激励计划进程 - 2025年3月4日董事会和监事会审议通过激励计划议案[2][3] - 3月5 - 14日对激励对象名单内部公示[3] - 3月21日第二次临时股东大会审议通过相关议案[4] - 3月31日董事会和监事会审议通过调整激励对象事项议案[5] 激励对象调整 - 6人已离职、11人因离职意向或绩效不再作为激励对象[6][9][10] - 激励对象由不超1072人调为1055人[6][9][10] - 17名激励对象原拟获授份额调整分配，授予股票数量不变[6][9][10] 调整影响与合规 - 本次调整对公司财务和经营成果无实质性影响[8] - 律师认为调整及授予事项合规[13] - 独立财务顾问认为激励计划调整及授予事项合规[14]

限制性股票授予信息 - 授予日为2025年3月31日[2] - 授予数量为126.7894万股，占股本总额0.45%[2] - 授予人数为1055人[2] - 授予价格为90元/股[2] 流程进展 - 2025年3月4日，董事会和监事会审议通过激励计划议案[2][3] - 2025年3月5 - 14日，对激励对象名单内部公示[4] - 2025年3月21日，股东大会审议通过激励计划议案[4] 归属安排 - 有效期最长不超过36个月，12个月后按条件分次归属[11] - 分两个归属期，各归属权益占授予总量50%[13] 人员分配 - 董事等获授12.9万股，占授予总数10.1744%[13][14] - 其他员工获授113.8894万股，占授予总数89.8256%[14] 人员变动 - 原激励对象中6名离职、11名不再作为激励对象[16] 测算相关 - 采用Black - Scholes模型测算，标的股价157.51元/股[21] - 历史波动率40.3150%、40.3225%，无风险利率1.50%、2.10%，股息率0.1492%[21] 费用摊销 - 授予股票需摊销总费用9248.65万元，2025 - 2027年分别摊销5138.30万元、3510.96万元、599.40万元[22] 合规情况 - 调整及授予事项获必要批准和授权，符合相关规定[24] 公告事项 - 上网公告激励对象名单等多项文件[26][27]

激励计划人员 - 2025年限制性股票激励对象共1055人[2] - 激励对象不包括独立董事、监事[3] 股票授予情况 - 授予限制性股票总数1,267,894股，占股本总额0.4533%[2] - 董事长吕光泉获授25,000股，占授予总数1.9718%[2] - 董事、总经理刘静获授15,000股，占授予总数1.1831%[2] - 董事等小计获授129,000股，占授予总数10.1744%[2] - 其他员工1044人获授1,138,894股，占授予总数89.8256%[2] 相关限制 - 任一激励对象获授股票未超股本总额1%[2] - 全部激励计划标的股票累计不超股本总额20%[2] 名单公布 - 激励计划名单2025年4月1日公布[1][4]

激励计划流程 - 2025年3月4日审议通过激励计划相关议案[11] - 3月5 - 14日对激励对象内部公示[12] - 3月21日股东大会审议通过激励计划相关议案[13] - 3月31日审议通过调整激励对象及授予限制性股票议案[14] 激励计划数据 - 激励对象由不超1072人调为1055人[15] - 授予数量126.7894万股，占股本总额0.45%[18] - 授予日为2025年3月31日[18] - 授予价格90元/股[19] - 有效期最长不超36个月[20] - 两归属期归属权益比例均为50%[21] 激励对象分配 - 董高技获授129,000股，占授予总数10.1744%[22] - 其他员工（1044人）获授1,138,894股，占89.8256%[22] - 全部激励对象（1055人）获授1,267,894股，占100%[22]

激励计划时间线 - 2025年3月4日相关会议审议通过激励计划议案[10] - 2025年3月5 - 14日内部公示激励对象[10] - 2025年3月21日股东大会通过激励计划议案[11] - 2025年3月31日会议通过调整及授予议案[13] 激励对象与授予情况 - 激励对象由不超1072人调为1055人[14] - 2025年3月31日向1055人授予126.7894万股限制性股票[17] 条件与合规 - 公司和激励对象未出现不得实行激励情形[20] - 授予条件已成就，事项获必要批准授权[21][22]

激励计划调整 - 6名激励对象因离职不再符合资格，11名因离职意向或绩效不再作为激励对象[3] 激励计划授予 - 监事会同意授予1055名激励对象126.7894万股限制性股票[4] - 授予价格为90元/股[4] - 授予日为2025年3月31日[4]

激励计划调整 - 2025年限制性股票激励对象由不超1072人调为1055人[3] - 调整因6人离职、11人有离职意向或绩效不佳[3] 激励计划授予 - 监事会同意向1055人授予126.7894万股限制性股票[7] - 授予日为2025年3月31日[7] 会议情况 - 第二届监事会第十三次会议3月31日书面传签召开[2] - 两议案表决均3票同意，无需股东大会审议[6][8]

会议信息 - 公司第二届董事会第十四次会议于2025年3月31日书面传签召开，9名董事参与表决[2] 激励计划 - 2025年限制性股票激励计划调整后激励对象为1055人，减少17人[3] - 授予日为2025年3月31日，授予价格90元/股[5] - 向1055名激励对象授予126.7894万股限制性股票[5] 议案表决 - 两项议案均7票同意，0票反对，0票弃权，2人回避表决[3][5]

文章核心观点 拓荆科技（上海）有限公司申请"背面沉积有非晶相碳膜的晶圆及其制备方法和应用"专利，该专利在半导体领域有增加传统晶圆背面沉积薄膜可选择性等优势，同时介绍了公司基本信息 [1][2] 公司信息 - 拓荆科技（上海）有限公司成立于2020年，位于上海市，以从事科技推广和应用服务业为主 [2] - 企业注册资本135253.79万人民币，实缴资本95253.78万人民币 [2] - 公司参与招投标项目19次，有商标信息1条，专利信息243条，拥有行政许可11个 [2] 专利信息 - 公司申请名为"背面沉积有非晶相碳膜的晶圆及其制备方法和应用"的专利，公开号CN 119694881 A，申请日期为2024年12月 [1] - 该专利属于半导体领域，可增加传统晶圆背面沉积薄膜的可选择性 [1] - 相同膜厚条件下，非晶相碳膜应力和翘曲与SiN相近，可实现对翘曲较大的工艺片或结构片的应力中和 [1] - 非晶相碳膜在高温下具有较好粘附力，可实现以上厚度的薄膜沉积 [1] - 晶圆背面沉积的SiN、SiO薄膜需通过(磷酸或氢氟酸)湿法去除，而非晶相碳膜可通过与等离子体激发下氧离子反应原位去除，副产物主要为二氧化碳 [1]

文章核心观点 - 拓荆科技在SEMICON China 2025展会首日召开新品发布会，发布三大产品系列新品，展示技术突破与产业布局，为中国半导体设备行业注入新活力，开启崭新篇章 [3][9] 发布会概况 - 2025年3月26日拓荆科技在SEMICON China 2025展会首日召开主题为“拓芯章·见未来”的新品发布会，吸引数百名嘉宾到场 [3] 技术研发与产品策略 - 公司依托多年技术积累从 前道薄膜设备走向3D - IC设备，2024年反应腔出货量超1000台，2025年将保持高研发投入，持续产品升级，实现从“国产替代”向“技术引领”的战略升级 [5] 战略新品情况 - ALD事业部国内ALD设备装机量和薄膜工艺覆盖率第一，新一代原子层沉积设备VS - 300T在坪效比、成本、薄膜均匀性等方面有优势 [6] - 3D - IC和先进封装事业部在键合和相关产品布局上实现国产键合领域设备装机量及键合相关工艺覆盖率第一，发布低应力熔融键合设备Dione 300F等多款新品 [6] - CVD事业部应用能力获市场及客户肯定，研发集中在提升客户生产效率，2023 - 2024年出货10种新产品，推出新平台PF - 300M达成提高厚膜产能等目标 [6] 启幕仪式 - 董事长与三位事业部负责人共同揭开新品模型帷幕，LED大屏同步呈现动态技术演示，现场氛围达到高潮 [7]