - 赞助联系人毛裕栋(18667838387),参会联系人章杭琪(15824508736)、谢意欣(18268710908) [38]
中国研制成功新一代地月空间激光角反射器,助力卫星激光测距;英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂丨智能制造日报
创业邦· 2025-05-06 11:41
天合储能与美国FlexGen合作 - 天合光能旗下天合储能与美国FlexGen达成合作,共同为美国德克萨斯州休斯顿交付一套电网级电池储能系统,容量达371MWh [1] - 项目采用天合储能提供的Elementa金刚2储能解决方案,可提升系统效率并降低度电成本 [1] - FlexGen为该项目提供集成服务和核心能源管理软件HybridOS,通过AI算法实现智能监控、故障预测及运维优化,提升系统运行效率和稳定性 [1] 英国南安普敦大学电子束光刻工厂 - 英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂,为日本境外首座同类设施,也是欧洲首个尖端半导体工厂 [1] - 电子束光刻技术具备高分辨率,可不经过掩膜直写,但存在效率较低、控制复杂等弱点 [1] - 该技术在实际商业生产中通常用于掩膜制作辅助工艺,不以核心工艺技术出现 [1] 浙江松阳抽水蓄能电站超深竖井 - 浙江松阳抽水蓄能电站1引水竖井定向孔精准贯通,为国内抽蓄最深竖井,上水库正式连通地下厂房 [1] - 定向孔钻孔精度达行业领先水平,铅直度偏差11.2cm,偏斜率仅为0.22‰ [1] - 项目采用随钻测斜技术实时监控偏差,单日最大进尺达85.5m,未出现卡钻、断杆等情况 [1] 中国新一代地月空间激光角反射器 - 中国科研团队实现地月距离尺度卫星激光测距,并首次实现新一代地月空间激光角反射器白天卫星激光测距 [1] 其他行业资讯 - 提供智能制造产业日报订阅服务,涵盖人形机器人、商业航天、AGI等热门赛道 [1][2]