微导纳米电话会议纪要关键要点 涉及的行业与公司 - 公司为微导纳米 专注于光伏和半导体设备制造 最初聚焦光伏ALD设备 后拓展至半导体CVD设备[1][2] - 行业涉及光伏设备制造、半导体薄膜沉积设备制造 以及锂电固态电池前沿应用[2][3] 核心业务与产品 - 核心业务逻辑包括半导体设备领域（特别是ALE和CVD设备）的快速增长 以及在锂电固态电池领域探索ALD新应用[3] - 光伏设备产品包括夸父系列ALD、祝融系列PECVD和后羿系列ALD 均以太阳相关神命名[4] - 半导体设备产品包括凤凰系列、麒麟系列和龙系列 涵盖AOD和CVD设备 应用于逻辑和存储两大领域[4] 财务表现与预测 - 2024年营收约27亿元 2025年上半年营收约十几亿元 同比增长约30%[2][9] - 2025年上半年利润接近两亿元 净利率从2024年低于10%修复至18%[2][9] - 预计2025年净利润约3亿元 2026年约4亿元[2][26] - 整体毛利率约40% 其中光伏设备毛利率约40% 半导体设备毛利率28%-30% 预计随规模效应提升至30%以上[2][7] 订单结构变化 - 2023年新签订单62亿元（大部分来自TOPCON扩产高峰） 2024年降至30亿元 2025年预计持平但结构巨变[2][10] - 半导体订单占比将首次超过光伏 2025年半导体新订单达17-20亿元 光伏仅10亿元左右[2][10] - 半导体设备订单增速显著：2021年几千万 2022年2.5亿元（翻五倍） 2023年7亿元 2024年10亿元 2025年预计18-20亿元（上半年已达成10亿元）[21][27] 市场地位与竞争格局 - 在光伏ALD设备市场占据主导地位 市占率达70-80%[2][14] - 国内薄膜沉积设备国产化率仅20%-30% 替代空间大[2][20] - ALD静态市场规模约70-80亿人民币 PECVD达300亿人民币[2][16] - 全球薄膜沉积市场由海外主导：PVD领域应材垄断80%-90% ALD领域由ASM（45%）、TEL（29%）和LAM（9%）主导[20] 技术优势与应用 - ALD技术优势：成膜均匀性和一致性最佳 适合复杂结构 沉积速度慢（纳米/分钟）但薄膜质量高[12][13] - 光伏应用：PERK钝化减反膜、TOPCon隧穿层二氧化硅、多晶硅及钙钛矿阴极缓冲层[2][14] - 半导体应用：先进制程high k材料（如二氧化铪） 解决28纳米以下器件漏电问题[14][17] - 存储领域应用：3D NAND（高深宽比从6倍升至9倍）和DRAM（高纵横比结构）对ALD需求显著增加[18][19] - 逻辑芯片28纳米以下每道工序需2-3台ALD设备（总计2-6台） 存储芯片24纳米以下每道工序需2-3台（总计16-27台）[19] 未来发展驱动 - 半导体设备订单增长动力：核心客户为存储类客户（占比60%-70%） 2026年两家头部存储客户有较大量产规划 预计新签订单至少25亿元[21][22] - ALD技术渗透率将持续提升 因适合先进制程（从45纳米开始应用 制程越先进用量越大）[17] - 锂电固态电池应用：ALD通过表面包覆解决固固界面副反应和机械失效问题 相比溶胶凝胶/CVD具有涂层均匀、厚度可控、保形性优异等优势[23][25] 风险与挑战 - 全固态电池量产核心瓶颈在于界面接触质量 硫化物电解质存在易开裂、断带及生成剧毒物质等问题[23][24] - 存货与合同负债在2025年第二季度末略有下降 与新订单下滑有关[10] 管理团队 - 由王氏家族实际控制（王燕青、王磊、倪亚兰） 王燕青同时为先导智能董事长及实控人[8] - 技术研发由黎博负责（曾师从ALD技术创始人） 总经理周仁曾任Lam、KLA、中微拓荆高管 半导体经验丰富[8]

行业与公司 * 行业为固态电池 涉及固固界面问题解决 材料与设备体系革新[1] * 公司包括海外领先企业Quantumscape Solid Power 国内企业宁德时代 比亚迪 以及设备与材料供应商如先导智能 利元亨 微导纳米 北方华创 德龙激光 联赢激光 天奈科技 道氏技术等[3][12][17] 核心观点与论据 * 固态电池通过干法成型 等静压 结构化材料 激光设备等工艺解决固固界面问题 提升离子传导性能 减少副反应 提高机械匹配性[1][6][7] * 无溶剂化干法成型是应用确定性最高的方向 价值量达千万级 技术壁垒较高 国产化程度较高[1][11] * 等静压技术可系统性解决固固界面接触不良 孔隙率高 枝晶生长及体积膨胀等问题 价值量同样在千万级[1][11] * 界面改性通过涂层 掺杂 可控反应以及合金化等技术调控微观结构 增加接触面积并阻断不良反应[3][13] * 海外企业如Quantumscape和Solid Power更早布局高端设备 广泛使用ALD技术 已进入中试到小批量生产阶段[1][5] * 国内企业倾向于技术创新 采用干法或结构化材料等经济方法 处于小试到中试阶段[1][5] 其他重要内容 * 全固态电池主要挑战包括离子传导障碍 副反应 力学匹配差 界面阻抗高（需控制在50欧姆以下） 枝晶生长风险[9] * 结构化材料包括结构化铜箔和骨架支撑膜 价值量在千万元级别 国产化率较高[11] * 激光设备用于切割和加工 处于规模化测试或导入阶段 整体设备国产化程度偏高[11] * ALD成为目前最有效的界面解决方式之一 国内微导纳米 北方华创 拓荆等企业领先[15] * 界面改性辅助材料如多孔MOF材料 COF材料 碳纳米管及导电炭黑用量显著增加 例如导电炭黑用量较液态电池成倍增长[15] * 先导智能和利元亨布局等静压及干法设备 并向国内外头部定制厂供货[3][17] * 德龙激光获得宁德时代的激光设备订单[3][23] * 联赢激光在传统领域占据较大市场份额 有望逐步增加市场份额并受益于激光用量整体增长[3][20]

公司股价表现 - 9月17日股价上涨5.06%至49.79元/股 成交额4.99亿元 换手率10.12% 总市值229.61亿元 [1] 公司业务构成 - 主营业务以ALD技术为核心 专注于微纳米级薄膜沉积设备研发与产业化 [1] - 收入构成：光伏设备76.54% 半导体设备18.43% 配套产品及服务3.07% 其他业务合计1.96% [1] 机构持仓动态 - 诺安高端制造股票A(001707)二季度增持1万股至9万股 持仓占基金净值4.21% [2] - 该基金当日浮盈约21.6万元 今年以来收益率28.72% 近一年收益率59.24% [2] 基金产品信息 - 诺安高端制造股票A规模6273.19万元 成立以来累计收益76.6% [2] - 基金经理童宇管理规模6443.8万元 任职期间最佳回报11.45% [3]

中信证券股份有限公司（以下简称"中信证券"或"保荐人"）作为正在对 江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称"微导纳米""公司"）进行持续督 导工作的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科 创板股票上市规则》等相关规定，中信证券履行持续督导职责，并出具本持续督 导半年度跟踪报告。 一、持续督导工作概述 1、保荐人制定了持续督导工作制度，制定了相应的工作计划，明确了现场 检查的工作要求。 中信证券股份有限公司 关于江苏微导纳米科技股份有限公司 2025 年半年度持续督导跟踪报告 2、保荐人已与公司签订保荐协议，该协议已明确了双方在持续督导期间的 权利义务，并报上海证券交易所备案。 3、本持续督导期间，保荐人根据相关法规和规范性文件的要求履行持续督 导职责，具体内容包括： （1）查阅公司章程、三会议事规则等公司治理制度、三会会议材料； （2）查阅公司财务管理、会计核算和内部审计等内部控制制度； （3）查阅公司与控股股东及其关联方的资金往来明细及相关内部审议文件、 信息披露文件； （4）查阅公司募集资金管理相关制度、募集资金使用信息披露文件和决策 程序文件、募集资金专户银行对账单、募集资金使用 ...

光伏设备板块市场表现 - 光伏设备板块整体上涨0.43% 领先个股包括晶盛机电涨8.49% 微导纳米涨8.28% 海优新材涨5.32% [1] - 上证指数下跌0.26%至3860.5点 深证成指上涨0.63%至13005.77点 [1] - 板块内成交活跃个股包括阳光电源成交额213.62亿元 晶盛机电成交额26.24亿元 锦浪科技成交额34.77亿元 [1] 个股涨跌情况 - 涨幅前列个股包括晶盛机电收盘38.07元 成交量69.61万手 微导纳米收盘47.99元 成交量19.84万手 永臻股份收盘24.65元涨4.58% [1] - 跌幅显著个股包括*ST沐邦跌5.01%至6.63元 晶科能源跌3.34%至5.5元 双良节能跌2.72%至6.08元 [2] - 成交量突出个股包括晶科能源成交量195.63万手 上能电气成交量185.03万手 阳光电源成交量150.97万手 [2] 资金流向分析 - 板块整体主力资金净流出6.33亿元 游资资金净流入1.33亿元 散户资金净流入5.0亿元 [2] - 主力资金净流入前列个股包括阿特斯净流入1.58亿元占比9.28% 微导纳米净流入9459.67万元占比10.13% 高测股份净流入7688.03万元占比11.72% [3] - 资金净流出显著个股包括阿特斯游资净流出1.02亿元 微导纳米散户净流出7477.46万元 锦浪科技散户净流出8352.57万元 [3] 重点个股表现 - 晶盛机电实现股价与资金双升 主力净流入7454.18万元 收盘涨幅8.49%居板块首位 [1][3] - 阳光电源虽涨幅仅2.05% 但成交额达213.62亿元 为板块内最高成交活跃度 [1] - 晶科能源出现股价与资金背离 股价下跌3.34% 但未进入资金流向前十榜单 [2][3]

投资评级 - 增持（维持）[1] 核心观点 - 公司2025年上半年业绩高增，营业收入10.5亿元，同比上升33.42%，归母净利润1.92亿元，同比上升348.95%[4] - 半导体业务收入19,353.64万元，同比增长27.17%，光伏设备收入80,360.90万元，同比增长31.53%[6] - 半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72%[6] - 公司推出iTomic Spatix系列及四站架构腔体的高产能ALD、CVD设备，成为国内少数具备研发和生产空间型ALD设备的厂商之一[7] - 维持增持评级，基于公司在ALD领域领先优势及半导体领域持续突破[9] 财务表现 - 2025年半年度毛利率36.05%，同比下降2.35个百分点，归母净利率18.32%，同比上升12.88个百分点[4] - 2025年第二季度营业收入5.4亿元，同比下降12.43%，环比上升5.76%，归母净利润1.08亿元，同比上升175.65%，环比上升28.72%[5] - 预测2025-2027年营业收入分别为29.46/33.32/35.89亿元，归母净利润分别为3.18/4.96/5.30亿元[9] - 2025-2027年预测EPS为0.69/1.08/1.15元，对应PE倍数分别为64/41/39倍[9] 业务发展 - 半导体设备收入占主营业务收入比重从2023年度7.27%提升至2025年上半年18.45%[6] - iTomic HiK系列、iTomic MeT系列ALD设备和iTronix MTP系列CVD设备获得量产批量订单[7] - iTomic PE系列ALD设备市场认可度提升，获得多家产业链重要客户订单[7] - iTronix PE系列CVD设备拓展至先进封装领域，获得重要客户订单[7] - 光伏业务加速TOPCon、XBC、钙钛矿及钙钛矿叠层等新型电池技术研发[8] - HY系列板式ALD设备应用于钙钛矿电池，获得客户验收并进入产业化应用阶段[8] 市场表现 - 当前股价44.32元，近12个月最高价48.75元，最低价18.35元[1] - 总市值204亿元，流通市值45亿元[1]

半导体设备领域进展 - 微导纳米ALD设备涵盖主流ALD薄膜材料及工艺 在高介电常数材料和金属化合物薄膜领域实现产业化应用且量产规模持续增加[1] - 微导纳米CVD设备在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破 进入存储芯片等先进器件量产生产线[1] - 新益昌推出多款焊线机和测试包装设备通过客户验证 获得市场认可及批量订单[1] - 燕麦科技硅光测试设备向海外晶圆厂持续交付产品 配合优质客户进行新技术验证开发[2] - 燕麦科技IC载板测试设备处于样机系统测试阶段[2] - 燕麦科技MEMS传感器测试设备中气压传感器测试获国内龙头客户认可 处于增量订单阶段 温湿度传感器测试设备同样处于增量订单阶段 IMU测试设备技术指标达行业先进水平处于样机测试阶段 SiP芯片测试设备持续为头部客户供货[2] 半导体材料领域扩产规划 - 神工股份以稳妥扩产为核心策略 持续提升硅零部件产能规模 为大直径硅材料业务增长提供可持续动能[3] - 神工股份大直径刻蚀用硅材料业务增长由内外驱动转型推动 包括传统外销恢复 本土需求成新增长极 以及硅零部件成为核心拉动力[3] - 天承科技计划将金山工厂产能从年产3万吨提升至4万吨功能性湿电子化学品[4] - 天承科技珠海年产3万吨工厂近日开工 辐射华南区域PCB下游工厂[4] - 天承科技泰国全资子公司年产3万吨工厂2026年建成 具备对东南亚地区供应能力[4] - 龙图光罩珠海工厂新产品预计下半年逐步放量 季度营收将出现明显同比增长[5] - 龙图光罩通过高端制程突破和客户结构升级双引擎驱动业绩反转[5] - 方邦股份可剥铜 挠性覆铜板 薄膜电阻等新产品逐步起量 预计业绩向好向高增长[5] 行业发展态势 - 本土半导体厂商竞争力快速提升 在前沿技术突破与全球市场份额抢占上持续追赶 逐步打破原有全球产业格局[3] - 半导体材料领域市场机会窗口逐步打开 扩产起量成为发展重点[3]

微导纳米电话会议纪要关键要点 涉及的行业和公司 - 公司为微导纳米 国内光伏ALD设备龙头 市占率达70% 同时布局半导体和锂电池ALD设备市场[2] - 行业涉及光伏设备 半导体薄膜沉积设备 锂电池设备 以及柔性电子 新型显示 MEMS 催化和光学等新兴领域[2][4][9][21] 核心观点和论据 **业务表现与订单** - 光伏ALD设备市占率达70% 2022年光伏订单20亿元 2023年增至56亿元 2024年回落至20亿元 2025年上半年签单数量减少[5] - 半导体设备订单增长迅速 2024年同比增长168% 2022至2025年新签订单分别为2亿元 7亿元 10亿元及上半年10亿元 预计2025年全年订单有望达17亿元 同比增速50%至70%[2][3][12] - 半导体业务营收占比12% 光伏业务占比85% 但半导体业务增速快 未来预计大部分营收将来源于半导体业务[6] **技术突破与应用** - 突破ALD技术镀膜速度慢的瓶颈 实现规模化应用 将HiK ALD规模化应用于中芯国际28nm IC量产线 并拓展至武汉和合肥客户[2][3][12] - 在ALD方面覆盖HAK工艺 柱状电容器 金属化薄膜等 应用于3D NAND和3D DRAM等领域 在CVD方面覆盖PECVD和LPCVD两类设备 PECVD从高端硬掩膜做起并形成批量订单 LPCVD覆盖锗硅 多晶硅等工艺并获批量订单[2][12] - 研发锂电池ALD设备 通过均匀性 保形性及精确厚度控制解决固态电池界面问题 具备卷对卷与空间型两种提升产能技术 对镀膜材料如氧化铝与氧化钛有深厚理解[4][13][14][15][16] **市场机遇与驱动因素** - 受益于美国对中国半导体设备出口管制 国产替代需求增加 下游晶圆厂积极验证国产设备 在长存等客户处进行硬掩膜工艺验证并获得批量订单[2][10][11] - 国内半导体薄膜沉积设备市场竞争激烈 拓荆科技占12%份额 北方华创占10% 微导纳米占2% 中微公司占1%[9] - 面临锂电 半导体和光伏三大下游行业正向催化因素 包括长城三期项目开启新一轮半导体设备招标 光伏领域反内卷现象[18] **合作与股权结构** - 与先导智能同属王燕青家族控制 王燕青家族持股56% 联合创始人李伟明博士持股9%[7][17] - 在光伏领域已有合作经验 共同承接整线TOPCon订单 微导负责镀膜设备 先导负责自动化设备 可借助先导智能客户渠道优势实现客户资源复用[4][17] - 后续在锂电池领域拓展与先导智能密切相关 有望加快锂电池ALD设备市场发展[7][8] **未来发展方向** - 逐步转型为纯粹的半导体设备公司 并计划拓展锂电池ALD设备市场[2][6] - 在XBC和钙钛矿电池技术方面拥有强大技术储备 有望受益于新型电池技术发展[2][5][9] - 长期愿景是成为全球领先的薄膜沉积设备公司 将ALD技术拓展至锂电 新型显示 MEMS 催化和光学等不同领域[21] - 采用先攻坚克难再一马平川的策略 先攻克最难的工艺如28纳米及以下先进制程的ALD工艺 HiK 硬掩膜及折硅等高难度工艺 再拓展到市场更大的CVD工艺和通用膜层材料[20] 其他重要内容 - 预计2026年估值约为46倍 2025年新签订单预计超过15亿元 半导体业务估值约200亿元 光伏业务约50亿元 固态电池前景好但收入利润未确定[22] - 创始人黎微明博士曾在荷兰先进半导体AISAM等全球领先公司担任技术骨干 具备深厚半导体技术基础 能够快速转型并在细分领域取得高市场份额[19]

公司业绩与订单增长 - 半导体设备公司迎来业绩大爆发，受自主可控和AI驱动先进制程两大需求拉动 [2] - 微导纳米上半年新增半导体设备订单已超去年全年水平 [2] - 截至6月30日，半导体领域在手订单达23.28亿元，较年初增长54.72% [2] 技术发展与业务转型 - 公司2015年底成立，初衷是攻克12寸晶圆设备国产化难题 [2] - 因当时国内半导体产业链不成熟，转向光伏行业，利用ALD技术提升光伏电池转换效率 [2] - 公司持续推动光伏行业技术转型，包括高效电池、TOPCon、BC电池及未来趋势电池 [3] - 在光伏领域发展期间，公司用自有资金投入半导体设备研发，半导体业务发展突飞猛进 [3] 半导体设备国产化挑战 - 下游许多环节尚未采用最前沿技术节点，需与客户现有产线标准和生态高度兼容 [4] - 客户对设备一致性和稳定性要求严格，需实现无缝替代 [4] - 在半导体存储某些领域已实现并跑甚至领跑，面临蓝海机遇，可与客户共同挑战新技术、材料和工艺 [5] 地区产业生态建议 - 无锡政府大力支持半导体行业，具备雄厚经济体量、技术积淀和完整产业链 [5] - 建议培育一批专注于半导体关键零部件和材料的中小企业，形成集群效应，强化本地供应链 [5] - 建议构建开放支撑平台，集检测、分析、制造验证功能为一体，降低企业成本，推动工艺与材料技术协同突破 [5]

股价表现 - 9月8日收盘价46.09元 涨停收盘 换手率20.60% 振幅18.88% 成交额8.86亿元[2] - 因日收盘价涨幅达15%登上科创板龙虎榜[2] 资金流向 - 全天主力资金净流入1.20亿元[3] - 龙虎榜前五大营业部合计成交2.14亿元 其中买入1.26亿元 卖出8793.82万元 净买入3767.16万元[2] - 沪股通专用席位买入5717.92万元 同时卖出4023.80万元 净买入1694.12万元[2] 席位交易明细 - 买入前五席位包括开源证券西安西大街营业部(2724.92万元) 长江证券安徽分公司(1510.20万元) 中泰证券哈尔滨自贸区营业部(1449.72万元) 浙商证券杭州杭大路营业部(1158.22万元)[3] - 卖出前五席位包括中国银河证券郑州如意东路营业部(2308.58万元) 申万宏源无锡分公司(948.53万元) 国泰海通北京知春路营业部(836.51万元) 国泰海通总部(676.40万元)[3]