板块整体表现 - 光伏设备板块当日上涨0.31%，领涨个股为微导纳米[1] - 上证指数上涨0.38%至3826.84点，深证成指上涨0.61%至12666.84点[1] 个股价格变动 - 捷佳伟创下跌7.12%至99.10元，成交量46.81万手，成交额47.48亿元[1] - 艾能聚下跌6.96%至22.60元，成交量18.56万手，成交额4.23亿元[1] - 欧普泰下跌6.04%至16.49元，成交量8.04万手，成交额1.34亿元[1] - 时創能源下跌4.57%至17.35元，成交量6.83万手，成交额1.19亿元[1] - 大全能源下跌3.78%至33.09元，成交量41.04万手，成交额13.47亿元[1] - 首航新能下跌3.70%至37.73元，成交量12.20万手，成交额4.59亿元[1] - 同字科技下跌3.42%至22.58元，成交量6.54万手，成交额1.49亿元[1] - 天台光能下跌3.41%至17.82元，成交量70.51万手，成交额12.60亿元[1] - 海泰新能下跌3.23%至10.20元，成交量12.27万手，成交额1.26亿元[1] - *ST金刚下跌2.73%至13.92元，成交量3.92万手，成交额5486.44万元[1] 资金流向 - 板块主力资金净流出17.79亿元，游资资金净流出1.29亿元，散户资金净流入19.08亿元[3] - 晶澳科技主力净流入1.86亿元（占比10.80%），游资净流出1.46亿元（占比-8.51%），散户净流出3948.32万元（占比-2.29%）[3] - 金博股份主力净流入1.50亿元（占比17.78%），游资净流出5964.95万元（占比-7.08%），散户净流出9017.58万元（占比-10.70%）[3] - 微导纳米主力净流入1.28亿元（占比14.40%），游资净流出7605.67万元（占比-8.58%），散户净流出5161.47万元（占比-5.82%）[3] - 京山经机主力净流入1.15亿元（占比9.72%），游资净流出7171.02万元（占比-6.06%），散户净流出4323.65万元（占比-3.65%）[3] - 双良节能主力净流入9932.98万元（占比12.81%），游资净流出5095.15万元（占比-6.57%），散户净流出4837.83万元（占比-6.24%）[3] - 圆特维主力净流入8979.45万元（占比13.27%），游资净流出1538.01万元（占比-2.27%），散户净流出7441.44万元（占比-10.99%）[3] - 緊和材料主力净流入5790.22万元（占比7.17%），游资净流出3009.90万元（占比-3.73%），散户净流出2780.32万元（占比-3.44%）[3] - 禾迈股份主力净流入5538.51万元（占比10.61%），游资净流出2636.54万元（占比-5.05%），散户净流出2901.97万元（占比-5.56%）[3] - 中信博主力净流入5285.51万元（占比8.84%），游资净流出204.73万元（占比-0.34%），散户净流出5080.78万元（占比-8.49%）[3] - 高测股份主力净流入5204.65万元（占比9.68%），游资净流出1483.02万元（占比-2.76%），散户净流出3721.63万元（占比-6.92%）[3]

半导体板块市场表现 - A股半导体板块午后回暖 [1] - 微导纳米股价上涨超过17% [1] - 中微公司股价上涨超过4% [1] - 芯导科技和天岳先进等公司跟随上涨 [1]

半导体行业动态 - 国内半导体设备厂商接连传来利好消息 [1] - 盛美上海推出首款KrF前道涂胶显影设备 [1] - 中微公司重磅发布六大半导体设备新产品 [1] 公司股价表现 - 微导纳米股价涨逾17% [1] - 芯导科技、中微公司、北方华创、至纯科技跟涨 [1] - 半导体概念午后震荡拉升 [1]

行业前景 - 三至五年后单芯片晶体管数量预计达1万亿颗 全球半导体市场规模有望达1万亿美元[2] - 原子层沉积技术从2000年覆盖三四层半导体工艺发展到覆盖超80层工艺 对器件结构起关键作用[2] - 逻辑制程走向高深宽比 存储走向三维堆叠结构 化合物器件需更稳定性能 推动原子层沉积技术发展机遇[2] 公司技术突破 - 原子层沉积多级曝光技术可在现有光刻机精度下持续突破芯片制程技术节点 助推国产芯片发展[2] - ALD设备全面涵盖行业主流薄膜材料及工艺 CVD设备硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破[4] - 高介电常数材料和工艺性能等部分领域已超越国外设备商[3] 业务发展态势 - 半导体业务发货设备近500台 从2020年开启业务不满五年实现突飞猛进[3] - 2025年上半年新增半导体设备订单超去年全年水平[4] - 截至6月30日半导体领域在手订单达23.28亿元 较年初增长54.72%[4] 创新与服务模式 - 设备商需领先晶圆厂创新 而非跟随客户创新[4] - 在客户服务、定制化工艺和装备领域具高效服务能力 可高效支持本土晶圆厂发展[4] - 建议本土晶圆厂从跟随转向创新 与创新设备商合作提升器件性能和追赶速度[4] 供应链建设 - 零部件布局和国产化工作保障业务高速发展[3]

中国半导体设备产业发展现状 - 半导体设备产业被视为AI和算力竞争的基础 核心是半导体设备 零部件与材料[2] - 自2014年《国家集成电路产业发展推进纲要》发布以来 行业在刻蚀 薄膜沉积 CMP等主流工艺设备领域持续突破[2] - 北方华创 中微公司 盛美上海 拓荆科技 微导纳米等一批企业进入快速成长期[2] - 全国规模以上集成电路装备企业销售收入达1178.71亿元 同比增长32.9%[2] - 无锡地区涌现出一批半导体设备及零部件国产化样本企业[2] 行业发展挑战与生态建设 - 半导体设备突围需要全产业链接力和产业生态良性发展 非单家企业可完成[2] - 全球贸易冲突加剧导致半导体产业链重构 给中国半导体设备产业带来严峻挑战[2] - 制程工艺 存储堆叠 先进封装及材料技术发展使设备创新难度提升 成本愈加昂贵[2] - 需构建"资本+科创+产业"新生态 打通人才链 资本链 创新链和产业链[3] - 上证报联合中国电子专用设备工业协会主办第十三届CSEAC展会及论坛 搭建资本与智本链接平台[3][4] 创新发展战略 - 通过"政策—资本—技术—舆论"立体化赋能加速半导体设备国产化和创新进程[4] - 目标是在全球半导体产业链重构中发挥中国作用[4]

股价表现与交易数据 - 9月5日盘中股价38.26元/股 较前上涨2.03% 总市值176.44亿元 成交额1.46亿元 换手率3.82% [1] - 主力资金净流出158.80万元 其中特大单买入228.19万元(占比1.56%) 卖出509.25万元(占比3.48%) 大单买入4187.32万元(占比28.64%) 卖出4065.06万元(占比27.81%) [1] - 今年以来股价累计上涨42.52% 近5日下跌9.74% 近20日上涨15.21% 近60日上涨35.74% [1] 公司基本面与业务构成 - 公司位于江苏省无锡市 2015年12月成立 2022年12月上市 专注于ALD技术为核心的纳米级薄膜沉积设备研发与产业化 [1] - 主营业务收入构成:光伏设备84.83% 半导体设备12.12% 配套产品及服务2.68% 其他业务合计0.38% [1] - 2025年上半年营业收入10.50亿元 同比增长33.42% 归母净利润1.92亿元 同比大幅增长348.95% [2] 行业属性与股东结构 - 所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备 概念板块包括集成电路、半导体、先进封装、OLED及半导体设备等 [2] - 截至6月30日股东户数1.09万户 较上期增加15.68% 人均流通股9300股 较上期减少10.47% [2] - A股上市后累计现金分红5896.22万元 [3] 机构持仓变动 - 银华中小盘混合(180031)为第二大流通股东 持股352.11万股 较上期增持16.30万股 [3] - 光伏ETF(515790)为第六大流通股东 持股160.32万股 较上期减持2746股 [3] - 南方中证1000ETF(512100)新进第九大流通股东 持股127.34万股 博时上证科创板100ETF联接A(019857)退出十大股东行列 [3]

投资评级 - 维持"买入"评级 [9][12] 核心财务表现 - 2025H1实现营收10.50亿元，同比增长33.42%，归母净利润1.92亿元，同比增长348.95% [2][6] - 2025Q2营收5.40亿元，同比下滑12.43%，环比增长5.76%，归母净利润1.08亿元，同比增长175.65%，环比增长28.72% [2][6] - 净利率达18.32%，同比大幅提升，主要因收入增长的同时销售费用、管理费用下降 [12] - 预计2025-2026年归母净利润分别为3.4亿元、4.2亿元，对应PE分别为58倍、47倍 [12] 业务收入结构 - 半导体设备收入1.9亿元，同比增长27.17%，占主营业务收入比重从2023年度的7.27%提升至18.45% [12] - 光伏设备收入8.0亿元，同比增长31.53% [12] - 半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72%，占订单总量比重呈上升趋势 [12] 半导体业务突破 - ALD设备已涵盖行业所需主流ALD薄膜材料及工艺，在高介电常数材料、金属化合物薄膜等领域实现产业化应用 [12] - CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破，进入存储芯片等领域先进器件量产生产线 [12] - iTomic HiK系列、iTomic MeT系列ALD设备和iTronix MTP系列CVD设备持续获得量产批量订单 [12] - iTomic PE系列ALD设备市场认可度提升，今年以来陆续取得多家产业链重要客户订单 [12] - iTronix PE系列CVD设备已获得先进封装领域重要客户订单 [12] - iTronix LP系列CVD设备实现多项关键工艺突破，获得产业链核心客户重复订单 [12] - 推出iTomic Spatix系列及四站架构腔体的高产能ALD、CVD设备，成为国内少数具备研发和生产空间型ALD设备的厂商之一 [12] 研发投入与战略布局 - 多年来保持高比例研发投入，其中超过60%投入半导体领域 [12] - 运用可转债募集资金推进先进半导体设备的研发、生产及测试等设施建设 [12] - 持续提升半导体产品工艺覆盖度 [12]

无锡半导体产业规模与地位 - 2024年无锡集成电路产业规上产值超2500亿元，规模居全国第二 [1] - 芯片设计产值达418亿元，居全国第四；晶圆制造产值达593.45亿元，居全国第三；封装测试产值达652.51亿元，居全国第一 [1] - "十四五"期间半导体设备与核心零部件产业规模增长220%，拥有设备、零部件重点企业近100家 [1] 薄膜沉积设备领域突破 - 微导纳米为国内首家ALD设备企业，打破荷兰ASM、日本东京电子等国外厂商垄断 [2] - 2021年微导纳米首台半导体设备实现销售，为国产首台应用于28nm节点的量产型High-k原子层沉积设备 [3] - 研微半导体以ALD设备破局，实现逻辑芯片、存储芯片、先进封装三大赛道全覆盖，并完成Thermal ALD、PEALD等多类型设备交付 [3][4] 半导体零部件国产化进展 - 中国半导体零部件国产化率仅10%-20%，真空类、仪器仪表和光学领域国产化率不足5% [5] - 海古德2016年研发ESC静电卡盘，2024年国内率先实现量产，12寸产品已大量交付 [5][6] - 国产ESC静电卡盘具备成本优势和定制化能力，从配方、工艺到热震荡烧结技术均自主研发 [6] 产业生态与创新模式 - 新港集成电路装备零部件产业园集聚20余家半导体设备和零部件企业，一年内实现"满园"运营 [7] - 无锡半导体装备与关键零部件创新中心运营4个月落地8个项目，其中某零部件项目获千万级别订单 [8] - 创新中心股权架构为核心团队持股75%、无锡高新区持股15%、无锡产业研究院持股10%，由产业需求驱动技术研发 [8] - 无锡计划布局维保中心、集散中心、创新中心三大中心，形成研发、生产到维护的完整产业生态 [9] 全球化合作与技术布局 - 新港产业园从日本、韩国招引半导体装备及零部件企业，如韩国Gigalane刻蚀设备开发项目 [7] - 无锡聚焦28nm及以下先进制程设备、第三代半导体及光电芯片制造专用设备等关键方向 [1] - 除前道光刻机外，无锡在半导体设备与零部件领域均有布局 [1]

回购方案 - 首次披露日为2024年11月15日，由董事长王磊提议[3] - 实施期限为2024年11月15日至2025年11月14日[3] - 预计回购金额4000万元至8000万元[3] 回购进展 - 累计已回购股数2901842股，占总股本0.63%[3][6] - 累计已回购金额79526891.92元[3][6] - 实际回购价格区间23.66元/股至30.70元/股[3][6] 价格调整 - 2024年第二期回购股份价格上限调为不超过42.72元/股[5] 其他信息 - 公司总股本为461157283股[6] - 截至2025年8月31日，回购进展符合既定方案[6]

板块整体表现 - 光伏设备板块当日下跌1.67%，领跌个股为微导纳米（跌幅9.04%）[1] - 上证指数下跌0.45%至3858.13点，深证成指下跌2.14%至12553.84点[1] - 板块内呈现分化走势，10只个股上涨（如赛伍技术涨6.62%），10只个股下跌（如帝尔激光跌5.69%）[1][2] 个股涨跌情况 - 涨幅前三位：赛伍技术（12.56元，+6.62%）、高测股份（11.26元，+5.63%）、京山轻机（12.68元，+5.32%）[1] - 跌幅前三位：微导纳米（40.87元，-9.04%）、帝尔激光（72.90元，-5.69%）、*ST沐邦（5.84元，-5.04%）[2] - 成交额前列个股：捷佳伟创（54.49亿元）、天合光能（5.97亿元）、大全能源（9.36亿元）[1][2] 资金流向特征 - 板块整体主力资金净流出11.11亿元，游资净流入9.51亿元，散户净流入1.6亿元[2] - 主力资金净流入前三：赛伍技术（2.78亿元，占比28.26%）、京山轻机（1.30亿元，占比11.31%）、阳光电源（8787.03万元，占比1.02%）[3] - 游资净流入突出个股：上能电气（6922.35万元，占比4.90%）、高测股份（4045.99万元，占比3.73%）[3]