光刻机国产化技术突破 - 上海微电子首次公开极紫外（EUV）光刻机参数图，芯上微装获工博会最高荣誉及集成电路创新成果奖 [1] - 国产光刻机实现90nm工艺量产，上海微电子600系列光刻机已量产90nm工艺，28nm浸没式光刻机研发中 [3] - 国产EUV进入原理机搭建阶段，干法DUV近期进入量产测试阶段，先进封装机台正式量产 [3] 产业链协同发展与公司进展 - 张江高科通过子公司投资上海微电子22,345万元，持股10.779% [4] - 波长光电光刻机相关业务包括反射镜、聚焦镜等光学元器件，应用于掩膜光刻、直写光刻等场景 [4] - 江丰电子开发28nm以下节点光刻机核心冷却部件，已进入量产阶段 [4] - 芯碁微装WLP 2000晶圆级直写光刻设备获中道头部客户重复订单，实现2μm线宽/线距 [4] 行业需求与外部环境 - 中国光刻机需求量较大但国产化率极低，美国自2018年起限制对华出口EUV及先进DUV光刻机 [5] - 光刻机技术突破带动上游材料、光学部件等国产化，形成"龙头带动、多点突破"产业格局 [3] 市场表现与机构关注 - 光刻机概念股40余只，机构关注度较高个股包括芯碁微装（18家机构评级）、江丰电子（13家）、富创精密（13家）等 [6] - 杠杆资金净买入超亿元个股包括腾景科技（5.23亿元）、芯碁微装（4.66亿元）、炬光科技（1.82亿元）等 [7][8] 成长性预测 - 富创精密、同飞股份等机构一致预测2026及2027年净利增速均超30% [6] - 芯碁微装、江丰电子等机构一致预测2026及2027年净利增速均超20% [6]

涨停板封单情况 - 山子高科以86.21万手封单量位居首位 上海建工80.77万手位列第二 景兴纸业54.57万手排名第三 建元信托45.35万手排名第四[1] - 德尔未来 露笑科技 万向钱潮封单量均超过30万手[1] - 均胜电子封单金额达5.59亿元 为当日最高 泰慕士4.15亿元 露笑科技3.8亿元 景兴纸业3.55亿元 山子高科3.19亿元 万向钱潮3.17亿元[1] - 26只个股封单金额超过1亿元[1] 连板个股表现 - ST亚太实现8连板 山子高科 上海建工 香江控股实现4连板 万向钱潮 泰慕士 *ST仁东实现3连板[1] - 景兴纸业 建元信托 均胜电子等近10只个股实现2连板[1] 均胜电子重大订单 - 公司获得两家头部品牌主机厂客户项目定点 将为其开发汽车智能化产品包括CCU和智能网联产品[1] - 项目全生命周期订单总金额约150亿元 计划2027年开始量产[1] - 智能驾驶业务预计将迎来快速增长阶段[1] 光刻机板块涨停 - 波长光电主要产品包括反射镜 聚焦镜 场镜等光学元器件 应用于接近式掩膜光刻 直写光刻 封装测试等领域[2] - 永新光学少量光学产品应用于光刻机相关设备 但规模较小非核心业务[2] - 凯美特气光刻气产品获得日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证[2] 柔性屏板块涨停 - 利和兴OLED柔性屏覆膜设备用于将保护膜和散热膜覆盖于3D曲面OLED柔性面板[3] - 东睦股份下属上海驰声公司业务涉及液态金属产品 主要应用于折叠屏手机铰链领域[3] 工业母机板块涨停 - 中原内配子公司从事数控机床和非标专用机床的研发生产[4] - 宝馨科技数控钣金技术属于工业母机范畴 产品可应用于工业母机领域[5] 龙虎榜交易情况 - 汇金股份净买入额3.17亿元 恒宝股份2.46亿元 凯美特气2.08亿元[7] - 豪恩汽电机构净买入9597.71万元 蔚蓝锂芯9217.03万元 线上线下5989.13万元 汇金股份5372.21万元[7]