战略布局 - 公司践行三维发展战略：深耕集成电路关键设备、扩展泛半导体设备应用、探索新兴领域机会[5] - 等离子体刻蚀设备已应用于65纳米至5纳米及更先进工艺，打入国内外一线客户生产线[5] - 泛半导体领域MOCVD设备在氮化镓基LED、Mini/Micro-LED及碳化硅/氮化镓功率器件市场占据重要地位[5] - 前瞻布局光学和电子束量检测设备等新兴领域[5] - 上市后累计投资20多亿元于40家产业链企业，获得超50亿元浮盈，8家参股公司已登陆A股[5] - 未来五到十年计划覆盖60%以上半导体高端设备，成为平台式集团公司[4] 研发进展 - 研发周期从3-5年缩短至18个月，量产周期缩短至半年到一年[6] - 2024年研发投入24.52亿元（同比+94.31%），占营收27%[6] - 2025年一季度研发投入6.87亿元（同比+90.53%）[6] - 超20款新设备在研，涵盖高能/低能等离子体刻蚀、晶圆边缘刻蚀、PECVD/LPCVD/ALD薄膜设备等[6] - 研发团队规模超千人，覆盖全面技术领域[6] 业务表现 - 刻蚀设备2024年收入72.77亿元（同比+54.72%），近四年年均增长超50%[7] - CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀设备覆盖大多数应用场景[7] - 薄膜设备2024年销售额1.56亿元，LPCVD首台销售且累计出货150个反应台[7] - ALD等薄膜设备获重要客户重复订单，预计三到五年内收入快速增长[7][3] 行业机遇 - 国内半导体设备国产化提速，国产设备在性价比、售后服务等方面显现优势[9] - 全球半导体产能中心向中国内地转移，市场需求驱动行业发展[9] - 电子束检测设备为国内技术短板，公司计划攻克该领域[8] - 目标2035年成为全球第一梯队半导体设备公司，对标国际竞争对手[9]

公司业绩与财务表现 - 2024年实现营收90.65亿元，同比增长44.7%，扣非净利润13.88亿元，同比增长16.5% [2] - 2025年一季度营收21.73亿元，同比上升35.4%，归母净利润3.13亿元，同比上升25.67% [2] - 最近14年营业收入年均增长高于35%，最近几年年均增速超过40% [2] - 2024年研发费用24.5亿元，占销售额27%，2025年一季度研发投入占比增至31.6% [2][3] - 2025年一季度末净资产201.4亿元，在手现金84.7亿元，银行借款余额7.5亿元 [3] 市场地位与战略布局 - 已覆盖约30%集成电路高端设备市场，目标未来五到十年覆盖近60% [1][4] - 等离子体刻蚀设备2024年贡献营收超72亿元，同比增长54.7%，市场份额近20% [4] - 薄膜设备市场份额约5%，光学检测设备市场占比约5% [4] - 实施三维立体发展战略：集成电路设备、泛半导体设备、外延扩展培育产业链 [4][5] - 已投资40家公司，投资额超20亿元，8家已上市，投资浮盈近59亿元 [5] 研发能力与技术创新 - 研发团队近400人，新产品开发周期从3-5年缩短至18个月 [3] - 累计装机数年均增速高于37%，最近五年增长更快 [2] - 已完成开发9种薄膜设备，2024年计划再开发7种，6种已进入市场 [4] - 泛半导体设备领域开发多种MOCVD设备，市场销售形势良好 [5] 行业趋势与国际化 - 2024年中国大陆集成电路前道设备市场规模495亿美元，占全球42% [2] - 行业未来主流趋势是整合，预计最终形成3家左右龙头企业 [6] - 海外市场已有布局，如美国有几十个反应器进行5纳米生产 [6] - 未来五到十年国产设备有望打开国际市场，可能做出超越美国企业的设备 [7]

业绩表现 - 2024年实现营业收入90.65亿元，同比增长44.73%，近四年营收年均增幅大于40% [1] - 2024年归属于上市公司股东的扣非净利润约13.88亿元，同比增长16.51% [1] - 2025年一季度业绩延续高增长态势 [1] - 研发投入2024年达24.52亿元，同比增长94.31%，占营业收入比例约27.05% [1] - 2025年一季度研发投入同比增长90.53%至6.87亿元 [1] 研发进展 - 开发一款新设备时间从3-5年缩短至约18个月，量产时间缩短至半年到一年 [1] - 在研超20款新设备，包括新一代CCP/ICP刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD/ALD薄膜设备等 [2] - 通过投资和成立子公司布局量检测设备板块 [2] - 研发方法从零开始编写转变为模块化组合设计 [2] - 人才招聘质量提高，更多一流人才加入 [2] - 与客户合作紧密，新品可快速验证 [2] - 研发支出分配从70%-75%集中在刻蚀设备转向加大薄膜设备研发力度 [2] 战略规划 - 目标2035年成为全球第一梯队的半导体设备公司 [1] - 计划5-10年内从覆盖30%集成电路高端设备市场提升至60% [2] - 集中资源开发具有差异化、自主知识产权的高端设备产品 [4] - 避免低端"内卷"和恶性竞争 [4] - 通过提高设备输出量、缩小占地面积、降低成本保持竞争优势 [4] - 已投资40家产业链公司，其中8家完成A股上市 [4] - 重点关注供应链方向，与全球超800家供应厂商合作 [4] 行业环境 - 中国设备行业技术水平提高，国产设备在性价比、售后服务等方面优势显现 [2] - 全球半导体产能中心逐步向中国大陆转移 [2] - 全球半导体设备市场规模保持增长 [3] - 国内半导体设备行业竞争愈发激烈 [3] - 公司欢迎正常的自由竞争，认为这是工业发展的必然趋势 [4] 供应链管理 - 开发更多质量优异的供应商，加强培育本土核心供应商 [5] - 提升关键零部件国产化率 [5] - 建立更加自主可控的供应链 [5]

公司战略目标 - 公司目标是在2035年成为全球第一梯队的半导体设备公司，在规模、产品竞争力和客户满意度上达到领先水平 [2] - 公司策略是集中资源开发具有差异化、自主知识产权的高端设备产品，避免低端内卷，并承担社会责任 [9] - 公司坚持三维发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展泛半导体关键设备应用，并探索新兴领域机会 [9] 行业发展优势 - 中国半导体设备行业技术水平不断提高，国产设备在产品性价比、售后服务和贴近客户方面优势显现 [6] - 中国作为全球最大半导体消费市场，带动全球产能中心向中国转移，推动市场规模扩大和技术水平提高 [7] - 半导体产业存在多个头部企业，差异化竞争优势是关键，公司通过解决细分领域问题建立不可替代性 [9] 研发投入与产品进展 - 2024年研发投入同比增长94.31%至24.52亿元，占营业收入27.05% [7] - 2025年第一季度研发投入同比增长90.53%至6.87亿元 [7] - 新产品开发周期从3-5年缩短至18个月，量产时间缩短至半年到一年 [7] - 在刻蚀、薄膜、MOCVD等设备领域取得突破，产品获海内外客户认可 [7] - 在研项目涉及超20款新设备，包括新一代CCP和ICP刻蚀设备 [9] 产业链布局与供应链管理 - 自2019年上市以来，公司投资30多家半导体设备产业链上下游企业，获得超50亿元浮盈并实现战略协同 [10] - 公司与全球超800家供应商建立合作关系，重点开发半导体设备零部件和材料供应商 [10] - 加强培育本土核心供应商，提升关键零部件国产化率，建立自主可控供应链 [10] 公司背景与市场表现 - 公司成立于2004年，2019年科创板上市，是国内高端微观加工设备领军企业之一 [4] - 主业盈利能力持续提升，成为中国半导体设备行业成长的重要样本 [4] - 截至5月28日收盘，公司股价报170.93元/股，总市值1068亿元 [11]

本次实施的批准和授权 - 2023年3月30日公司召开第二届董事会第十一次会议审议通过《2023年限制性股票激励计划（草案）》及相关议案独立董事发表独立意见同日监事会第九次会议审议通过相关议案并出具核查意见 [2] - 2023年3月31日公司披露独立董事公开征集投票权公告拟就激励计划相关议案征集股东投票权 [3] - 2023年4月4日至13日公司公示激励对象名单未收到异议4月14日披露监事会核查意见 [3] - 2023年4月20日2022年年度股东大会审议通过激励计划草案及考核管理办法等议案 [3] - 2023年6月12日董事会调整激励计划事项并确定授予日监事会核查通过 [4] - 2024年6月12日董事会作废部分限制性股票并确认第一个归属期条件成就 [5] - 2025年5月28日董事会作废部分限制性股票并确认第二个归属期条件成就监事会核查通过 [5] 第二个归属期条件成就情况 - 第二个归属期为2025年6月12日至2026年6月11日自授予日2023年6月12日起计算 [5] - 公司未出现财务报告否定意见/市场禁入等负面情形符合归属条件 [6] - 激励对象未发生离职/违法违规等情形1210名在职激励对象均满足任职期限要求 [7] - 公司层面业绩考核以2022年营收为基数2023-2024年累计营收增长率达2234%超过对标企业算术平均增长率触发100%归属比例 [7] - 个人层面绩效考核1210名激励对象评级均为MBO≧1个人归属比例100% [7] 部分限制性股票作废处理 - 因88名激励对象离职或不符合资质作废其已获授未归属的3184万股限制性股票 [9]

中微公司限制性股票激励计划第二个归属期成就 - 公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期为2025年6月12日至2026年6月11日 符合授予日起24个月后的首个交易日至36个月内最后一个交易日的条件 [3] - 第二个归属期公司层面业绩考核达标 2024年营业收入90651651万元 较2022年基数累计增长2234% 超过对标企业算术平均增长率 公司层面归属比例100% [3] - 1210名激励对象满足个人层面绩效考核要求 其中董事、高级管理人员及核心技术人员共12人 可归属数量占获授总量25% 其他1200名激励对象同样按25%比例归属 [4][5] 激励计划审批程序及执行情况 - 激励计划已通过董事会、监事会及股东大会审批 包括2023年4月披露草案、6月完成授予 2024年调整授予价格 2025年作废部分股票并确认第一个归属期条件成就 [3] - 第二个归属期涉及1210379万股限制性股票归属 其中核心技术人员尹志尧获授1107万股 可归属27675万股 其他高管及核心技术人员获授比例均为25% [5] 数字经济ETF市场表现 - 中证数字经济主题指数ETF(560800)近五日下跌119% 市盈率6205倍 估值分位达8511% 显示较高溢价 [8][9] - 基金最新份额101亿份 增加600万份 但主力资金净流出404万元 反映短期资金分歧 [8]

中微公司2025年限制性股票激励计划自查报告 - 公司于2025年4月18日披露《2025年限制性股票激励计划（草案）》及相关公告 [1] - 根据《上市公司股权激励管理办法》等规定，公司对激励计划内幕信息知情人买卖股票情况进行自查 [1] - 核查范围包括中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《信息披露义务人持股及股份变更查询证明》和《股东股份变更明细清单》 [1] 核查对象股票交易情况 - 自查期间共有9名核查对象存在公司股票交易记录，其余核查对象无交易 [2] - 9名核查对象的交易基于二级市场行情和公开信息独立判断，与激励计划内幕信息无关 [2] - 公司未发现内幕信息泄露或利用内幕信息交易的情形 [2] 激励计划保密措施与结论 - 公司严格限定参与策划人员范围，并对接触内幕信息人员及中介机构进行登记和保密 [2] - 激励计划草案公开披露前6个月内，未发现内幕信息知情人利用内幕信息交易或泄露信息 [2] - 所有核查对象均不存在内幕交易行为 [2] 数字经济ETF相关数据 - 产品代码560800，跟踪中证数字经济主题指数 [5][6] - 近五日涨跌幅-1.19%，市盈率62.05倍 [6] - 最新份额10.1亿份，增加600万份，主力资金净流出404万元 [6] - 估值分位85.11% [7]

限制性股票激励计划归属情况 - 公司2023年限制性股票激励计划进入第二个归属期，1210名激励对象符合归属条件 [1] - 本次归属涉及限制性股票数量为1210379股 [2] 合规性审查 - 监事会确认激励对象资格符合《公司法》《证券法》《上市公司股权激励管理办法》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规要求 [1] - 归属程序不存在损害公司及股东利益的情形 [2]

监事会会议召开情况 - 中微公司第三届监事会第四次会议于2025年5月28日召开，通知于5月19日通过电话及邮件送达全体监事 [1] - 会议应出席监事3人，实际到会3人，由监事会主席邹非女士主持，程序符合法律法规及公司章程 [1] 监事会会议审议情况 限制性股票激励计划部分股票作废 - 审议通过《关于作废处理2023年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》，监事会认为作废符合法律法规及公司激励计划规定，未损害股东利益 [1] - 表决结果为3票赞成，0票反对，0票弃权 [1] 限制性股票激励计划第二个归属期条件达成 - 审议通过《关于公司2023年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》，1210名激励对象符合归属条件，可归属121.0379万股限制性股票 [1] - 监事会认为归属条件符合《上市公司股权激励管理办法》及公司激励计划规定，表决结果为全票通过 [1] 相关ETF数据 - 数字经济ETF（产品代码：560800）跟踪中证数字经济主题指数，近五日跌幅1.19%，市盈率62.05倍 [5] - 最新份额为10.1亿份，较前增加600万份，主力资金净流出404万元，估值分位达85.11% [5][6]

励相关事宜的 议案》 （三） 关于议案表决的有关情况说明 应回避表决的关联股东名称：尹志尧需回避表决议案 4、8、10、11、12、13； 陈伟文需回避表决议案 10、11、12、13；拟作为 2025 年限制性股票激励计划的 激励对象的股东及与激励对象存在关联关系的股东需回避表决议案 11、12、13 三、 律师见证情况 律师：梁琦、黄素洁 综上所述，本所律师认为，公司 2024 年年度股东大会的召集和召开程序、 召集人资格、出席会议人员资格及表决程序等，均符合《公司法》《上市公司股 东会规则》等法律、法规、规章和其他规范性文件及《公司章程》的有关规定， 本次股东大会的表决结果合法有效。 特此公告。 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会 证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2025-031 中微半导体设备（上海）股份有限公司 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： ? 本次会议是否有被否决议案：无 一、 会议召开和出席情况 （一） 股东大会召开的时间：2025 年 5 月 28 ...