激励计划进程 - 2025年3月4日董事会和监事会审议通过激励计划议案[2][3] - 3月5 - 14日对激励对象名单内部公示[3] - 3月21日第二次临时股东大会审议通过相关议案[4] - 3月31日董事会和监事会审议通过调整激励对象事项议案[5] 激励对象调整 - 6人已离职、11人因离职意向或绩效不再作为激励对象[6][9][10] - 激励对象由不超1072人调为1055人[6][9][10] - 17名激励对象原拟获授份额调整分配，授予股票数量不变[6][9][10] 调整影响与合规 - 本次调整对公司财务和经营成果无实质性影响[8] - 律师认为调整及授予事项合规[13] - 独立财务顾问认为激励计划调整及授予事项合规[14]

激励计划时间线 - 2025年3月4日相关会议审议通过激励计划议案[10] - 2025年3月5 - 14日内部公示激励对象[10] - 2025年3月21日股东大会通过激励计划议案[11] - 2025年3月31日会议通过调整及授予议案[13] 激励对象与授予情况 - 激励对象由不超1072人调为1055人[14] - 2025年3月31日向1055人授予126.7894万股限制性股票[17] 条件与合规 - 公司和激励对象未出现不得实行激励情形[20] - 授予条件已成就，事项获必要批准授权[21][22]

激励计划流程 - 2025年3月4日审议通过激励计划相关议案[11] - 3月5 - 14日对激励对象内部公示[12] - 3月21日股东大会审议通过激励计划相关议案[13] - 3月31日审议通过调整激励对象及授予限制性股票议案[14] 激励计划数据 - 激励对象由不超1072人调为1055人[15] - 授予数量126.7894万股，占股本总额0.45%[18] - 授予日为2025年3月31日[18] - 授予价格90元/股[19] - 有效期最长不超36个月[20] - 两归属期归属权益比例均为50%[21] 激励对象分配 - 董高技获授129,000股，占授予总数10.1744%[22] - 其他员工（1044人）获授1,138,894股，占89.8256%[22] - 全部激励对象（1055人）获授1,267,894股，占100%[22]

激励计划调整 - 2025年限制性股票激励对象由不超1072人调为1055人[3] - 调整因6人离职、11人有离职意向或绩效不佳[3] 激励计划授予 - 监事会同意向1055人授予126.7894万股限制性股票[7] - 授予日为2025年3月31日[7] 会议情况 - 第二届监事会第十三次会议3月31日书面传签召开[2] - 两议案表决均3票同意，无需股东大会审议[6][8]

激励计划调整 - 6名激励对象因离职不再符合资格，11名因离职意向或绩效不再作为激励对象[3] 激励计划授予 - 监事会同意授予1055名激励对象126.7894万股限制性股票[4] - 授予价格为90元/股[4] - 授予日为2025年3月31日[4]

会议信息 - 公司第二届董事会第十四次会议于2025年3月31日书面传签召开，9名董事参与表决[2] 激励计划 - 2025年限制性股票激励计划调整后激励对象为1055人，减少17人[3] - 授予日为2025年3月31日，授予价格90元/股[5] - 向1055名激励对象授予126.7894万股限制性股票[5] 议案表决 - 两项议案均7票同意，0票反对，0票弃权，2人回避表决[3][5]

文章核心观点 拓荆科技（上海）有限公司申请"背面沉积有非晶相碳膜的晶圆及其制备方法和应用"专利，该专利在半导体领域有增加传统晶圆背面沉积薄膜可选择性等优势，同时介绍了公司基本信息 [1][2] 公司信息 - 拓荆科技（上海）有限公司成立于2020年，位于上海市，以从事科技推广和应用服务业为主 [2] - 企业注册资本135253.79万人民币，实缴资本95253.78万人民币 [2] - 公司参与招投标项目19次，有商标信息1条，专利信息243条，拥有行政许可11个 [2] 专利信息 - 公司申请名为"背面沉积有非晶相碳膜的晶圆及其制备方法和应用"的专利，公开号CN 119694881 A，申请日期为2024年12月 [1] - 该专利属于半导体领域，可增加传统晶圆背面沉积薄膜的可选择性 [1] - 相同膜厚条件下，非晶相碳膜应力和翘曲与SiN相近，可实现对翘曲较大的工艺片或结构片的应力中和 [1] - 非晶相碳膜在高温下具有较好粘附力，可实现以上厚度的薄膜沉积 [1] - 晶圆背面沉积的SiN、SiO薄膜需通过(磷酸或氢氟酸)湿法去除，而非晶相碳膜可通过与等离子体激发下氧离子反应原位去除，副产物主要为二氧化碳 [1]

激励计划 - 公司于2025年3月4日审议通过2025年限制性股票激励计划相关议案[1] 自查情况 - 自查期为2024年9月6日至2025年3月5日，核查对象为激励计划内幕信息知情人[2] - 11名核查对象自查期买卖股票，确认无内幕交易[5] - 策划激励计划限定人员范围，未发现内幕信息泄露及违规交易[6]

会议信息 - 公司2025年第二次临时股东大会3月6日公告，3月21日14:00召开[3] - 现场会议在辽宁沈阳公司会议室召开，网络投票通过上交所系统进行[3] 参会情况 - 出席现场会议8名股东代表4260700股，占比1.5232%[6] - 网络投票170名股东代表132411386股，占比47.3356%[7] - 现场和网络投票共178名股东代表136672086股，占比48.8587%[7] 会议结果 - 审议通过《2025年限制性股票激励计划（草案）》等三项议案[9] - 会议召集、召开等均符合规定，决议合法有效[10]

股东大会信息 - 2025年3月21日在辽宁省沈阳市浑南区召开[3] - 178人出席，所持表决权占48.5847%[3] - 出席股东持股占48.8587%[3] 人员出席情况 - 9名董事、3名监事全部出席，董秘出席，高管列席[7] 议案表决结果 - 《2025年限制性股票激励计划（草案）》等三议案同意占比超99%[8][9] - 5%以下股东对三议案同意占比超96%[10]