公司IPO计划 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理，拟募资15.5亿元 [2] - 募资用途包括沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目等 [5] 公司业务与技术 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，专注于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发生产 [2] - 等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，2023年中国大陆该领域国产化率不足7% [2] - 公司已推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平 [3] - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 [3] 市场地位与竞争格局 - 2023年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模为58.4亿元 [4] - 市场目前由海外巨头MKS和AE高度垄断 [4] - 公司2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一 [4] 财务表现 - 2022年至2024年，公司分别实现营收1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元 [5] - 同期净利润分别为2638.97万元、8053.58万元和1.43亿元 [5] - 截至2024年末，公司已实现百万级收入的自研产品共30款，千万级收入的自研产品共19款 [3]