公司股价表现 - 江波龙股价上涨超过12%并创下新高 [1] - 大为股份与时空科技股价此前出现涨停 [1] - 德明利、精智达、微导纳米股价跟随上涨 [1]

公司股价与市场表现 - 10月27日公司股价上涨5.16%，报收56.09元/股，成交额达3.88亿元，换手率为7.07%，总市值为258.66亿元 [1] - 银华基金旗下银华中小盘混合基金为公司十大流通股东之一，其二季度增持16.3万股，当前持有352.11万股，占流通股比例3.48% [2] - 基于股价上涨，银华中小盘混合基金当日浮盈约968.3万元 [2] 公司业务概况 - 公司成立于2015年12月25日，于2022年12月23日上市，专注于以原子层沉积（ALD）技术为核心的先进微、纳米级薄膜沉积设备的研究与产业化 [1] - 公司为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案 [1] - 公司主营业务收入构成为：光伏设备占比76.54%，半导体设备占比18.43%，配套产品及服务占比3.07%，其他业务占比1.89% [1] 主要机构投资者动态 - 银华中小盘混合基金今年以来收益率为67.52%，在同类8226只基金中排名第368位；近一年收益率为63.47%，在同类8099只基金中排名第453位；自成立以来累计回报率达890.98% [2] - 该基金最新规模为32.66亿元，由张萍、李晓星、杜宇三位基金经理共同管理 [2][3] - 基金经理张萍现任基金资产总规模201.07亿元，李晓星现任基金资产总规模261.44亿元，杜宇现任基金资产总规模108.08亿元 [3]

行业表现 - 新能源板块延续涨势，中证光伏产业指数上涨1.7% [1] - 指数成份股中，微导纳米、阳光电源、科华数据涨幅超过7% [1] 行业事件与趋势 - 第七届未来能源大会在苏州举办，议题聚焦能源转型、光伏、储能、动力电池及清洁低碳 [1] - 大会主题呼应全球能源发展大势，标志新能源产业加速向新质发展阶段全面跃迁 [1] - 在国家政策引导和供给侧改革推动下，光伏行业从“内卷”走向“破卷” [1] - 预计2026年将迎来供需关系改善拐点，产业链价格企稳推动企业盈利水平回升 [1] 指数与投资工具 - 中证光伏产业指数选取50只业务涉及光伏产业链上下游的股票作为样本 [1] - 指数成份股覆盖硅料、硅片、电池片、组件、逆变器、支架等高纯度环节 [1] - 光伏ETF易方达（562970）跟踪该指数，有助于把握“反内卷”背景下的盈利预期回升机遇 [1]

公司股价与市场表现 - 10月24日公司股价上涨5.07%，报收52.22元/股，成交额达1.79亿元，换手率为3.44%，总市值为240.82亿元 [1] - 公司于2022年12月23日上市，总部位于江苏省无锡市 [1] 公司业务与收入构成 - 公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研发与产业化应用 [1] - 公司为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案 [1] - 主营业务收入构成为：光伏设备占比76.54%，半导体设备占比18.43%，配套产品及服务占比3.07%，其他业务占比1.89%，其他（补充）占比0.07% [1] 主要机构投资者动态 - 银华基金旗下银华中小盘混合基金（180031）位列公司十大流通股东，该基金在二季度增持公司股票16.3万股 [2] - 截至统计日，银华中小盘混合基金持有公司股票352.11万股，占流通股比例为3.48% [2] - 基于10月24日股价表现，测算显示银华中小盘混合基金当日浮盈约为887.31万元 [2] 相关基金业绩 - 银华中小盘混合基金（180031）成立于2012年6月20日，最新规模为26.38亿元 [2] - 该基金今年以来收益率为58%，同类排名423/8154；近一年收益率为52.33%，同类排名573/8025；自成立以来累计收益率为834.63% [2]

公司技术地位 - 公司是国内首家将量产型High-k原子层沉积设备（ALD）应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商[1] - 公司是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备（CVD）国产厂商[1] - 公司是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一[1] 公司战略与行业贡献 - 公司自成立以来一直坚持自主创新[1] - 公司致力于助力国内半导体产业的发展[1]

公司经营状况 - 公司目前生产经营一切正常 [1]

公司股价与交易表现 - 10月17日公司股价下跌5.24%至49.00元/股，成交额1.44亿元，换手率2.83%，总市值225.97亿元 [1] 公司业务概况 - 公司专注于以ALD技术为核心的先进微、纳米级薄膜沉积设备，服务于光伏、集成电路等半导体与泛半导体行业 [1] - 公司主营业务收入构成为：光伏设备76.54%，半导体设备18.43%，配套产品及服务3.07%，其他业务占比合计约1.96% [1] 主要流通股东动态 - 华泰柏瑞基金旗下光伏ETF（515790）位列公司十大流通股东，该基金在二季度减持2746股后持有160.32万股，占流通股比例1.58% [2] - 基于10月17日股价下跌，光伏ETF（515790）当日浮亏约434.48万元 [2] 相关基金产品表现 - 光伏ETF（515790）最新规模为99.84亿元，今年以来收益率为27.52%，近一年收益率为28.81%，自成立以来累计收益为-3.33% [2]

原子级制造技术概述 - 原子级制造技术能够实现单个原子的操控与搭建，为芯片制造带来革命性突破 [1] - 该技术被誉为制造技术的"终极形态"，不仅在尺寸上实现微缩突破，更在精度上达到前所未有的高度 [2] - 技术核心目标是通过规模化、高精度的原子操控，将制造过程的可控维度精准推进至原子及原子基元层级，最终达成"按需逐原子创制"的理想状态 [2] 技术优势与产业影响 - 在集成电路制造中，原子级制造技术能有效减少杂质与缺陷，大幅提升芯片性能 [1] - 若能实现单原子特征芯片量产，其尺寸与功耗将降至当前指标的千分之一以下，而计算能力则有望提升千倍以上 [1] - 该技术将全面重塑传统制造的三大关键要素：加工对象从连续宏观材料转向离散原子，加工精度跃升至原子尺度，性能决定模式转变为原子调控直接决定产品性能 [2][3] 关键技术构成 - 原子层沉积技术是原子级逐层生长的薄膜制备技术，沉积薄膜厚度高度可控，在半导体先进制程领域脱颖而出 [4] - 原子层沉积技术当前在半导体镀膜板块市场份额约为11%—13%，预计未来几年复合增长率高达26.3% [4] - 原子层刻蚀技术基于自限性反应机制，以单原子层为单位逐步去除材料，刻蚀精度极高，厚度控制精度可达亚纳米级 [5][6] - 与传统刻蚀技术相比，原子层刻蚀具有图形保真度高、全局均匀性极佳、衬底损伤风险低等优势，但工艺复杂度高且成本较高 [6] - 原子级精密定位技术中，光栅干涉仪凭借多自由度测量能力和抗干扰性能成为支撑精密制造的核心技术 [6] - 原子级抛光技术旨在实现晶圆表面小于0.1nm的局部甚至全局平整度，主流方法包括化学机械抛光、等离子抛光与离子束抛光 [7] 政策支持与发展 - 原子级制造已被中国工业和信息化部列为六大核心未来发展方向之一 [4] - 2016年国家重点研发计划启动"纳米科技"专项，将原子尺度材料设计与操控纳入重点研究范畴 [8] - 2018年南京市与南京大学共建国内首个原子制造研究中心，2019年实现几分钟内完成1英寸硅晶圆的原子簇颗粒制备 [9] - 2024年政策推进加速，召开创新发展座谈会，组建"原子级制造创新发展联盟"，工信部明确表示将加快培育发展原子级制造产业 [9] - 2025年工信部与国家市场监督管理总局联合印发的行动方案首次将"原子级制造"写入国家部委级正式文件，战略地位空前提升 [10] 企业布局与产业化进展 - 微导纳米专注于原子层沉积技术产业化，已推出多个以原子层沉积技术为核心的系列产品，多项设备关键指标达到国际先进水平 [11] - 清华大学路新春教授团队研发的国产化学机械抛光设备抛光精度达到0.1纳米，成功应用于高端芯片制造，填补国内高端抛光装备技术空白 [11] - 国内在原子级制造领域仍面临原子级设计软件、自组装工艺、原位检测技术等共性难题挑战，需建立覆盖材料、装备、产品的全链条标准 [11]

公司股价与交易表现 - 10月15日公司股价上涨5.08%，报收53.16元/股，成交额达3.74亿元，换手率为7.20%，总市值为245.15亿元 [1] - 公司成立于2015年12月25日，于2022年12月23日上市 [1] 公司业务与收入构成 - 公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研发与产业化应用 [1] - 公司为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案 [1] - 公司主营业务收入构成为：光伏设备占比76.54%，半导体设备占比18.43%，配套产品及服务占比3.07%，其他业务占比1.89%，其他(补充)占比0.07% [1] 机构持仓与基金表现 - 银华基金旗下银华中小盘混合（180031）位列公司十大流通股东，该基金在二季度增持16.3万股，截至数据披露日持有352.11万股，占流通股比例3.48% [2] - 基于当日股价涨幅测算，银华中小盘混合（180031）所持公司股份单日浮盈约为904.92万元 [2] - 银华中小盘混合（180031）基金今年以来收益为59.73%，在同类8161只基金中排名339；近一年收益为61.08%，在同类8015只基金中排名406；自2012年6月20日成立以来累计收益达844.85% [2]

一、限制性股票激励计划的分配情况 江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单 （截至首次授予日） | 姓名 | 国籍 | 职务 | 获授的限制 性股票数量 （万股） | 占本激励计划授出 权益数量的比例 | 占授予时公司股 本总额的比例 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | 一、高级管理人员、核心技术人员（4 | | | 人） | | | | 龙文 | 中国 | 董事会秘书 | 2.37 | 0.6192% | 0.0051% | | 俞潇莹 | 中国 | 财务负责人 | 1.98 | 0.5173% | 0.0043% | | 吴兴华 | 中国台湾 | 核心技术人员 | 1.00 | 0.2613% | 0.0022% | | 许所昌 | 中国 | 核心技术人员 | 2.21 | 0.5774% | 0.0048% | | 二、其他激励对象 | | | | | | | 核心骨干人员、中层管理人员及公司董 事会认为需要激励的其他人员（416 | | 人） | 325.20 | 84.9619% | 0.7052% | | 首次 ...