微导纳米电话会议纪要关键要点 一、涉及行业与公司 * 公司为微导纳米[1] * 涉及行业包括半导体设备行业和光伏设备行业[2][3] 二、核心投资逻辑与业务结构 核心投资逻辑 * 受益于下游存储客户（长存、长鑫）的扩产计划[4] * 产品线从ALD向化学气相沉积等领域拓展，存在品类延伸增长空间[4] * 国产技术迭代和半导体设备国产化率较低环节带来增长弹性[4] 业务结构 * 主要业务包括半导体薄膜沉积设备和光伏设备[4] * 2025年半导体设备营收占比达33%，较上年提升21个百分点[4][2] * 光伏设备营收占比降至约60%[4][2] * 公司创始人师从半导体ALD技术发明人，曾在ASM、Pixon等全球头部半导体设备公司任职[4] * 公司于2015年成立，2019年起布局半导体ALD设备并拓展至CVD设备[4] * 在固态电池、玻璃基板及先进镀膜等新兴领域进行前瞻性布局[4] 三、业绩表现与订单增长 历史业绩 * 营收从2019年2.2亿元增长至2025年26.3亿元，复合年均增长率51%[4] * 归母净利润从5000余万元增长至2.2亿元，复合年均增长率26%[4] 新签订单高速增长 * 半导体设备新签订单从2022年2亿元增至2025年20亿元，实现十倍增长[2][5] * 预计2026年新签订单达40亿至45亿元[2][5] * 预计2027年新签订单有望达70亿至80亿元[2][7] * 系前道设备中标增速最快企业[2] 四、半导体设备市场地位与竞争格局 市场空间 * 薄膜沉积设备是半导体前道三大核心环节之一[5] * 2025年全球市场空间约700亿元[5] * 预计到2030年有望达到千亿规模[5] * 市场分为CVD（占比约60%）、物理气相沉积（占比约20%）和ALD设备（占比约15%）[5] 竞争格局 * 全球ALD和CVD设备市场由美国、日本和荷兰企业主导，垄断超过80%份额[5] * 国内ALD和CVD设备国产化率约在20%至40%之间，存在较大国产替代空间[5] * 国内主要参与者包括拓荆科技、北方华创、微导纳米、中微公司和盛美上海[5] * 微导纳米是国内半导体薄膜沉积设备市场第一梯队企业[5] 五、客户拓展与产品工艺覆盖 客户拓展 * 2019年至2023年逐步突破国内头部四大客户，包括中芯国际以及武汉和合肥两大存储芯片制造商[6] ALD设备工艺覆盖 * ALD工艺覆盖度已达70%至80%[6][2] * 计划未来实现100%全工艺覆盖[6] * 2019年为中芯国际开发国内首台可用于28纳米量产的High-K ALD设备[6] * 解决28纳米制程中高介电常数栅氧层薄膜核心工艺难题[6] * 推出应用于高深宽比3D NAND、3D DRAM及TSV等技术的解决方案[6] * 实现逻辑、存储、先进封装和化合物半导体领域对ALD主要应用的覆盖[6] CVD设备拓展 * 产品主要包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和低压化学气相沉积（LPCVD）设备[6] * 高温掩膜PECVD设备获得武汉客户认证并形成批量订单[6][2] * 目标实现全温域、全工艺覆盖[6] * 研发应用于二氧化硅、氮化硅等通用膜层的PECVD设备，已通过多家客户性能测试[6] * LPCVD设备覆盖锗硅、多晶硅等多种工艺[6] * 部分LPCVD产品完成产业化验证并获得重复订单[6][2] 六、存储芯片业务敞口与订单预期 存储客户敞口 * 公司是国内前道设备厂商中对两大存储芯片制造商（武汉和合肥）业务敞口最高的企业[7] * 2025年新签订单中约60%来自武汉客户，20%来自合肥客户，两者合计占比超过80%[2][7] * 未来三年两大存储厂商扩产规模有望达到百万片[7] 订单预期 * 基于中性扩产预期，预计2027年新签订单额可达70亿至80亿元[7] * 相较2026年预计的40亿至45亿元继续实现近翻倍增长[7] 七、ALD设备在先进制程中的价值量提升 逻辑工艺迭代 * ALD技术主要应用于28纳米及以下先进制程[7] * 28纳米制程仅需3道工序[2][7] * 7纳米制程上升至12-13道工序[2][7] * 价值量提升四倍以上[2][7] * 逻辑芯片从FinFET向GAA结构迭代，存储芯片向3D结构升级[7] * ALD从成熟制程可选工艺转变为先进制程产线刚需设备[7] 量价齐升 * 工艺复杂度增加推高单台ALD设备价值量[7] * 形成量价齐升局面[7] 八、平台化战略布局 PVD技术布局 * 已布局包括阳极模块和磁控溅射装置在内的三项PVD技术专利[7] * 未来将逐步实现ALD、CVD和PVD技术全面布局[7] * 向平台型公司发展[7] 九、光伏设备业务现状 市场地位 * 光伏ALD设备龙头企业[3][8] * 国内市场占有率超过70%[3][8] 技术覆盖 * 全面覆盖TOPCon、HJT及钙钛矿工艺[3][8] 行业周期 * 光伏行业整体处于下行周期[3][8] * 业务板块处于等待行业拐点状态[8] * 一旦行业回暖，凭借核心竞争力有望维持头部市场份额[8]