投资评级 - 维持"买入"评级 [4] 核心观点 - 公司1H25营收同比增长43.88%至49.61亿元，归母净利润同比增长36.62%至7.06亿元 [2] - 2Q25单季度收入同比增长51.26%至27.87亿元，归母净利润同比增长46.82%至3.93亿元 [2] - 研发投入同比大幅增长53.70%至14.92亿元，占营收比重达30.07% [2] - 刻蚀设备业务营收37.81亿元（同比+40.12%），LPCVD设备营收1.99亿元（同比+608.19%） [3] - 预计25-27年营收118/152/198亿元，归母净利润22/31/42亿元，对应P/E为64/45/33倍 [4] 财务表现 - 1H25营收49.61亿元（同比+43.88%），归母净利润7.06亿元（同比+36.62%） [2] - 2Q25营收27.87亿元（环比+28.25%），归母净利润3.93亿元（环比+25.47%） [2] - 2025E预测营收118亿元（同比+30%），归母净利润22亿元（同比+36%） [4][9] - 2026E预测营收152亿元（同比+29%），归母净利润31亿元（同比+42%） [4][9] - 2027E预测营收198亿元（同比+30%），归母净利润42亿元（同比+35%） [4][9] 业务进展 - 等离子体刻蚀设备已应用于65纳米至5纳米先进集成电路产线及先进封装产线 [2] - MOCVD设备在行业领先客户产线大规模量产，成为全球头部氮化镓基LED设备制造商 [2] - LPCVD/ALD薄膜设备获大批量重复订单 [2] - 高端刻蚀产品在先进逻辑/存储器件关键工艺实现大规模量产 [3] - 通过子公司"超微公司"布局量检测设备领域，初步形成平台型设备公司架构 [3] 研发与创新 - 在研项目涵盖六类设备，包括多个关键制程工艺核心设备开发 [2] - 研发费用率持续提升，2024年达15.6%，2025E预计为15.5% [9][11] - 半导体工艺节点持续缩小推动量检测设备向更高精度发展 [3] 市场地位 - 刻蚀和薄膜设备市场重要性持续提升，为公司提供强劲增长动力 [3] - 在先进逻辑器件和先进存储器件多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [3]