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【必读】会议指南 | (第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-07-08 10:01
会议基本信息 - 会议名称为2025势银(第五届)光刻产业大会,主办单位为势银(TrendBank),协办单位为深圳市半导体与集成电路产业联盟,承办单位为势银芯链 [4] - 会议时间为2025年7月9日-10日,地点在安徽合肥的合肥新站利港喜来登酒店,规模为300人 [4] - 会议包含自助午餐和全体晚宴,凭餐券或参会证就餐,地点在酒店2F二楼多功能厅及原会场 [10] 会议内容 - 讨论极紫外光刻(EUV)、电子束光刻、纳米压印等前沿光刻技术的最新研究进展与应用前景 [5] - 深入剖析光刻胶、湿电子化学品、掩膜版等光刻材料的国产化现状与技术瓶颈,探讨提升自给率与质量水平的路径 [5] - 聚焦光刻设备国产化进程中的关键问题与解决方案,包括研发、制造工艺、性能提升及市场情况 [6] 参会单位 - 24家产学研单位确认参会并发表演讲,包括中科芯、芯东来、鼎龙、波米科技、星泰克、永光化学、润晶科技、复旦大学等 [1] 日程安排 - 7月8日14:30-19:00为签到时间 [12] - 7月9日议程包括开幕式致辞、4场主题演讲(穿插茶歇)、圆桌论坛 [12] - 7月10日议程包括2场主题演讲(穿插茶歇)及闭幕式 [13] 签到与参会管理 - 会议仅支持二维码签到,需通过势银活动小程序使用本人手机号生成二维码 [16][20] - 签到成功后显示座位号,签到越早位置越靠前,可通过人脉圈查看座位信息(部分功能需付费开通) [18] 交通与住宿 - 会场酒店协议价为大床房/双床房350元/间夜(含双早),需联系主办方登记 [28] - 周边推荐尚品花园酒店(200元起)、合肥戴斯温德姆酒店(300元起)等,需自行预订 [31][33][36][37] - 交通信息:距离合肥站1.34公里、合肥西站9.08公里、合肥南站11.08公里、合肥新桥国际机场35.37公里 [25][26] 主办方信息 - 势银(TrendBank)是中国领先的产业研究与数据公司,提供数据、研究、咨询、会议等服务 [49] - 赞助联系人毛裕栋(18667838387),参会联系人章杭琪(15824508736)、谢意欣(18268710908) [38]
电子束光刻机将用于芯片量产?
36氪· 2025-05-27 18:38
近日,一些媒体报道了英国部署电子束光刻机相关的新闻,并号称打破 ASML的EUV技术垄断。部分 报道甚至号称这是全球第二台电子束光刻机,能绕过ASML。实际上当前没有任何信息表面该电子束曝 光机可以用于5nm制程的芯片量产的光刻环节。在这些媒体的报道中,英国似乎已经拳打ASML,脚踢 EUV了。 那事实真的如此吗?实际情况到底如何呢? 01英国部署全球第二台200kV电子束光刻设备 实际上,英国南安普敦大学宣布的是,成功开设了日本以外首个分辨率达5纳米以下的尖端电子束光刻 (EBL)中心,可以制造下一代半导体芯片。这也是全球第二个,欧洲首个此类电子束光刻中心。 据介绍,该电子束光刻中心采用了日本JEOL的加速电压直写电子束光刻(EBL)系统,这也是全球第二台 200kV系统(JEOL JBX-8100 G3)(第一台在日本),其可以在200毫米晶圆上实现低于5纳米级精细 结构的分辨率处理。这可以在厚至10微米的光刻胶中实现,且侧壁几乎垂直,可用于开发电子和光子学 领域研究芯片中的新结构。JEOL的第二代EBL设备——100kV JEOL JBX-A9 将计划用于支持更大批量 的300毫米晶圆。 目前JEOL的 ...
中国研制成功新一代地月空间激光角反射器,助力卫星激光测距;英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂丨智能制造日报
创业邦· 2025-05-06 11:41
天合储能与美国FlexGen合作 - 天合光能旗下天合储能与美国FlexGen达成合作,共同为美国德克萨斯州休斯顿交付一套电网级电池储能系统,容量达371MWh [1] - 项目采用天合储能提供的Elementa金刚2储能解决方案,可提升系统效率并降低度电成本 [1] - FlexGen为该项目提供集成服务和核心能源管理软件HybridOS,通过AI算法实现智能监控、故障预测及运维优化,提升系统运行效率和稳定性 [1] 英国南安普敦大学电子束光刻工厂 - 英国南安普敦大学开设全球第二家电子束光刻工厂,为日本境外首座同类设施,也是欧洲首个尖端半导体工厂 [1] - 电子束光刻技术具备高分辨率,可不经过掩膜直写,但存在效率较低、控制复杂等弱点 [1] - 该技术在实际商业生产中通常用于掩膜制作辅助工艺,不以核心工艺技术出现 [1] 浙江松阳抽水蓄能电站超深竖井 - 浙江松阳抽水蓄能电站1引水竖井定向孔精准贯通,为国内抽蓄最深竖井,上水库正式连通地下厂房 [1] - 定向孔钻孔精度达行业领先水平,铅直度偏差11.2cm,偏斜率仅为0.22‰ [1] - 项目采用随钻测斜技术实时监控偏差,单日最大进尺达85.5m,未出现卡钻、断杆等情况 [1] 中国新一代地月空间激光角反射器 - 中国科研团队实现地月距离尺度卫星激光测距,并首次实现新一代地月空间激光角反射器白天卫星激光测距 [1] 其他行业资讯 - 提供智能制造产业日报订阅服务,涵盖人形机器人、商业航天、AGI等热门赛道 [1][2]