行业与公司概述 * 行业为半导体前道量检测设备领域 公司为中科飞测 是国内领先的半导体量检测设备供应商[2] 公司市场地位与国产替代空间 * 公司是国内前道量检测设备的龙头企业 覆盖了国内主要的逻辑晶圆厂和存储晶圆厂 包括中芯国际 长江存储等主流集成电路制造产线[3] * 截至2024年底 公司交付量突破千台 覆盖约66.6%的前道质量控制检测环节市场空间[2][3] * 截至2025年9月 前道量检测环节的国产化率仅为16.4% 较2023年提升了5.2个百分点 提升空间巨大[2][3] * 中国占全球35%的半导体前道量测和检测设备市场份额 但国产化率仅为20%左右[16] 技术与产品优势 * 公司具备28~14纳米节点及先进封装能力 并已实现部分28纳米量检测产品的出货[2][4] * 主要产品包括缺陷检测设备（有图形和无图形） 量测设备及智能软件系统[2][5] * 公司产品通过了HBM等场景验证 截至2024年底 有图形晶圆缺陷检测设备交付超过300台[5] * 具体产品系列包括无图形晶圆缺陷检测（Spruce系列） 三合一图形晶圆缺陷检测（Sweet Gum系列） 暗场缺陷检测（Cycom Mult系列） 明场纳米光学缺陷检（Redwood系列）以及关键尺寸量测（Cedar系列 Palm系列 Dragon Blood系列）[18] 研发实力与团队 * 研发团队实力雄厚 核心技术团队由程璐 黄有为和杨乐领导 均来自中科院微电子所[6] * 技术实现了从90纳米到14纳米节点的突破 未来可能在7纳米节点取得关键进展[6] * 截至2025年上半年 研发人员规模从2024年的465人增加到577人 同比增加112人[6][18] * 公司拥有良率管理系统 缺陷自动分类系统和光刻套刻分析反馈系统等软件[6] * 截至2024年底 公司累计专利数量601项 其中发明专利178项[18] 财务表现与运营情况 * 受益于国产替代及AI驱动下先进制程扩产 公司营收高速增长 2025年前三季度营业收入达12亿元 同比增长47.92%[2][19] * 受高额研发费用影响 归母净利润亏损1,469.85万元 但毛利率保持在50%左右[2][19] * 2025年前三季度研发费用达4.4亿元 同比增长30%[18] * 公司订单覆盖金额显著高于往年 存货余额逐步上升 显示公司进入快速增长阶段[2][20] * 截至2024年前三季度 前道检测试出货176台 生产245台 两侧测试出货106台 生产139台[2][20] * 公司前五大客户占比约40%[22] 行业前景与市场规模 * 前道量检测贯穿整个半导体制造过程 对良率控制影响巨大 随着先进制程提升 单机价值与单产线使用量增加 市场规模快速增长[8] * 2023年半导体行业周期触底 2024年增速转正 2024年底全球半导体设备市场规模预计达1,000亿美元 同比增长10.2%[12] * 预计2025年全球半导体设备市场规模将增长至1,210亿美元[2][13] * 前道良检测设备市场规模预计2026年将达到143.7亿美元[2][13] * 电子束量测设备市场规模2022年为7.2亿美元 预计到2029年将达到25.8亿美元 复合年增长率为19.9%[14] 竞争格局 * 全球前道量测和检测设备领域中 科磊（KLA）是核心龙头 占据超过60%的全球市占率[15] * 其他全球竞争者包括日立高新和应用材料公司等[15] * 国内除中科飞测外 还有天准科技 东方晶源和精测电子等公司积极布局[17] 未来展望与预期 * 预计2025至2027年公司营收将保持中速增长 营收分别达到16.66亿元 22.94亿元和33.67亿元 同比增速分别为48.92% 56.48%和46.72%[4][23][24] * 随着产品放量和营收规模提升 各项费用将有效降低 研发费用占比预计从2025年的30%逐步下降至2027年的20%[4][24] * 毛利率预计分别为54% 54.6%及53.74%左右 盈利能力有望逐步释放[24] * 公司受益于先进制程扩产 国产化率提升及先进制程良检设备突破 将在营收规模与利润率上实现跃升[25] * 公司正在进行扩产项目 包括2025年的定增项目 计划投资高端半导体质量检测建设和研发中心[22]

全球半导体设备市场整体表现 - 2025年上半年全球前十大半导体设备商营收合计超640亿美元 同比增长约24% [1] - 前五大设备商半导体业务营收合计近540亿美元 占Top10总营收的85% [1] - Top10厂商名单与2024年相同 前五名排名无变化 [1] 头部厂商排名及营收表现 - 阿斯麦(ASML)以170亿美元营收位居第一 同比增长38% [1][5] - 应用材料(AMAT)以137亿美元营收排名第二 同比增长7% [1][6] - 泛林(LAM)排名第三 营收同比增长29% [1][7] - Tokyo Electron(TEL)排名第四 营收同比增长10% [1][8] - 科磊(KLA)排名第五 营收同比增长27% [1][9] 其他厂商业绩表现 - 爱德万测试(Advantest)排名第六 营收同比增长124% [10] - 北方华创(NAURA)排名第七 营收22亿美元 同比增长31% [1][12] - ASM国际排名第八 营收同比增长28% [13] - 迪恩士(Screen)排名第九 营收同比增长2% [14] - 迪斯科(Disco)排名第十 营收同比增长13% [15] 区域市场格局 - 美国厂商占据前十名中的四席 包括应用材料、泛林、科磊 [1][6][7][9] - 日本厂商占据四席 包括TEL、爱德万测试、迪恩士、迪斯科 [1][8][10][14][15] - 荷兰厂商占据两席 包括阿斯麦和ASM国际 [1][5][13] - 中国厂商北方华创位列第七 是Top10中唯一的中国半导体设备厂商 [1][12] 业务领域分布 - 阿斯麦为全球唯一可提供7nm及以下先进制程EUV光刻机设备商 [5] - 应用材料产品线覆盖薄膜沉积、离子注入、刻蚀、CMP等全工艺制程设备 [6] - 科磊为半导体工艺制程检测量测设备绝对龙头企业 [9] - 迪斯科专注于晶圆切割、研磨和抛光设备领域 [15]

核心观点 - 北京市发布《北京高端科学仪器创新发展行动计划（2025-2027年）》，旨在通过政策引导和技术攻关，推动北京成为全球高端科学仪器创新策源地，释放技术突破、市场扩容和生态协同三大核心信号 [2][3][22] - 计划提出到2027年实现50款以上整机产品研制、30项以上关键部件突破，培育2家年营收超30亿元龙头企业、30家超亿元企业、80家专精特新企业 [29] - 厂商需把握技术突破、场景落地、生态协同三大路径，在2025-2027年窗口期实现从"跟跑"到"并跑"的跨越 [22] 技术攻关 - 重点突破激光器、超高真空等10项以上关键共性技术，研制50款整机产品及30项关键部件（如高性能探测器、分离控制部件） [4] - 推动AI与科学仪器融合，开发量子精密测量仪器、光学计算成像系统等前沿设备，建设"1+3"产业格局（怀柔、海淀、昌平、经开区） [4][30] - 厂商建议参与"揭榜挂帅"机制研发关键部件，布局AI赋能产品（如AI辅助质谱仪），聚焦生命科学、材料科学、集成电路等细分领域 [5][30] 市场拓展 - 推动"制造商+用户"应用试点，在食品药品安全、环境监测等领域示范应用，鼓励高校优先采购国产仪器并纳入首台（套）目录 [6][34] - 建设"黑灯实验室"实现全自动检测，推动仪器向系统化解决方案升级 [7][32] - 厂商建议绑定高校、医院需求开发定制方案，争取首台（套）政策，构建"仪器+耗材+服务"一体化生态链 [8][9][34] 生态协同 - 培育龙头企业带动"链主+配套"格局，建设中试服务平台缩短研发-量产周期，整合京津冀上下游资源打造全产业链 [10][11][12][38] - 厂商建议通过并购补齐核心部件短板（如激光器），利用中试平台加速量产，参与京津冀区域梯度分工 [13][38] 资本与政策支持 - 设立先进制造产业投资基金定向支持科学仪器，推动企业纳入"服务包"提供上市辅导、税收优惠 [14][15][36] - 完善标准体系提升国际认可度，厂商建议对接政府基金、参与国家标准制定、拓展"一带一路"市场 [16][18][39] 发展目标 - 到2027年实现50款以上整机产品、30项以上关键部件突破，形成"1+3"产业格局（怀柔、海淀、昌平、经开区） [29] - 培育2家年营收超30亿元龙头企业、30家超亿元企业、80家专精特新企业，建成中试服务平台和验证评价平台 [10][29][33] 重点任务 - 突破关键技术和标志性产品：开展AI赋能、量子测量等前沿研究，研制生命科学、材料科学领域整机及关键部件 [30][31] - 强化成果转化：建设技术创新中心和中试平台，通过"揭榜挂帅"加速产业化 [32][33] - 推进应用示范：在生命科学、集成电路等领域开展基因测序仪、原子力显微镜等设备示范 [34][35]