半导体设备行业研究关键要点 行业与公司 * 行业为半导体设备及零部件行业 公司包括拓荆科技 华创 中微公司 中科飞测 精测电子 长川科技 金海通 华峰测控 北方华创 维导纳米等[1][2][15] 核心观点与论据 * 地缘政治紧张和许可证限制加速中国半导体设备 材料和零部件的自主可控进程 半导体设备板块估值合理 值得重点关注[1][3] * 光刻机是半导体设备中最关键的子领域 国内正处于从0到1的突破阶段 但高端DUV和EUV光刻机进口受阻 国产替代需求迫切[1][5] * 国内薄膜沉积和刻蚀技术发展较好 拓荆科技在CVD领域表现突出 华创在PVD领域领先 中微公司和华创在刻蚀领域实现了较成功的国产替代 自主可控水平较高[1][6][7] * 检量测设备国产化率较低 不超过15% 中科飞测 精测电子等公司虽有突破 但大规模放量仍需时日[1][8] * 后道测试与分选设备如长川科技 金海通 华峰测控已取得突破 并且盈利能力强[1][9] * 半导体设备行业关注点在于光刻机国产突破和下游先进逻辑与存储扩产[1][10] * 国内晶圆代工厂成熟制程投资稳定 先进制程（AI算力芯片）需求旺盛但供给不足 受限于核心光刻机设备被禁[11][12] * 存储领域NAND和DRAM扩产动力强劲 长鑫存储三期扩产预计将带来数百亿人民币的国产设备需求 长川产能约13万片 占全球8% 预计明年全球占比提升至15% 即24万片 需要约9万片扩产 对应700-900亿人民币设备投资空间 DRAM尤其是HBM需求迫切 推动相关封装生产[1][13] * 半导体设备零部件国产化相对滞后 国产化率仍然偏低 但其分散性高 对美国依赖度较低 市场具有小批量 多品种 定制化和多样化的特点 随着中美关系变化 国产化需求显现[2][14][16][17] * 建议关注平台型公司（北方华创 中微公司 拓荆科技）和特色公司（中科飞测 精测电子） 以及光刻机相关企业 具体零部件类型建议关注管道 阀门 陶瓷件 机械加工件以及喷淋头等[2][15][18] 其他重要内容 * 半导体设备是一个全球市场规模超千亿美元的大行业 细分领域包括光刻机 薄膜沉积 刻蚀 检量测 清洗和去胶等 其中光刻机 薄膜沉积和刻蚀设备是前道三大主设备 价值量排名前三[4] * 全球光刻机领军者是ASML 其DUV使用193纳米或248纳米光源 可实现7纳米制程 EUV使用13.5纳米光源 适用于3纳米及以下制程 尼康和佳能市占率较低[5] * 维导纳米专注于ALD 并逐渐涉足CVD[6] * 刻蚀技术包括CCP和ICP 中微公司最初专注于CCP现在也涉足ICP 华创则从ICP扩展至CCP[7] * 美国撤销了一些中国境内晶圆厂的许可证 加大了国外企业在中国生产芯片的难度[3] * 国内企业如寒武纪 海光信息 华为升腾等订单充足 英伟达产品在国内拓展受阻[12]

股价与交易表现 - 9月25日公司股价下跌1.26% 成交额达24.93亿元 [1] - 当日融资买入3.04亿元 融资净买入2049.71万元 融资余额11.68亿元占流通市值1.68% [1] - 融券卖出6200股金额154.38万元 融券余量7.64万股对应余额1902.96万元 [1] 融资融券状况 - 融资融券总余额11.87亿元 融资余额与融券余额均处于近一年90%分位高位水平 [1] - 融资余额超过近一年90%分位 融券余额同样超过近一年90%分位 [1] 股东结构变化 - 股东户数1.41万户较上期减少4.69% 人均流通股19794股较上期大幅增加89.04% [2] - 华夏上证科创板50ETF减持8.02万股至779.38万股 香港中央结算增持119.26万股至682.77万股 [2] - 易方达科创板50ETF增持19.25万股至579.02万股 诺安成长混合减持18.47万股至454.88万股 [2] 财务业绩表现 - 2025年上半年营业收入19.54亿元 同比增长54.25% [2] - 归母净利润9428.80万元 同比减少26.96% [2] - 半导体专用设备业务占比96.47% 其他业务占比3.53% [1] 机构持仓调整 - 嘉实科创板芯片ETF增持31.98万股至332.19万股 [2] - 银华集成电路混合与华夏国证半导体芯片ETF退出十大流通股东行列 [2] - 公司A股上市后累计派现1.74亿元 [2] 公司基本信息 - 公司位于辽宁省沈阳市浑南区 2010年4月28日成立 2022年4月20日上市 [1] - 主营业务为高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务 [1]

涉及的行业与公司 * 涉及的行业为中国半导体行业 特别是人工智能AI芯片与半导体设备WFE行业[1] * 核心讨论的公司为华为Huawei 及其AI芯片与集群产品[1] * 报告覆盖并给出投资评级的上市公司包括：中芯国际SMIC[1][4][6]、华虹半导体Hua Hong[1][4][7]、中微公司AMEC[1][4][9]、北方华创NAURA[1][4][8]、拓荆科技Piotech[1][4][10]、海光信息Hygon[1][4][11]、寒武纪Cambricon[1][4][12] 核心观点与论据 **华为AI战略与能力** * 华为在2025年9月18日的HUAWEI CONNECT上公布了其AI路线图 战略基于三大支柱：下一代Ascend AI芯片路线图、开源统一总线UB协议、以及全球最强大的SuperPoD和SuperCluster[1] * 华为单颗芯片Ascend 950的性能仅为英伟达VR200的6% 但通过创新的UB网络协议和全光互联硬件 其单个SuperPoD可集成114倍于英伟达的芯片数量 从而实现6.8倍的总算力[3] * 华为的Atlas 960 SuperCluster计划使用超过100万颗芯片 以提供4 ZFLOPS的FP4算力[3] * 该解决方案需要约16倍数量的芯片 这对晶圆代工和半导体设备需求是通胀性的[1] * 华为公开阐述其AI路线图的意愿 表明其对其未来本土晶圆代工供应韧性的信心[2] **对本土半导体产业链的影响** * 华为AI SuperPoD和SuperCluster的宏大规划 预示着对本土先进逻辑制程产能的爆炸性需求[3] * 华为的战略是以更多但工艺稍逊的产能 通过数量优势进行竞争[3] * 据金融时报FT报道 本土AI产能预计在2026年将增长两倍 该机构的WFE进口追踪器也显示中国资本支出强于预期[3] * 这为整个本土AI供应链带来积极影响 受益方包括晶圆代工厂、半导体设备商和AI芯片设计公司[4] * 中芯国际作为先进逻辑制造能力的领先供应商将显著受益 其7纳米产能扩张直接支持华为加速器生产[4] * 半导体设备商将从产能扩张计划中获得巨大利益 行业领导者如北方华创、中微公司、拓荆科技存在明确的上行空间[4] * 海光信息作为本土领先的x86服务器CPU提供商 在AI集群方面具有优势 但可能面临来自华为的更激烈竞争[4] * 寒武纪作为领先的AI加速器ASIC芯片提供商 是华为的主要替代选择 但面临估值过高的担忧[4][12] **技术规格与路线图** * Ascend芯片路线图包括：Ascend 950PR（2026年Q1）、Ascend 950DT（2026年Q4）、Ascend 960（2027年Q4）、Ascend 970（2028年Q4）[15] * Ascend 960芯片的互联带宽为2.2 TB/s 计算能力为2 PFLOPS FP8和4 PFLOPS FP4 内存容量为288 GB 内存带宽为9.6 TB/s[15][16] * Atlas SuperPoD路线图包括：Atlas 900 A3（2025年）、Atlas 950 SuperPoD（2026年Q4）、Atlas 960 SuperPoD（2027年Q4）[23] **风险与挑战** * 华为尚未证明其能够执行该路线图并获得商业吸引力 因为芯片成本和功耗可能会高得多[1] * 晶圆代工供应链尚未完全本土化 仍存在进一步中断的风险[2] 其他重要内容 **投资建议与目标价** * 报告对多家公司给出Outperform评级：中芯国际H股目标价30港元 A股目标价110元[6]；华虹半导体H股目标价60港元 A股目标价85元[7]；北方华创目标价450元[8]；中微公司目标价300元[9]；拓荆科技目标价300元[10]；海光信息目标价220元[11] * 报告对寒武纪给出Market-Perform评级 目标价1100元[12] **估值方法** * 中芯国际H股估值基于1.5倍NTM市净率P/B 预计未来四个季度每股账面价值为2.64美元[6] * 华虹半导体H股估值基于2.0倍P/B 预计未来四个季度每股账面价值为3.78美元（约合29.41港元）[7]

指数表现 - 科创50指数涨幅扩大至超2% [1] - 上证指数报3829.21点，上涨7.37点，涨幅0.19% [2] - 创业板指报3140.11点，上涨25.56点，涨幅0.82% [2] - 深证成指报13171.40点，上涨51.59点，涨幅0.39% [2] - 科创20指数报1437.04点，上涨29.74点，涨幅2.11% [2] - 北证50指数报1560.87点，上涨13.42点，涨幅0.87% [2] - 沪深300指数报4525.24点，上涨5.46点，涨幅0.12% [2] - 上证50指数报2927.29点，上涨7.78点，涨幅0.27% [2] 个股表现 - 盛美上海涨幅超过10% [1] - 华海清科涨幅超过9% [1] - 拓荆科技涨幅超过7% [1]

指数表现 - 上证科创板50成份指数强势上涨1.74%至2025年9月24日10:21 [1] - 科创50ETF指数上涨1.74% 最新价报1.46元 [1] 成分股表现 - 盛美上海上涨9.99% 股价创新高 [1] - 华海清科上涨7.10% [1] - 和辉光电上涨7.04% [1] - 中控技术及拓荆科技等个股跟涨 [1] 半导体设备动态 - 盛美上海推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF [1] - 首台设备系统于2025年9月交付中国头部逻辑晶圆厂客户 [1] 投资机会分析 - 东吴证券建议关注国内AI芯片带来的封测设备端投资机会 [1] - 测试设备领域因国产AI芯片采用更大引脚和电流导致测试难度提升 关注国产测试机突破 [1] - 封装设备领域因国产AI芯片采用CoWoS先进封装 国内先进封装有望进入起量元年 关注国产封装设备新机遇 [1] 指数构成 - 上证科创板50成份指数由科创板市值大流动性好的50只证券组成 [2] - 前十大权重股包括寒武纪中芯国际海光信息澜起科技中微公司金山办公联影医疗芯原股份石头科技九号公司 [2] - 前十大权重股合计占比60.25% 截至2025年8月29日 [2] 相关ETF产品 - 科创50ETF指数(588040) [2] - 科创50增强ETF(588460) [2] - 场外联接A(021908) 联接C(021909) 联接I(022969) [2]

市场表现 - A股三大指数集体下跌 上证指数盘中下跌1.07%[1] - 银行 贵金属 保险等板块涨幅靠前 餐饮旅游 互联网跌幅居前[1] - 芯片ETF（159995）下跌2.37% 成分股圣邦股份下跌4.66% 寒武纪-U下跌4.63% 三安光电下跌4.25%[1] - 部分芯片个股活跃 沪硅产业上涨9.47% 拓荆科技上涨2.32%[1] 行业动态 - 腾讯云平台已全面适配主流国产芯片 标志着大型互联网公司加速"软硬一体"内循环和自主可控进程[1] - 国内云厂商主动适配国产AI芯片 有助于提升国产芯片市场竞争力和产业成熟度[1] - 此举将推动中国AI产业链的自主可控与创新突破 对国内芯片厂商具有长期利好[1] 产品信息 - 芯片ETF（159995）跟踪国证芯片指数 包含30只成分股[1] - 成分股覆盖芯片产业材料 设备 设计 制造 封装和测试等环节龙头企业[1] - 代表性成分股包括中芯国际 寒武纪 长电科技 北方华创等[1] - 场外联接基金A类代码008887 C类代码008888[1]

指数表现 - 中证半导体产业指数上涨1.43%，成分股长川科技涨20.00%、华峰测控涨8.54%、京仪装备涨6.17% [1] - 上证科创板芯片指数下跌0.05%，成分股华峰测控领涨8.54%、拓荆科技涨3.97%，东芯股份领跌3.81% [3] - 上证科创板新材料指数下跌0.58%，成分股统联精密领涨3.36%、嘉元科技涨3.05%，德邦科技领跌4.44% [5] ETF表现 - 半导体产业ETF(159582)上涨1.42%报2.07元，近1周累计涨9.79% [1] - 科创芯片ETF博时(588990)下跌0.24%报2.45元，近1周累计涨8.25% [3] - 科创新材料ETF(588010)下跌0.63%报0.79元，近1周累计涨0.25% [5] 流动性指标 - 半导体产业ETF换手率6.29%，成交1625.13万元，近1周日均成交6023.12万元 [1] - 科创芯片ETF博时换手率6.93%，成交4390.25万元，近1月日均成交1.86亿元 [3] - 科创新材料ETF换手率2.94%，成交827.01万元，近1周日均成交3179.15万元 [5] 行业动态 - 英伟达计划投资1000亿美元与OpenAI共建数据中心，股价上涨近4%创历史新高 [6] - 摩尔线程9月26日科创板首发上会，沐曦股份进入IPO二轮问询，两家公司专注高性能GPU研发 [6] - DeepSeek模型升级至V3.1-Terminus优化语言一致性，宇树科技人形机器人展示抗干扰能力 [7] 指数构成 - 中证半导体产业指数前十大权重股包括寒武纪、中微公司等，合计权重77.73% [9] - 上证科创板芯片指数前十大权重股包括寒武纪、海光信息等，合计权重62.02% [10] - 上证科创板新材料指数前十大权重股包括沪硅产业、西部超导等，合计权重47.85% [11] 资金与规模 - 半导体产业ETF规模2.55亿元创近半年新高，近5日资金净流入2154.92万元 [9] - 科创芯片ETF博时今年以来份额增长1.04亿份，近21日资金净流入3.34亿元 [9][10] - 科创新材料ETF近1年规模增长2.12亿元，新增规模位居可比基金第一 [10]

股票发行 - 拟向不超过35名特定对象发行A股股票，发行价不低于定价基准日前二十个交易日公司股票交易均价的80%[25][27] - 发行股票数量不超过本次发行前公司总股本的30%，即不超过83,918,735股[29] - 募集资金总额不超过460,000.00万元，拟投入3个项目[32] - 发行对象认购的股票自发行结束之日起六个月内不得转让[31] - 发行决议有效期为自股东大会审议通过之日起12个月[37] 资金使用 - 高端半导体设备产业化基地建设项目拟投资176,830.11万元，拟使用募集资金150,000.00万元[33] - 前沿技术研发中心建设项目拟投资200,129.38万元，拟使用募集资金200,000.00万元[33] - 补充流动资金项目拟投资110,000.00万元，拟使用募集资金110,000.00万元[33] - 拟将“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”结项后节余募集资金和剩余首发超募资金永久补充流动资金[68] 公司决策 - 编制2025年度向特定对象发行A股股票相关报告[43][46][49][52] - 制定未来三年（2025年 - 2027年）股东分红回报规划[54] - 拟向控股子公司拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司增资，构成关联交易[65] - 原董事杨卓、杨柳辞任非独立董事职务[71] - 拟补选袁训、张昊玳为第二届董事会非独立董事候选人[71]

融资计划 - 公司拟向不超过35名特定对象发行不超83,918,735股A股，不超发行前总股本30%[25][29] - 发行价格不低于定价基准日前二十交易日公司股票交易均价80%[27] - 发行募集资金不超460,000.00万元，投入三个项目[32] - 高端半导体设备产业化基地等三项目分别拟用募资150,000.00万、200,000.00万、110,000.00万元[33] 公司运营 - 拟向控股子公司拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司增资，构成关联交易[63] - 拟将“半导体先进工艺装备研发与产业化项目”节余资金和剩余首发超募资金永久补流[66] 人事变动 - 原董事杨卓、杨柳辞任非独立董事职务[69] - 拟补选袁训、张昊玳为第二届董事会非独立董事候选人[69] 会议相关 - 2025年9月29日14时召开会议，审议13项议案[6][14] - 采用现场和网络投票结合，现场13:00 - 14:00签到，发言不超5分钟[8][10] - 网络投票9月29日，交易系统9:15 - 9:25等时段，互联网9:15 - 15:00[14] - 提请授权董事会及授权人士办理发行事宜，有效期12个月或延至发行完成日[59][61]

中证A500指数表现 - 指数最新点位5433.29点 本周微涨0.02% [2][5] - 日均成交额9126.33亿元 单日成交额环比上涨2.7% [2][5] - 周成交额45631.67亿元 [2] 成分股表现 - 涨幅前十成分股中 均胜电子以44.25%领涨 上海建工涨31.70% 三花智控涨20.72% [3] - 跌幅前十成分股中 北方稀土跌12.20% 君实生物跌9.84% 锡业股份跌9.45% [3] - 涨幅前十主要集中在电子、建筑、机械及科技板块 跌幅前十以稀土、生物科技及资源类股票为主 [3] 基金表现 - 39只中证A500基金总规模达1865.27亿元 [4][5] - 华泰柏瑞基金规模221.82亿元居首 国泰基金204.94亿元 易方达基金204.55亿元 [4][5] - 国联安基金以0.424%周涨幅居首 兴业基金涨0.416%位列第二 [5] - 多数基金实现上涨 仅少数出现小幅下跌 [4] 宏观政策影响 - 美联储9月17日降息25个基点至4.00%-4.25% 重启降息步伐 [6] - 降息短期可能引发全球权益市场震荡 因预期部分提前兑现 [6] - 中长期利好A股 人民币汇率走强提升市场吸引力 科技成长及高股息板块受益 [6] - 历史数据显示美联储预防式降息后A股及港股多以上涨为主 [6]