限制性股票激励计划 - 授予的限制性股票总量为800万股，约占2020年激励计划草案公告时公司股本总额的1.49%[2] - 首次授予670万股，约占激励计划草案公告时公司股本总额的1.25%；预留130万股，约占0.24%[2] - 授予价格为149.5元/股（调整后）[2] - 首次授予700人[2] - 首次授予和预留授予的限制性股票各归属期权益数量占授予权益总量的比例均为25%[3] - 激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限[3] - 2020年6月30日首次授予670万股，授予价格150元/股[15][16] - 2020年11月6日向188名激励对象授予103.989万股预留部分，授予价格150元/股[15][16] - 首次授予部分第一个归属期归属数量115.2908万股，2021年8月24日上市，归属人数540人[16] - 首次授予部分第二个归属期归属数量98.6506万股，2023年5月4日和5月9日上市，归属人数472人[16] - 首次授予部分第三个归属期归属数量94.4192万股，2023年11月21日上市，归属人数452人[16] - 预留授予部分第一个归属期162名激励对象未归属的21.0304万股由公司作废[16] - 预留授予部分第二个归属期归属数量14.0124万股，2023年5月4日和5月9日上市，归属人数114人[17] - 预留授予部分第三个归属期归属数量13.6708万股，2023年11月21日上市，归属人数115人[17] - 2024年8月22日董事会认为首次授予部分第四个归属期可归属数量为127.4388万股[18] - 首次授予的限制性股票的第四个归属期为2024年7月1日至2025年6月30日[18] - 本次符合归属条件的激励对象有532人，可归属的限制性股票数量为127.4388万股[21] - 授予日为2020年6月30日[22] 业绩数据 - 公司2016 - 2018年度营业收入均值为10.74亿元[5] - 2023年公司实现营业收入62.6351358137亿元，2022年为47.3983099755亿元，2021年为31.0813473067亿元，2020年为22.7329189806亿元，2019年为19.4694925075亿元[20] - 2019 - 2023年五年营业收入累计值较2016 - 2018年度营业收入均值增长1607.53%，公司层面归属比例达100%[20] 其他 - 激励对象绩效考核结果划分为五个档次，对应个人层面归属比例分别为100%、90%、80%、70%、0[7] - 2020年限制性股票激励计划首次授予仍在职的532名激励对象2023年个人绩效考核评价结果为"MBO≧1"，本期个人层面归属比例为100%[20] - 董事陶珩、丛海前6个月内不存在买卖公司股票情形[26] - 激励计划首次授予部分第四个归属期的归属条件已成就，归属安排和审议程序符合相关规定[21] - 公司按相关会计准则确定限制性股票授予日公允价值并摊销费用，本次归属不产生重大财务影响[27] - 公司就本次实施已取得必要批准和授权，符合相关规定[28] - 本次作废部分限制性股票的原因及数量符合规定[29] - 公司股票增值权激励计划行权价格调整符合规定[29] - 股票增值权进入第四个行权期，行权条件已成就[29]

激励计划会议 - 2020年3月18日审议通过激励计划相关议案[1] - 2020年4月21日审议通过激励计划相关议案[3] - 2020年6月22日审议通过激励计划草案修订稿相关议案[4] - 2020年6月30日审议通过首次授予限制性股票的议案[5] - 2020年11月6日审议通过授予预留部分限制性股票的议案[6] - 2023年10月26日审议通过调整授予价格的议案[7] - 2024年6月12日审议通过调整相关事项的议案[8] - 2024年8月22日审议通过作废部分限制性股票的议案[1][9] 作废处理情况 - 26名激励对象离职，作废7.5790万股限制性股票[10] - 本次合计作废7.5790万股限制性股票[10] 合规情况 - 本次实施取得必要批准和授权，符合规定[13] - 首次授予部分第四个归属期归属条件已成就，符合规定[13] - 作废部分限制性股票原因及数量符合规定[13] - 股票增值权激励计划行权价格调整符合规定[14] - 股票增值权第四个行权期行权条件已成就，符合规定[14]

财务业绩 - 2024年1-6月营业收入达到34.48亿元,同比增长36.46%[7] - 2024年1-6月新签订单47.0亿元,同比增长40.3%[8] - 2024年1-6月归属于上市公司股东的净利润为5.17亿元,同比减少48.48%,主要由于2023年出售部分拓荆科技股份产生税后净收益约4.06亿元[9] - 2024年1-6月研发投入9.70亿元,同比增长110.84%[30] - 公司上半年营业收入为34.48亿元，同比增长36.46%[85] - 刻蚀设备收入为26.98亿元，较上年同期增长约56.68%[88] - MOCVD设备收入为1.52亿元，较上年同期减少约49.04%[88] - 公司新产品LPCVD设备实现首台销售，收入0.28亿元[88] - 公司上半年新增订单47.0亿元，同比增长约40.3%[89] - 归属于上市公司股东的净利润为5.17亿元，较上年同期下降约48.48%[90] - 归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约4.83亿元，较上年同期减少0.36亿元[91] - 公司上半年研发投入9.70亿元，较上年同期增加约5.10亿元，同比大幅增长110.84%[91] 产品和技术 - 公司累计已有5,164台等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台,在国内外131条生产线实现量产和大量重复性销售[22] - 等离子体刻蚀设备收入26.98亿元,同比增长56.68%;MOCVD设备收入1.52亿元,同比减少49.04%[7] - 最近两年新开发的LPCVD设备上半年新增订单1.68亿元,新产品开始启动放量[8] - 公司在研项目涵盖六类设备,20多个新设备的开发[9] - 公司在先进逻辑和存储芯片中关键ICP刻蚀工艺的高端ICP设备付运大幅提升[35] - 公司大力投入先进芯片制造技术中关键刻蚀设备的研发和验证，多款设备已在客户产线上展开验证[92,93] - 公司自主开发的具有大功率 400kHz 偏压射频的 Primo UD-RIE 设备已在生产线验证出具有刻蚀≥60:1 深宽比结构的量产能力[93] - 公司积极布局超低温刻蚀技术，在超低温静电吸盘和新型刻蚀气体研究上投入大量资源，积极储备更高深宽比结构（≥90:1）刻蚀的前卫技术[93] - 公司多款 ICP 设备在先进逻辑芯片、先进 DRAM 和 3D NAND 产线验证推进顺利并陆续取得客户批量订单[93] - 公司的 TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和 MEMS 器件生产[93] - 公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户的验证，取得了客户订单[94] - 公司 EPI 设备已顺利进入客户验证阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求[94] - 公司 Micro-LED 应用的专用 MOCVD 设备开发顺利，实验室初步结果实现了优良的波长均匀性能，已付运样机至国内领先客户开展生产验证[95] - 公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备持续获得国际国内知名客户的订单，已经在从 65 纳米到 5 纳米及更先进的各个技术结点大量量产[132] - 公司致力于提供超高深宽比掩膜（≥40:1）和超高深宽比介质刻蚀(≥60:1)的全套解决方案[133,134] - 公司的 PRISMO A7®设备已在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位[137] - 公司的 PRISMO UniMax®配置了 785mm 大直径石墨托盘，可实现同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸外延晶片[139] - 公司的 PRISMO PD5®设备具有高灵活性，可实现 6 英寸与 8 英寸工艺的便捷切换[140] - 公司开发的用于Micro-LED应用的专用MOCVD设备实验室初步结果实现了优良的波长均匀性能[140] - 公司正在开发用于碳化硅功率器件外延生产和下一代用于氮化镓功率器件制造的MOCVD设备[140] - 公司已经实现六种设备高效的研发交付及通过客户量产验证[141] - 公司开发的 CVD（化学气相沉积）钨设备、HAR（高深宽比）钨设备和具备三维填充能力的 ALD（原子层沉积）钨设备已通过关键存储客户端现场验证，并获得客户重复量产订单[141,142] - 公司自主设计开发的双台机金属钨系列设备具有优秀的生产率、化学品消耗低、阶梯覆盖率和填充能力，可满足先进逻辑器件和3D NAND存储器件的关键应用[143] - 公司新开发的 ALD 氮化钛设备产品性能达到国际先进水平，可满足逻辑及存储多道关键应用需求[143] - 公司获得"单项冠军"认定,主要产品为28/22/14/7纳米刻蚀机系列[145,146] - 公司在研项目包括用于存储器刻蚀的CCP刻蚀设备、先进逻辑电路的CCP刻蚀设备、Micro-LED应用的新型MOCVD设备、用于5-3纳米逻辑芯片制造的ICP刻蚀机、用于存储器芯

激励计划 - 公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期6名激励对象符合条件[2] - 6名激励对象对应的股票增值权可行权数量为13.67万份[3] - 监事会同意为6名符合条件的激励对象办理行权[3]

业绩数据 - 2012 - 2023年销售额年均增长率超35%[1] - 2024年上半年新增订单金额约47.0亿元，同比增长约40.3%[1] - 2024年上半年等离子体刻蚀设备订单39.4亿元，同比新增约50.7%[1] - 2024年上半年营业收入达34.48亿元，同比增长约36.46%[1] - 2024年上半年等离子体刻蚀设备收入26.98亿元，增长约56.68%[1] 用户数据 - 截至2024年6月累计生产付运超3600个CCP刻蚀反应台，超700个ICP反应台[3] 专利情况 - 截至2024年6月30日已申请2,648项专利，其中发明专利2,224项[6] - 截至2024年6月30日已获授权专利1,670项，其中发明专利1,434项[6] 基地建设 - 南昌约14万平方米生产和研发基地于2023年7月投入使用[9] - 上海临港约18万平方米生产和研发基地于2024年8月投入使用[9] 生产交付 - 2024年公司在中微临港等生产基地推进项目，保持100%订单准时交付[12] 供应商情况 - 2023年公司全球合作供应商近600家，超70%来自中国大陆[14] 人员变动 - 2024年上半年新入职员工428人[16] 利润分配与回购 - 2024年5月公司实施2023年年度利润分配，每10股派发现金红利3元，合计派发185,393,094元[17] - 2024年5月公司完成股份回购，回购2,096,273股，占总股本0.34%，使用资金30,077.72万元[17] 制度修订 - 2024年3月19日公司发布公告，修订20余份制度[18] 公司活动 - 2024年是公司成立20周年，8月2日举办活动约800人出席[19] 信息传达 - 2024年公司通过多种渠道向市场传达经营和财务情况[20] 业绩说明会与交流会 - 2024年3月19日、5月22日公司分别召开2023年度和2024年第一季度业绩说明会[22] - 2024年5月15日公司在南昌举办投资者交流会[22] 未来展望 - 公司将持续评估“提质增效重回报”行动方案具体举措并及时履行信息披露义务[23] - 公司将继续专注主业提升核心竞争力、盈利能力和风险管理能力[23] - 公司通过良好业绩表现、规范公司治理积极回报投资者[23]

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2024-054 中微半导体设备（上海）股份有限公司 关于调整公司 2020 年股票增值权激励计划行权价格的公告 本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚假 记载、误导性陈述或者重大遗漏。 2、2020 年 4 月 21 日，公司召开 2020 年第一次临时股东大会，审议并通过 了《关于公司<2020 年股票增值权激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关 于公司<2020 年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》、 《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。 3、2020 年 4 月 22 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露 《关于公司 2020 年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司 1 股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。 4、2020 年 6 月 5 日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关 于公司<2020 年股票增值权激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。 公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。 ...

会议情况 - 中微公司第二届监事会第二十二次会议于2024年8月22日召开，3名监事全到会[2] 报告审议 - 全体监事一致同意《2024年半年度报告》及其摘要[3] - 监事会审议通过《2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告》[5] - 监事会审议通过《关于进一步明确募集资金投资项目相关事项的议案》[9] 股权相关 - 监事会同意作废部分限制性股票[5] - 2020年限制性股票激励计划532名对象可归属127.4388万股[6] - 监事会同意2020年股票增值权激励计划行权价格调整[7] - 2020年股票增值权激励计划6名对象13.67万份行权条件成就[8]

融资情况 - 公司向特定对象发行80,229,335股A股，募资820,665.87万元[1] - 扣除费用后，实际募资净额811,816.24万元[1] 募投项目 - 中微产业化基地建设项目投资317,000.00万元[3] - 中微临港总部和研发中心项目投资375,000.00万元[3] - 科技储备资金调整后为119,816.24万元[3] 研发计划 - 科技储备资金用于集成电路薄膜设备等研发[4] 事项影响 - 明确事项符合战略，提高研发和资金效率[4] - 不改变募资投向，不影响募投计划[7] 机构意见 - 保荐机构对明确募资事项无异议[7]

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2024-057 中微半导体设备（上海）股份有限公司 关于进一步明确募集资金投资项目相关事项的公告 根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集 资金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下： | 项目名称 | 募集资金承诺投资总额（万元） | 调整后投资总额（万元） | | --- | --- | --- | | 中微产业化基地建设项 目 | 317,000.00 | 317,000.00 | | 中微临港总部和研发中 心项目 | 375,000.00 | 375,000.00 | | 科技储备资金 | 308,000.00 | 119,816.24 | | 合计 | 1,000,000.00 | 811,816.24 | 二、本次进一步明确募集资金投资项目相关事项 根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》，募投项目科技储备资金将用于满足新产品协作开发项目、 对外投资并购项目等需求。公司为提升募集资金的 ...

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2024-052 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2024 半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使 用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规 范运作》和《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关规定，中微半导体设 备（上海）股份有限公司（以下简称"公司"或"本公司"）董事会编制了 2024 半年度（以下简称"报告期"或"本报告期"）募集资金存放与实际使用情况专 项报告如下： 一、募集资金基本情况 （一）实际募集资金金额、资金到账情况 1、2019 年首次公开发行股票募集资金 根据中国证券监督管理委员会于 2019 年 7 月 1日签发的证监许可[2019]1168 号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的 批复》，中微半导体设备（上海）股份有限公司获准向境内投资者首次公开发行 人民币 ...