南财智讯11月14日电，中微公司公告，本次减持计划实施前，巽鑫（上海）投资有限公司持有中微公司 股份80,996,822股，占公司总股本的12.94%。公司于2025年8月27日披露减持计划，巽鑫投资拟通过大 宗交易方式减持不超过公司总股本2%的股份。截至2025年11月13日，巽鑫投资已通过大宗交易累计减 持12,522,906股，减持比例达2%，本次减持计划已实施完毕。减持后，巽鑫投资持股比例由11.94%降至 10.94%，权益变动触及1%刻度。本次权益变动不触及要约收购，不会导致公司控制权变化，亦不影响 公司治理结构和持续经营。 ...

减持计划概述 - 巽鑫（上海）投资有限公司在减持计划实施前持有中微公司股份80,996,822股，占总股本12.94% [1] - 公司于2025年8月27日披露减持计划，巽鑫投资拟减持不超过公司总股本2%的股份 [1] 减持计划执行情况 - 巽鑫投资已累计减持12,522,906股，减持比例达到2%，减持总金额为33.51亿元，减持计划已实施完毕 [1] - 在2025年10月14日至11月13日期间，其持股比例由11.94%下降至10.94%，权益变动触及1%的刻度 [1]

科创板整体融资余额变动 - 截至11月13日，科创板两融余额合计2587.33亿元，较上一交易日增加4.71亿元，其中融资余额合计2578.18亿元，环比增加4.55亿元 [1] - 科创板股中最新融资余额超亿元的有486只，融资余额在10亿元以上的有43只，融资余额在5000万元至1亿元的有79只，融资余额低于5000万元的有21只 [1] - 融资余额环比增加的共有282只，融资净买入超千万元的共有74只，融资净买入在500万元至1000万元的有38只，融资净买入在100万元至500万元的有112只，融资净买入不足百万元的有58只 [1] 融资净买入居前个股 - 融资净买入金额最多的是寒武纪，最新融资余额149.51亿元，环比增加3.07亿元，当日股价上涨1.40% [2] - 融资净买入金额居前的个股包括芯原股份、万润新能、中微公司，净买入金额分别为1.04亿元、9287.07万元、8314.91万元 [2] - 获融资客净买入超1000万元的科创板股当日平均上涨2.45%，涨幅居前的有康鹏科技、华盛锂电、万润新能，分别上涨20.02%、20.00%、17.82% [2] 融资余额减少个股 - 融资余额环比减少的科创板股中，减少金额超千万元的有62只 [1] - 减少金额居前的个股有拓荆科技、源杰科技、天合光能，融资余额分别减少1.26亿元、9521.64万元、8788.98万元 [1] 融资客青睐的行业分布 - 融资客大手笔净买入的科创板股中，电子、电力设备、医药生物等行业最为集中，分别有30只、13只、10只个股上榜 [2] - 从最新融资余额占流通市值比例看，算术平均值为4.49%，融资余额占比最高的是索辰科技，融资余额占流通市值比例为13.41% [2] - 融资余额占比较高的还有华海诚科、艾森股份、晶升股份，占比分别为9.58%、8.87%、8.47% [2]

半导体ETF南方（159325）市场表现 - 11月14日开盘价格报1.456元，较前日下跌1.62% [1] - 该ETF自2024年10月31日成立以来累计回报率为47.93% [1] - 近一个月回报率为-6.60% [1] 半导体ETF南方（159325）持仓股表现 - 重仓股中兆易创新跌幅最大，开盘下跌5.05% [1] - 澜起科技开盘下跌2.97%，寒武纪开盘下跌2.52% [1] - 中微公司开盘下跌2.48%，海光信息开盘下跌2.13% [1] - 紫光国微开盘下跌1.81%，北方华创开盘下跌1.13% [1] - 长电科技开盘下跌1.15%，豪威集团开盘下跌1.18% [1] - 中芯国际开盘微跌0.08% [1] 半导体ETF南方（159325）产品信息 - 业绩比较基准为中证半导体行业精选指数收益率 [1] - 基金管理人为南方基金管理股份有限公司 [1] - 基金经理为赵卓雄、何典鸿 [1]

文章核心观点 - 薄膜沉积装置是微纳制造与精密加工的核心设备，广泛应用于半导体、光伏、显示面板等战略新兴产业，行业正迎来高速增长和国产化替代的关键时期 [1] - 全球及中国半导体设备市场持续增长，中国大陆已连续五年成为全球最大市场，2024年销售额达495.5亿美元，占全球总量的42% [1][5] - 随着芯片结构向3D NAND、FinFET等立体架构演进，薄膜沉积层数大幅增加，推动全球薄膜沉积装置市场规模在2024年达到231.86亿美元，占晶圆制造设备的22% [1][6] - 中国薄膜沉积装置市场在2024年规模达到约773.1亿元，同比增长38.75%，国产设备在成熟制程已稳定量产，并在14nm等先进制程逐步导入验证 [1][7] - 行业未来发展将聚焦技术攻坚、产业链生态共建和应用场景拓展三大趋势，构建自主可控、多元驱动的新格局 [1][9] 薄膜沉积装置行业相关概述 - 薄膜沉积装置核心功能是通过物理或化学方法在基底材料表面逐层沉积特定材料，形成具有光学、电学、磁学或机械性能的功能性薄膜涂层 [2] - 主要分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）三大类，技术特点互补并存 [3] - PVD通过物理溅射或蒸发材料进行沉积，速度快、温度低，主要用于金属薄膜，但台阶覆盖性较差 [3] - CVD依靠气相化学反应成膜，台阶覆盖性好、薄膜质量高，是沉积绝缘介质膜的主流技术，但通常需要较高温度 [3] - ALD通过交替脉冲反应物进行单原子层沉积，具有极佳的均匀性和三维覆盖能力，尤其适合复杂纳米结构，尽管沉积速率较慢 [3] 中国薄膜沉积装置行业产业链 - 产业链上游涵盖机械类、电气类、机电一体类、仪器仪表类、气体输送系统、真空系统等原材料与零部件供应 [5] - 中游聚焦薄膜沉积装置的研发、生产与制造，核心企业通过技术创新突破技术壁垒，形成以PVD、CVD和ALD为主的技术路线 [5] - 下游广泛应用于集成电路制造、光伏电池、新型显示等战略新兴产业，其中芯片制造对设备技术要求最高，直接驱动中游产业技术升级 [5] - 拓荆科技在PECVD、ALD设备领域占据国内领先地位，北方华创则主导PVD工艺装备市场 [5] 中国薄膜沉积装置行业发展现状分析 - 2024年全球半导体设备销售额达1171亿美元，同比增长10%，中国大陆市场设备销售额达495.5亿美元，同比增长35%，占全球比重提升至42% [5] - 国产设备通过中芯国际、长江存储等头部企业产线验证，在28nm及以上成熟制程实现稳定量产，14nm先进制程设备逐步进入导入阶段 [5] - 芯片集成度提升推动薄膜沉积需求大幅增加，部分高端芯片的薄膜沉积工序已超100道 [6] - 2024年中国薄膜沉积装置市场规模约773.1亿元，同比增长38.75% [7] - 以拓荆科技、北方华创、中微公司、微导纳米为代表的国内企业，正通过技术突破与产品迭代，在多个细分领域逐步实现国产替代 [7] 中国薄膜沉积装置行业企业竞争格局 - 行业竞争呈现三级梯队结构：第一梯队由应用材料、泛林集团、东京电子等国际龙头主导，把控国内高端市场核心份额 [8] - 第二梯队以拓荆科技、北方华创、中微公司、微导纳米为代表，作为国产替代的中坚力量，在成熟制程与部分先进工艺领域持续实现突破 [8] - 第三梯队聚集了一批创新型中小企业，专注深耕特色工艺、专用设备或提供高性价比定制化解决方案，在细分场景中构建差异化优势 [8] - 薄膜沉积装置整体国产化率仍低于25%，但已形成由重点企业构成的国产化梯队 [8] - 拓荆科技是国内CVD设备龙头，唯一实现PECVD、ALD等五大技术路线量产，其PECVD设备市占率居首 [8] - 北方华创以前道全环节平台化能力为优势，可单厂覆盖超70%工艺环节 [8] - 中微公司以"刻蚀+薄膜"双核驱动，钨沉积产品全面覆盖存储应用并获验证 [8] - 微导纳米则专注ALD技术，率先突破High-k栅氧层工艺并进入核心产线 [8] - 重点企业呈现"高增长与盈利分化"态势：拓荆科技营收增速超54%领跑，中微公司保持43%以上高增长，北方华创实现约30%稳健增长 [8] - 盈利能力方面，北方华创毛利率约42%、净利率近20%，微导纳米净利率大幅提升至18.32%，拓荆科技因新产品验证成本高企导致盈利承压 [8] 中国薄膜沉积装置行业发展趋势分析 - 技术层面，ALD技术因原子级沉积优势成为核心突破口，将在FinFET、GAA等三维结构器件及高深宽比填充场景中加速渗透 [9][10] - PVD、CVD与ALD技术的协同融合成为工艺创新重点，本土企业正通过低温沉积、模块化平台等差异化路径缩小与国际巨头差距 [9][10] - 产业生态上，国产替代将从单一设备突破迈向"设备-材料-零部件"全链条协同，推动核心零部件国产化率提升 [9][11] - 应用场景持续拓宽，向光伏TOPCon技术、新型显示IGZO薄膜制备及量子芯片、MEMS等前沿领域延伸 [9][12] - 3nm及以下节点中，ALD设备需攻克亚埃级厚度均匀性与超低杂质控制难题，以适配高k介质、金属栅极等关键工艺需求 [10] - 3D NAND堆叠层数提升推动ALD与CVD协同工艺成为主流，考验设备对三维结构的精准填充能力 [10] - 在光伏领域，TOPCon等技术升级拉动PECVD设备需求，国产设备凭借性价比优势快速渗透 [12] - 新型显示领域，柔性基底与深紫外器件对低温沉积技术的需求，催生专用ALD设备发展 [12] - 量子芯片制造需超导薄膜达到极高表面平整度，MEMS传感器对压电薄膜应力控制要求严苛，为专注细分领域的企业提供差异化突围机会 [12]

整体业绩表现 - 科创板592家公司前三季度合计实现营业收入1.11万亿元，同比增长7.9% [2] - 实现净利润492.68亿元，同比增长8.9% [2] - 第三季度净利润同比大幅增长75%，呈现强劲复苏势头 [2] - 若剔除4家光伏龙头公司，前三季度整体营收和净利润分别同比增长14.6%和30.6% [2] - 超七成公司实现营收增长，近六成公司净利润增长，158家公司净利润增幅超过50%，46家公司扭亏为盈 [2] 头部与成长型企业表现 - 科创50指数成分公司营收和净利润占板块整体比重分别保持在46%和50%的高位 [3] - 科创100指数成分公司营收和净利润同比分别增长12%和134%，展现高成长弹性 [3] 研发投入与创新 - 前三季度研发投入总额达1197.45亿元，是净利润的2.4倍，研发强度中位数为12.4% [4] - 35家科创成长层未盈利企业营收同比增长39%，净利润同比大幅减亏65%，研发强度中位数高达44.3% [5] - 头部企业释放扭亏潜力，寒武纪连续四个季度盈利，百济神州单季度营收突破100亿元 [5] 生物医药行业表现 - 生物医药行业营收同比增长11%，净利润同比增长48% [4] - 共推动9款1类新药获批上市，完成16单出海交易，潜在交易总额超130亿美元 [4] - 医药公司营收同比增长18%，净利润大幅减亏65% [4] 集成电路产业表现 - 121家集成电路相关企业前三季度营收同比增长25%，净利润同比增长67% [6] - 芯片设计领域八成企业营收增长，六成净利润增长，整体净利润同比增长141% [6] - 半导体设备领域14家企业单季度净利润环比增速达26% [6] 人工智能产业表现 - 算力环节寒武纪、海光信息前三季度营收分别增长近24倍和近55% [7] - 通信及配套环节仕佳光子、生益电子净利润分别同比增长7倍和近5倍 [7] - 存储领域澜起科技、佰维存储业绩显著回暖，端侧AI产品实现量产落地 [7] 新能源行业表现 - 光伏领域17家企业净亏损幅度显著收窄，环比减亏28% [7] - 锂电行业19家企业营收同比增长7%，净利润为10.2亿元实现扭亏为盈，第三季度营收同比增长17%，净利润同比增加8亿元 [7]

大宗交易总体情况 - 11月13日共有20只科创板股票发生大宗交易，合计成交52笔，累计成交量1158.09万股，成交总额为8.33亿元 [1] 个股成交金额排名 - 中微公司成交金额最高，共6笔交易，成交量158.56万股，成交额4.42亿元 [1][2] - 翱捷科技成交金额次之，为1.24亿元 [1][2] - 佰维存储成交金额排名第三，为4631.62万元 [1][2] 交易折溢价情况 - 大宗交易成交价相对收盘价折价率最高的为乐鑫科技，折价率达20.81% [1][3] - 佳华科技折价率排名第二，为19.58% [1][3] - 云涌科技折价率排名第三，为15.64% [1][3] - 中微公司、翱捷科技、佰维存储的折价率分别为8.24%、12.00%、11.48% [2] 股价表现与市场对比 - 当日科创50指数上涨1.44%，科创板419只股票上涨，占比70.78% [1] - 发生大宗交易的20只股票平均上涨3.47% [1] - 康鹏科技涨幅最大，为20.02%，其大宗交易折价率为0.52% [1][2] - 华盛锂电涨幅为20.00%，其大宗交易折价率为2.50% [1][2] - 佰维存储涨幅为13.21% [1] 机构参与情况 - 机构参与的成交共17笔，涉及7只股票 [2] - 机构买入金额最高的为中微公司，达1.26亿元 [2] - 机构买入翱捷科技金额为7536.51万元 [2] - 机构买入佰维存储金额为4631.62万元 [2] 资金流向 - 发生大宗交易的股票中有9只获主力资金净流入 [2] - 华盛锂电主力资金净流入居首，为8883.53万元 [2] - 康鹏科技主力资金净流入8646.75万元 [2] - 寒武纪主力资金净流入8025.18万元 [2] - 佰维存储主力资金净流出最高，达1.68亿元 [2] - 中微公司主力资金净流出9139.74万元 [2]

| 成交量 | 成交金 | 成交价 | 相对当日收 | | | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | （万 | 额（万 | 格 | 盘折溢价 | 买方营业部 | 卖方营业部 | | 股） | 元） | （元） | （%） | | | | | | | | 摩根大通证券（中国）有限 | 中国国际金融股份有限公司 | | 110.00 | 30638.30 | 278.53 | -8.23 | 公司上海银城中路证券营业 | 北京建国门外大街证券营业 | | | | | | 部 | 部 | | | | | | | 中国国际金融股份有限公司 | | 25.16 | 7006.51 | 278.53 | -8.23 | 机构专用 | 北京建国门外大街证券营业 | | | | | | | 部 | | | | | | | 中国国际金融股份有限公司 | | 20.00 | 5570.60 | 278.53 | -8.23 | 机构专用 | 北京建国门外大街证券营业 | | | | | | | 部 | | | | | | 中国国际金融股份有限公司 | 中国国际金融股份有限公司 | | 1 ...

科创板整体业绩表现 - 2025年前三季度板块实现营业收入11050.11亿元，同比增长7.9%，净利润492.68亿元，同比增长8.9%，扣非后净利润319.74亿元，同比增长5.5% [2] - 第三季度单季净利润同比大幅增长75%，业绩强势反弹 [1][3] - 剔除4家光伏龙头公司后，板块前三季度整体营收和净利润同比增幅分别提升至14.6%和30.6% [2] - 超七成公司实现营收增长，近六成公司净利润增长，158家公司净利润增幅超过50%，46家公司扭亏为盈 [3] 企业结构与研发投入 - 科创50指数成分公司营收和净利润占板块整体比重分别保持在46%和50% [3] - 科创100指数成分公司营收和净利润同比分别增长12%和134% [3] - 前三季度板块研发投入总额达1197.45亿元，是板块净利润的2.4倍，研发强度中位数高达12.4% [3] - 35家科创成长层公司前三季度营收同比增长39%，净利润同比大幅减亏65%，研发强度中位数高达44.3% [3] 集成电路产业 - 121家集成电路相关企业前三季度营收同比增长25%，净利润同比增长67% [5] - 芯片设计领域八成企业营收增长，六成净利润增长，整体净利润同比增长141% [5] - 半导体设备赛道14家相关企业单季度净利润环比增速达26% [5] - 中芯国际、华虹公司两大晶圆代工龙头产能利用率维持高位，单季度销售收入均创历史新高 [5] 人工智能产业 - 算力环节寒武纪、海光信息前三季度营收分别增长近24倍和55% [6] - 通信及配套业务环节仕佳光子、生益电子净利润分别同比增长7倍和近5倍 [6] - 存储领域澜起科技、佰维存储业绩显著回暖，端侧AI布局进入收获期，相关产品在智能手表、AI玩具等终端实现量产 [6] 生物医药与新能源行业 - 生物医药行业营收同比增长11%，净利润同比增长48%，创新药企业推动9款1类新药获批上市，完成16单出海BD交易，潜在交易总额超130亿美元 [7] - 光伏领域17家相关企业净亏损幅度显著收窄，环比缩亏28%，硅料龙头大全能源第三季度同环比均实现扭亏为盈 [7] - 锂电行业19家相关企业营收同比增长7%，净利润10.20亿元实现扭亏为盈，第三季度营收同比增长17%，净利润额同比增加8亿元 [7] 技术创新突破 - 禾元生物自主研发的重组人白蛋白注射液（水稻）获批上市，成为全球首个"稻米造血"1类创新药 [4] - 国盾量子实现全球首款四通道超低噪声半导体单光子探测器量产，关键指标刷新世界纪录 [4]

11月13日，中微公司大宗交易成交158.56万股，成交额4.42亿元，占当日总成交额的12.95%，成交价 278.53元，较市场收盘价303.52元折价8.23%。 ...