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半导体产业供应链安全
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破局与竞逐:中国高端CMP抛光液产业发展现状及氧化铈技术路径深度解析
材料汇· 2025-11-22 23:11
文章核心观点 - CMP抛光液是芯片精密制造中不可或缺的关键材料,其性能直接决定芯片的良率、性能与可靠性,但在中国半导体产业的战略布局中却是一个盲点[2][4] - 全球CMP抛光液市场高度集中,美日龙头厂商占据近80%市场份额,构筑了多维技术护城河,而中国在高端制程的国产化率不足10%,存在供应链安全风险[4][8] - 氧化铈基抛光液,尤其是纳米球形氧化铈,是下一代平坦化技术的核心,具有机理优势,但规模化制备存在世界级难题,是国内企业面临的核心挑战[21][23][24] - 随着中国大陆晶圆产能的爆发式增长,CMP抛光液市场需求巨大,推动国产替代已从“可选项”变为“必选项”,国内企业正从点到面寻求突破[16][19][20] 全球CMP抛光液市场竞争格局 - 全球CMP抛光液市场规模已超过20亿美元,并以年复合增长率约8%的速度持续增长[4] - 市场高度集中,卡博特、Versum Materials、日立、富士美、陶氏等美日龙头厂商占据全球近80%市场份额,其中美国卡博特占据全球约33%的市场份额,处于绝对领先地位[8] - 按产品种类划分,硅抛光液主要企业包括富士美、卡博特、Versum Materials、安集科技等;钨抛光液主要企业包括卡博特、Versum Materials、安集科技等;氧化物抛光液主要企业包括卡博特、Versum Materials、Hitach等;其他金属抛光液主要企业包括安集科技、富士美、Versum Materials[11] 行业壁垒与技术护城河 - 国际巨头的领先地位建立在纳米颗粒精确控制、配方复杂性和工艺深度绑定等多维技术护城河之上[13] - 抛光液是由研磨颗粒、氧化剂、腐蚀抑制剂等十几种化学品构成的复杂体系,各成分间的协同效应是数十年经验积累的“Know-How”[13] - 抛光液需与特定的抛光垫、设备及芯片工艺节点深度匹配,验证周期长,客户转换成本极高[13] - 氧化铈基抛光液是国际主流技术路线中不可或缺的一环,是参与高端芯片制造的入门券[14] 中国市场现状与国产替代 - 预计到2025年,中国大陆的12英寸晶圆厂产能将占全球总量的约25%,中国CMP抛光液市场规模预计将在2025年突破60亿元人民币[16] - 外资品牌在中国高端CMP抛光液市场的占有率仍高达90%以上,存在供应链安全、成本与议价、服务响应滞后三大核心风险[17][18][19] - 以安集科技为代表的国内企业已在铜/阻挡层抛光液等关键领域实现突破,但在氧化铈、钴、钌等最尖端的抛光液品类上仍处于追赶阶段[20] 氧化铈基抛光液的技术优势与挑战 - 氧化铈抛光液的机理是表面化学反应主导,与传统硅溶胶的机械磨削不同,它在对二氧化硅和氮化硅的高选择比和平坦化能力上具有天然优势[22] - 纳米球形氧化铈将颗粒与晶圆表面的接触方式变为“点接触”,在提高局部反应效率的同时消除了划伤风险,解决了“高去除率”与“低缺陷率”之间的矛盾[23] - 规模化制备高纯度、单分散、高球形度的纳米氧化铈是世界级难题,对设备、工艺控制要求极高,需要深厚的工程化积累[24] 中国企业的破局之路 - 破局需要国家和社会资本对材料行业保持长期、耐心的持续投入[26] - 需要建立“材料企业-晶圆厂-设备商”紧密的联合开发机制,以加速产品迭代与验证[27] - 应集中力量攻克如纳米球形氧化铈等具有战略价值的关键材料,实现从“有”到“优”的跨越[27]
净利润1.4亿,冲击科创板IPO!
搜狐财经· 2025-11-12 15:14
公司概况与IPO进程 - 恒运昌科创板IPO于2025年6月13日获得受理,2025年7月6日收到首轮问询函,并将于2025年11月14日上会 [2] - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商,主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务 [2] - 公司拟募资14.69亿元,用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目等多个项目 [6] 行业地位与技术实力 - 等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一,2024年中国大陆该领域国产化率不足12% [3] - 公司历经十年技术攻关,先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列,成功打破美系巨头MKS和AE的垄断格局 [3] - 公司第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程,第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程,达到国际先进水平并填补国内空白 [3] - 公司承担了3项国家级重大专项课题,助力提高我国半导体产业的供应链韧性和安全水平 [4] 客户与量产能力 - 半导体行业对零部件有“精确复制”的严苛要求,公司已具备成熟的规模化量产能力 [4] - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商 [4] - 截至2025年6月30日,公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款,实现千万级收入的自研产品共24款 [4] 财务表现 - 报告期内营业收入分别为1.58亿元(2022年)、3.25亿元(2023年)、5.41亿元(2024年)、3.04亿元(2025年1-6月) [7][8] - 报告期内归母净利润分别为2618.79万元(2022年)、7982.73万元(2023年)、1.42亿元(2024年)、6934.76万元(2025年1-6月) [7][8] - 2025年1-6月,自研产品收入为25,787.44万元,占总收入的84.81%,其中等离子体射频电源系统收入为23,272.97万元,占76.54% [6] 研发与荣誉 - 截至报告期末,公司拥有已授权发明专利108项,在申请发明专利133项 [5] - 公司研发投入占营业收入的比例在报告期内维持在10%以上,2025年1-6月为14.24% [8] - 公司是国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人”,并获得多项行业奖项 [5] 上市标准符合性 - 公司2023年、2024年营业收入分别为32,526.85万元、54,079.03万元,最近一年收入超过1亿元 [9] - 公司2023年、2024年扣非前后归属于母公司股东的净利润孰低值分别为6,853.38万元、12,897.09万元,累计净利润为19,750.47万元,不低于5000万元 [9] - 公司最近一次市场化融资(2023年12月)投后估值为32.92亿元,预计发行后总市值不低于10亿元,满足科创板市值标准 [9]