原子级制造技术概述 - 原子级制造技术能够实现单个原子的操控与搭建，为芯片制造带来革命性突破 [1] - 该技术被誉为制造技术的"终极形态"，不仅在尺寸上实现微缩突破，更在精度上达到前所未有的高度 [2] - 技术核心目标是通过规模化、高精度的原子操控，将制造过程的可控维度精准推进至原子及原子基元层级，最终达成"按需逐原子创制"的理想状态 [2] 技术优势与产业影响 - 在集成电路制造中，原子级制造技术能有效减少杂质与缺陷，大幅提升芯片性能 [1] - 若能实现单原子特征芯片量产，其尺寸与功耗将降至当前指标的千分之一以下，而计算能力则有望提升千倍以上 [1] - 该技术将全面重塑传统制造的三大关键要素：加工对象从连续宏观材料转向离散原子，加工精度跃升至原子尺度，性能决定模式转变为原子调控直接决定产品性能 [2][3] 关键技术构成 - 原子层沉积技术是原子级逐层生长的薄膜制备技术，沉积薄膜厚度高度可控，在半导体先进制程领域脱颖而出 [4] - 原子层沉积技术当前在半导体镀膜板块市场份额约为11%—13%，预计未来几年复合增长率高达26.3% [4] - 原子层刻蚀技术基于自限性反应机制，以单原子层为单位逐步去除材料，刻蚀精度极高，厚度控制精度可达亚纳米级 [5][6] - 与传统刻蚀技术相比，原子层刻蚀具有图形保真度高、全局均匀性极佳、衬底损伤风险低等优势，但工艺复杂度高且成本较高 [6] - 原子级精密定位技术中，光栅干涉仪凭借多自由度测量能力和抗干扰性能成为支撑精密制造的核心技术 [6] - 原子级抛光技术旨在实现晶圆表面小于0.1nm的局部甚至全局平整度，主流方法包括化学机械抛光、等离子抛光与离子束抛光 [7] 政策支持与发展 - 原子级制造已被中国工业和信息化部列为六大核心未来发展方向之一 [4] - 2016年国家重点研发计划启动"纳米科技"专项，将原子尺度材料设计与操控纳入重点研究范畴 [8] - 2018年南京市与南京大学共建国内首个原子制造研究中心，2019年实现几分钟内完成1英寸硅晶圆的原子簇颗粒制备 [9] - 2024年政策推进加速，召开创新发展座谈会，组建"原子级制造创新发展联盟"，工信部明确表示将加快培育发展原子级制造产业 [9] - 2025年工信部与国家市场监督管理总局联合印发的行动方案首次将"原子级制造"写入国家部委级正式文件，战略地位空前提升 [10] 企业布局与产业化进展 - 微导纳米专注于原子层沉积技术产业化，已推出多个以原子层沉积技术为核心的系列产品，多项设备关键指标达到国际先进水平 [11] - 清华大学路新春教授团队研发的国产化学机械抛光设备抛光精度达到0.1纳米，成功应用于高端芯片制造，填补国内高端抛光装备技术空白 [11] - 国内在原子级制造领域仍面临原子级设计软件、自组装工艺、原位检测技术等共性难题挑战，需建立覆盖材料、装备、产品的全链条标准 [11]

公司股价与交易表现 - 10月15日公司股价上涨5.08%，报收53.16元/股，成交额达3.74亿元，换手率为7.20%，总市值为245.15亿元 [1] - 公司成立于2015年12月25日，于2022年12月23日上市 [1] 公司业务与收入构成 - 公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研发与产业化应用 [1] - 公司为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案 [1] - 公司主营业务收入构成为：光伏设备占比76.54%，半导体设备占比18.43%，配套产品及服务占比3.07%，其他业务占比1.89%，其他(补充)占比0.07% [1] 机构持仓与基金表现 - 银华基金旗下银华中小盘混合（180031）位列公司十大流通股东，该基金在二季度增持16.3万股，截至数据披露日持有352.11万股，占流通股比例3.48% [2] - 基于当日股价涨幅测算，银华中小盘混合（180031）所持公司股份单日浮盈约为904.92万元 [2] - 银华中小盘混合（180031）基金今年以来收益为59.73%，在同类8161只基金中排名339；近一年收益为61.08%，在同类8015只基金中排名406；自2012年6月20日成立以来累计收益达844.85% [2]

一、限制性股票激励计划的分配情况 江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单 （截至首次授予日） | 姓名 | 国籍 | 职务 | 获授的限制 性股票数量 （万股） | 占本激励计划授出 权益数量的比例 | 占授予时公司股 本总额的比例 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | 一、高级管理人员、核心技术人员（4 | | | 人） | | | | 龙文 | 中国 | 董事会秘书 | 2.37 | 0.6192% | 0.0051% | | 俞潇莹 | 中国 | 财务负责人 | 1.98 | 0.5173% | 0.0043% | | 吴兴华 | 中国台湾 | 核心技术人员 | 1.00 | 0.2613% | 0.0022% | | 许所昌 | 中国 | 核心技术人员 | 2.21 | 0.5774% | 0.0048% | | 二、其他激励对象 | | | | | | | 核心骨干人员、中层管理人员及公司董 事会认为需要激励的其他人员（416 | | 人） | 325.20 | 84.9619% | 0.7052% | | 首次 ...

江苏微导纳米科技股份有限公司监事会 关于公司 2025 年限制性股票激励计划首次授予 （1）最近 12 个月内被证券交易所认定为不适当人选； （2）最近 12 个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选； （3）最近 12 个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处 罚或者采取市场禁入措施； （4）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的； （6）中国证监会认定的其他情形。 激励对象名单的核查意见（截至首次授予日） 江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称"公司"）监事会依据《中华人民 共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中华人民共和国证券法》（以下简称 "《证券法》"）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）、《上 海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称"《上市规则》"）、《科创板上市 公司自律监管指南第 4 号——股权激励信息披露》等法律、法规及规范性文件和 《江苏微导纳米科技股份有限公司章程》（以下简称"《公司章程》"）的规定， 对公司 2025 年限制性股票激励计划（以下简称"本激励计划"）首次授予激励对 象名单（截至首次授予日）进行审核，发 ...

| 证券代码：688147 | 证券简称：微导纳米 | 公告编号：2025-076 | | --- | --- | --- | | 转债代码：118058 | 转债简称：微导转债 | | 江苏微导纳米科技股份有限公司 关于向 2025 年限制性股票激励计划激励对象 首次授予限制性股票的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称"公司"）《2025 年限制性股票 激励计划（草案）》（以下简称"《激励计划》"）规定的公司 2025 年限制性股 票激励计划（以下简称"本激励计划"）首次授予条件已经成就，根据公司 2025 年第三次临时股东大会的授权，公司于 2025 年 10 月 14 日召开第二届董事会第 二十七次会议及第二届监事会第二十五次会议，审议通过了《关于向 2025 年限 制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》，同意以 2025 年 10 月 14 日为首次授予日，以 24.30 元/股的授予价格向符合授予条件的 420 名激励 对象授予 ...

证券简称：微导纳米 证券代码：688147 上海荣正企业咨询服务（集团）股份有限公司 关于 江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划 首次授予相关事项 之 独立财务顾问报告 $$\Xi{\bf{\cal{O}}}\,{\bf{\hat{=}}}\,\Xi{\bf{\hat{n}}}\,\rlap{/}\Xi{\bf{\hat{+}}}\,\rlap{/}\Xi$$ | （二）咨询方式 10 | | --- | 2 上海荣正企业咨询服务（集团）股份有限公司 独立财务顾问报告 一、释义 在本独立财务顾问报告中，除非特别载明，以下简称具有如下含义： | 微导纳米、本公 | 指 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | | --- | --- | --- | | 司、公司 | | | | 本激励计划、本计 划 | 指 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划 | | 独立财务顾问 | 指 | 上海荣正企业咨询服务（集团）股份有限公司 | | | | 《上海荣正企业咨询服务（集团）股份有限公司关于江苏微导 | | 独立财务顾问报告 | 指 | 纳米科技股份有限公司 2025 年限 ...

德恒上海律师事务所 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划 首次授予事项的 法律意见 上海市虹口区东大名路 501 号上海白玉兰广场办公楼 23 楼 电话：021-55989888 传真：021-55989898 释 义 在本法律意见中，除非文义另有所指，下列词语具有下属涵义： 德恒上海律师事务所 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划首次授予事项的法律意见 德恒上海律师事务所 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票激励计划 首次授予事项的 法律意见 德恒 02F20250563-00002 号 致：江苏微导纳米科技股份有限公司 | 微导纳米/公司 | 指 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | | --- | --- | --- | | 本激励计划 | 指 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年限制性股票 | | | | 激励计划 | | 本法律意见 | 指 | 《德恒上海律师事务所关于江苏微导纳米科技股份有 | | | | 限公司 2025 年限制性股票激励计划首次授予事项的 | | | | 法律意见》 | | 《激励计划（草案） ...

德恒上海律师事务所 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年第三次临时股东大会 之 见证法律意见 致：江苏微导纳米科技股份有限公司 德恒上海律师事务所（以下简称"本所"）接受江苏微导纳米科技股份有限 公司（以下简称"公司"）委托，指派刘璐律师、王金波律师（以下合称"本所 承办律师"）出席公司于2025年10月14日下午14点00分在江苏省无锡市新吴区长 江南路27号公司会议室召开的2025年第三次临时股东大会（以下简称"本次股东 大会"），就本次股东大会召开的召集和召开程序、召集人及出席会议人员的资 格、会议议案、表决方式和表决程序、表决结果和会议决议等进行见证并出具本 法律意见书。 本所承办律师依据本法律意见书出具日前已经发生或存在的事实和《中华人 民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）、《中华人民共和国证券法》（以 下简称"《证券法》"）、《上市公司股东会规则》（以下简称"《股东会规则》"） 等现行有效的法律、法规和规范性文件以及《江苏微导纳米科技股份有限公司章 程》（以下简称"《公司章程》"）的有关规定出具本法律意见书。 上海市虹口区东大名路 501 号上海白玉兰广场办公楼 23 楼 电话：0 ...

江苏微导纳米科技股份有限公司 2025年第三次临时股东大会决议公告 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 本次会议是否有被否决议案：无 | 证券代码：688147 | 证券简称：微导纳米 | 公告编号：2025-072 | | --- | --- | --- | | 转债代码：118058 | 转债简称：微导转债 | | 注：截至本次股东大会股权登记日的总股本为 461,157,283 股，其中，公司回购专用账 户中股份数为 3,705,500 股，不享有股东大会表决权，故公司本次股东大会表决权股份总数 为 457,451,783 股。 （四） 表决方式是否符合《公司法》及公司章程的规定，大会主持情况等。 本次股东大会由公司董事会召集，董事长王磊先生主持本次股东大会。会议 采取现场及网络相结合的投票方式，会议的召集、召开程序、表决方式和表决程 序均符合《中华人民共和国公司法》《江苏微导纳米科技股份有限公司章程》及 一、 会议召开和出席情况 《江苏微导纳米科技股份有限公司股东大会议事规则》的规定。 （ ...

| 证券代码：688147 | 证券简称：微导纳米 | 公告编号：2025-075 | | --- | --- | --- | | 转债代码：118058 | 转债简称：微导转债 | | 本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 一、会议召开情况 江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称"公司"）第二届监事会第二十五 次会议于 2025 年 10 月 14 日在公司会议室以现场结合通讯表决方式召开，会议 由监事会主席潘景伟先生主持。全体监事一致同意豁免本次监事会会议的提前通 知期限要求。本次会议应出席监事 3 名，实际出席监事 3 名。本次会议的召开符 合《中华人民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）及《江苏微导纳米科技 股份有限公司章程》（以下简称"公司章程"）的有关规定，会议决议合法、有效。 二、会议审议情况 本次会议审议并通过如下议案： （一）审议通过了《关于向 2025 年限制性股票激励计划激励对象首次授予 限制性股票的议案》 根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）、《江 苏微导纳米科 ...