中信证券股份有限公司 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的核查意见 中信证券股份有限公司（以下简称"中信证券"、"保荐人"）作为江苏微 导纳米科技股份有限公司（以下简称"微导纳米"、"公司"）向不特定对象发 行可转换公司债券的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证 券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引 第 1 号——规范运作》《上市公司募集资金监管规则》等有关规定，对微导纳米 使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的事项进行了核查，核查情况如下： 一、募集资金基本情况 根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意江苏微导纳米科技股份有限 公司向不特定对象发行可转换公司债券注册的批复》（证监许可〔2025〕1404 号），公司向不特定对象发行 1,170,000,000.00 元的可转换公司债券，期限 6 年， 每张面值人民币 100 元，发行数量 11,700,000 张（1,170,000 手）。本次发行的 募集资金总额为人民币 1,170,000,000.00 元，扣除发行费用（不含增值税）人民 币 11,078,396.22 ...

财务表现 - 2025年上半年实现营业收入10.50亿元 同比增长33.42% [1] - 归属于上市公司股东的净利润1.92亿元 同比增长348.95% [1] - 扣除非经常性损益后净利润1.36亿元 同比增长1090.38% [1] 业务构成 - 半导体设备收入1.94亿元 同比增长27.17% 占主营业务收入比重18.45% [1] - 光伏设备收入8.04亿元 同比增长31.53% [1] - 半导体领域在手订单23.28亿元 较年初增长54.72% 新增订单超去年全年水平 [1] 融资与资本运作 - 发行总额11.7亿元可转债"微导转债" 于8月27日在上交所上市 [1] - 可转债主体及债项评级"AA" 展望稳定 转股期为2026年2月12日至2031年8月5日 [1] - 募集资金主要用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设和研发实验室扩建 [1] 发展战略 - 坚持创新驱动发展战略 加大半导体领域投入 [2] - 推动产品工艺覆盖度提升 在光伏新一代电池技术方向保持研发领先 [2] - 巩固行业竞争优势 [2]

证券时报记者 孙宪超 拓荆科技（688072）7月17日晚公告，经财务部门初步测算，预计公司2025年第二季度实现营业收入 12.1亿元至12.6亿元，同比增长52%至58%；预计实现净利润2.38亿元至2.47亿元，同比增长101%至 108%；预计实现扣非净利润2.15亿元至2.24亿元，同比增长235%至249%；预计第二季度经营活动产生 的现金流量净额为14.8亿元至15.8亿元。 上年同期，拓荆科技实现营业收入7.95亿元，净利润1.19亿元，扣非净利润6416.67万元，实现经营活动 产生的现金流量净额-1.78亿元。 公司在业绩说明会中表示，2025年一季度毛利率下降、盈利能力承压主要原因是，一季度确认收入的产 品中，新产品、新工艺占比较高，达到近70%，且这些新产品、新工艺在客户验证过程中成本较高。随 着公司新产品、新工艺进入成熟阶段，公司未来几个季度的盈利能力会呈现改善态势。 拓荆科技是国内量产型PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）、SACVD（次常 压化学气相沉积）、HDPCVD（高密度等离子体增强化学气相沉积）、超高深宽比沟槽填充CVD等薄 膜沉积设备和混合键合设 ...

报告行业投资评级 未提及 报告的核心观点 - 微导转债于2025年8月6日开始网上申购，总发行规模11.70亿元，扣除发行费用后用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目 [3] - 当前债底估值99.08元，YTM为2.25%，债底保护较好；转换平价100.6元，平价溢价率 -0.62%；转债条款中规中矩，总股本稀释率7.03%，对股本摊薄压力较小 [3] - 预计微导转债上市首日价格在128.84 - 143.03元之间，预计中签率0.0036%，建议积极申购 [3] - 微导纳米是面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，2020 - 2024年营收复合增速71.44%，2024年营收27亿元，同比增60.74% [3] - 营业收入主要源于光伏和半导体设备，产品结构年际调整；销售净利率近期回升，销售毛利率下降，销售费用率下降，财务费用率近期上升，管理费用率近期下降 [3] 根据相关目录分别进行总结 转债基本信息 - 发行认购时间表涵盖T - 2至T + 4各阶段安排，如T日为发行首日等 [9] - 基本条款包括存续期6年，主体/债项评级AA/AA，转股价33.57元，转股期2026年2月12日至2031年8月5日等 [10] - 募集资金用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设、研发实验室扩建及补充流动资金，合计11.7亿元 [11] - 债性指标纯债价值99.08元，纯债溢价率0.93%，纯债到期收益率YTM为2.25%；股性指标转换平价100.63元，平价溢价率 -0.62% [11] 投资申购建议 - 预计上市首日价格128.84 - 143.03元，参照可比标的及实证结果，预计上市首日转股溢价率35%左右 [14][15] - 预计原股东优先配售比例74.28%，预计网上中签率0.0036% [16] 正股基本面分析 财务数据分析 - 微导纳米是高端微纳装备制造商，产品在半导体、光伏领域大规模产业化应用 [17] - 2020 - 2024年营收复合增速71.44%，2024年营收27亿元，同比增60.74%；2025年Q1营收5.10亿元，归母净利润0.84亿元 [18][19] - 营业收入主要源于光伏和半导体设备，2022 - 2024年光伏销售收入占比分别为73.18%、89.15%和84.83%，半导体销售规模逐步提升 [20] - 2020 - 2024年销售净利率分别为18.24%、10.78%、7.91%、16.10%和8.40%，销售毛利率分别为51.90%、45.77%、42.31%、43.64%和39.99%；销售费用率下降，财务费用率近期上升，管理费用率近期下降 [24] 公司亮点 - 以ALD技术为核心，形成十一大核心技术，实现科技成果与产业深度融合 [29]

公司融资计划 - 公司拟发行可转债募集资金不超过11.7亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设、研发实验室扩建及补充流动资金 [1] - 其中6.43亿元将用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目，项目总投资6.7亿元，预计达产后年销售收入15.65亿元 [2] 公司业务与技术 - 公司是面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展 [1] - 公司是国内首家将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商 [1] - 公司产品已覆盖逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等领域 [3] 行业现状与需求 - 薄膜沉积设备是半导体制造关键设备，其性能直接影响芯片质量和性能 [2] - 国内高端薄膜沉积设备基本依赖进口，制约了半导体产业供应链安全 [2] - 国内半导体市场需求持续增长，公司半导体薄膜沉积设备销售额从2021年0.25亿元增长至2024年3.32亿元，CAGR达136.21% [3] 项目建设必要性 - 公司现有生产能力难以支撑业务扩张，截至2024年末半导体领域在手订单量达15.05亿元 [3] - 项目将引进先进生产设备和验证检测设备，提升质控能力和交付水准 [3] - 项目将搭建智能管理系统，提升生产效率和运营效率 [3]

科创板发展概况 - 科创板上市公司数量达589家，三成公司产品或在研项目具有行业首创性，超八成公司核心产品瞄准进口替代及自主可控 [5] - 科创板公司累计股权融资超1.1万亿元，超六成公司创始团队为科学家或工程师，"科技—产业—资本"循环格局初步形成 [5] - 科创板制度改革为创业板、主板等存量市场改革提供借鉴，带动资本市场法治建设和基础制度完善 [5] 生物医药领域成果 - 科创板第五套标准上市企业推出的1类新药数量占同期国产创新药获批总数的12%，累计推出20款1类新药，其中2024年新增9款 [7][8] - 君实生物科创板上市后获80多亿元融资，核心产品在全球超35个国家地区获批，商业化产品扩增至5项 [7] - 迪哲医药研发的舒沃替尼是首个获中美双突破性治疗认定的国产肺癌创新药，中国首个独立研发在美获批的全球首创新药 [7] 半导体与高端制造 - 科创板集成电路上市公司达120家，涵盖芯片设计、制造、封测等全产业链，形成中芯国际、中微公司等龙头集群 [10] - 中芯国际科创板IPO募资532亿元支持研发扩产，中微公司上市6年销售规模增长5倍以上，产品从单一刻蚀设备拓展至多品类 [11] - 拓荆科技上市后突破研发资金瓶颈，首年即实现盈利并持续增强盈利能力 [9] 研发投入与人才 - 科创板公司2024年研发投入1681亿元（同比+6.4%），是归母净利润475亿元的3倍多，研发投入占营收比例中位数12.6% [10] - 科创板公司拥有研发人员24万人，占员工总数近三成 [10] - 约九成科创板公司在上市前获创投机构投资，形成"投早、投小、投硬科技"风气 [16] 制度创新与生态建设 - 科创板确立多元包容上市标准，优化再融资审核流程，并购重组定价机制更市场化 [13][14] - 科创板指数体系达30条，境内外跟踪产品161只规模近2600亿元，科创50指数规模超1800亿元 [15] - "1+6"新政提出设置科创成长层、重启第五套标准、试点专业机构投资者制度等深化改革举措 [17][18]

上游芯片材料分类及用途 - 半导体材料分为前端制造材料和后端封装材料 前端制造材料包括硅片、溅射靶材、CMP抛光液和抛光垫、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体和化合物半导体 后端封装材料包括封装基板、引线框架、陶瓷封装体和键合金属线 [1] 中国半导体材料市场规模 - 中国台湾连续14年成为全球最大半导体材料消费市场 2023年市场规模达201亿美元 中国大陆2023年半导体材料市场规模为131亿美元 前瞻预计2024年中国大陆和台湾市场规模分别达142亿美元和207亿美元 [2] 半导体硅片市场 - 2021年中国半导体硅片销售额16.56亿美元 2016-2021年CAGR为27.08% 2022年市场规模增至18.49亿美元 前瞻预计2024年市场规模约20.2亿美元 [3] 半导体设备市场 - 2021年中国大陆半导体设备市场规模296.2亿美元 同比增长44% 2022年市场规模283亿美元 同比下降5% 2023年市场规模366亿美元 同比增长29% 2024年预计达496亿美元 同比增长35% [6] 半导体薄膜沉积设备 - 中国大陆半导体薄膜沉积设备市场规模从2018年168亿元增至2023年600亿元 年复合增长率28.99% 前瞻预计2024年市场规模约774亿元 [8]

融资计划 - 公司拟发行可转债募资不超过11.7亿元，用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂、研发实验室扩建及补充流动资金[1][2] - 半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目总投资6.7亿元，拟使用募资6.43亿元，占总募资额54.96%，预计达产后年销售收入15.65亿元，税后财务内部收益率23.10%，静态投资回收期6.24年[2] - 研发实验室扩建项目总投资4.3亿元，拟使用募资2.27亿元，旨在提升研发能力及科技成果转化能力[3] - 拟使用3亿元补充流动资金，以满足业务快速发展需求[3] 业务发展 - 公司形成以ALD技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，布局逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等细分领域[4] - 2024年营收27亿元，同比增长198.95%，但净利润0.84亿元同比下滑16.16%[4] - 2024年一季度营收5.1亿元，同比增长198.95%，净利润0.84亿元，同比增长2253.57%[5] - 半导体业务2024年收入3.27亿元，同比增长168%，占营收比重从2022年6.87%提升至2024年12.14%[6] 研发投入与订单储备 - 2022-2024年研发投入累计8.65亿元，其中每年超60%投向半导体领域[5] - 截至2024年底，半导体业务在手订单15.05亿元，同比增长65.91%，总在手订单67.72亿元（光伏51.88亿元，新兴应用0.79亿元）[6] - 2024年新增专利授权49项，累计授权178项，新增申请252项，累计申请613项[6]

再融资审核结果 - 江苏微导纳米科技股份有限公司再融资申请符合发行条件、上市条件和信息披露要求 [1] 上市委会议问询重点 - 要求公司说明半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目中研发项目的进展、技术成熟度及市场竞争情况 [2] - 重点关注在研项目未产业化的原因及合理性、产业化是否存在重大不确定性 [2] - 询问2023年研发支出资本化会计处理的依据及合规性 [2] - 要求解释募投项目中补充流动资金的金额是否符合规定 [2] 募集资金用途 - 本次拟发行可转债募集资金不超过11 7亿元 全部用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目及补充流动资金 [3] - 2022年首次公开发行实际募集资金净额10 2347亿元 较原计划超额募集2347万元 [4] - 2022年IPO募集资金原计划投向光伏及柔性电子设备扩产、半导体配套设备扩产、集成电路高端装备产业化应用及补充流动资金 [4] 发行相关数据 - 本次可转债保荐机构为中信证券 保荐代表人为于军杰、代亚西 [3] - 2022年IPO发行4544 5536万股 发行价24 21元/股 保荐机构为浙商证券 [3] - 2022年IPO发行费用总额7676 51万元 其中保荐承销费4906 55万元 [4] 历史上市信息 - 公司于2022年12月23日在科创板上市 [3]