投资评级 - 维持"买入"评级 [4] 核心观点 - 公司1H25营收同比增长43.88%至49.61亿元，归母净利润同比增长36.62%至7.06亿元 [2] - 2Q25单季度收入同比增长51.26%至27.87亿元，归母净利润同比增长46.82%至3.93亿元 [2] - 研发投入同比大幅增长53.70%至14.92亿元，占营收比重达30.07% [2] - 刻蚀设备业务营收37.81亿元（同比+40.12%），LPCVD设备营收1.99亿元（同比+608.19%） [3] - 预计25-27年营收118/152/198亿元，归母净利润22/31/42亿元，对应P/E为64/45/33倍 [4] 财务表现 - 1H25营收49.61亿元（同比+43.88%），归母净利润7.06亿元（同比+36.62%） [2] - 2Q25营收27.87亿元（环比+28.25%），归母净利润3.93亿元（环比+25.47%） [2] - 2025E预测营收118亿元（同比+30%），归母净利润22亿元（同比+36%） [4][9] - 2026E预测营收152亿元（同比+29%），归母净利润31亿元（同比+42%） [4][9] - 2027E预测营收198亿元（同比+30%），归母净利润42亿元（同比+35%） [4][9] 业务进展 - 等离子体刻蚀设备已应用于65纳米至5纳米先进集成电路产线及先进封装产线 [2] - MOCVD设备在行业领先客户产线大规模量产，成为全球头部氮化镓基LED设备制造商 [2] - LPCVD/ALD薄膜设备获大批量重复订单 [2] - 高端刻蚀产品在先进逻辑/存储器件关键工艺实现大规模量产 [3] - 通过子公司"超微公司"布局量检测设备领域，初步形成平台型设备公司架构 [3] 研发与创新 - 在研项目涵盖六类设备，包括多个关键制程工艺核心设备开发 [2] - 研发费用率持续提升，2024年达15.6%，2025E预计为15.5% [9][11] - 半导体工艺节点持续缩小推动量检测设备向更高精度发展 [3] 市场地位 - 刻蚀和薄膜设备市场重要性持续提升，为公司提供强劲增长动力 [3] - 在先进逻辑器件和先进存储器件多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [3]

财务表现 - 2025年上半年营业收入49.61亿元，同比增长43.88% [1] - 归母净利润7.06亿元，同比增长36.62% [1] - 研发投入14.92亿元，同比增长53.7%，占营业收入比重超30% [1] 研发与技术进展 - 新产品开发周期从三年至五年缩短至两年或更短时间 [1] - 在研项目覆盖六类设备 [1] - 等离子体刻蚀设备已应用在65纳米至5纳米及其他先进集成电路加工制造及先进封装生产线 [1] - MOCVD设备在行业领先客户生产线上大规模投入量产 [1] - 新开发LPCVD和ALD薄膜设备已有多款产品进入市场并获得大批量重复性订单 [1] 战略规划 - 积极考虑投资和并购以整合产业链上下游和相关资源 [1] - 预计未来五年到十年覆盖集成电路关键领域超过60%的设备市场 [1]

经营业绩 - 2025年上半年预计实现营业收入接近50亿元，同比增长超过40% [1] - 归母净利润预计超过6.8亿元，同比增速超过30% [1] - 二季度营业收入约为27.87亿元，同比增长约51.26% [3] - 一季度营业收入为21.73亿元，同比增长35.40% [4] - 上半年刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81亿元，占营业收入76.21% [6] - LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99亿元 [6] - 2025年上半年归母净利润预计为6.80亿元到7.30亿元，同比增长31.61%到41.28% [6] - 扣非净利润预计为5.10亿元到5.60亿元，同比增长5.54%到15.89% [6] 研发投入 - 2025年上半年研发投入约14.92亿元，同比增长约53.70%，占营业收入比重约30% [1][12] - 2024年研发投入约24.52亿元，同比增长约94.31%，占营业收入比例约27.05% [12] - 截至2024年底研发人员数量为1190人，占员工总数47.98% [2] - 新产品研发速度显著加快，开发周期从三到五年缩短至两年或更短 [12] - 目前在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发 [13] 产品与技术 - 刻蚀设备应用于全球先进的5纳米及以下集成电路加工制造生产线 [11] - CCP刻蚀设备在海外先进5纳米芯片生产线及下一代更先进生产线上实现批量销售，超过300台反应台在生产线运转 [11] - 2024年CCP和ICP刻蚀设备销售增长和国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升 [12] - 近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备已获得重复性订单 [12] 行业背景 - 半导体设备是集成电路和泛半导体微观器件产业的基石 [10] - 半导体设备市场主要由欧美、日本等国家的企业占据 [10] - 近年来我国半导体设备行业整体水平不断提高 [10] - 全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，海外少数几家公司占据主要市场份额 [11]

公司概况 - 公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，产品包括刻蚀设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备等，应用于集成电路制造、先进封装、LED外延片生产等领域[3] - 2024年营业收入达90.65亿元，同比增长44.73%[25] - 公司总股本622,363,735股，拟每10股派发现金红利3元（含税），合计派发186,080,238.60元[7] 主要业务与技术 - 等离子体刻蚀设备已应用于5纳米及以下集成电路生产线，CCP刻蚀设备在全球先进生产线实现批量销售[13] - MOCVD设备在氮化镓基LED市场占有率领先，并布局Micro-LED和功率器件领域[14] - 新开发的LPCVD薄膜设备累计出货突破150个反应台，2024年获4.76亿元批量订单[14] - 通过子公司布局量检测设备领域，引入国际顶尖专家团队[15] 行业发展趋势 - 刻蚀设备占晶圆制造设备价值量约22%，薄膜沉积设备占23%[9] - 3D NAND闪存向200层以上发展，对刻蚀技术提出更高深宽比要求[19] - 氮化镓功率器件市场规模预计从2023年2.6亿美元增长至2029年20.1亿美元，CAGR达41%[11] - 碳化硅功率器件市场规模预计2029年达104亿美元，CAGR超25%[12] 研发与生产模式 - 研发采取矩阵管理模式，不同产品团队独立运作机械设计和工艺开发，共享电气工程等支持资源[5] - 生产以订单式为主，结合少量库存式生产，实现定制化需求和快速响应[6] - 采购执行严格供应商审核制度，与全球供应商建立长期合作关系[5] 市场地位 - 在刻蚀设备领域，公司产品应用于全球最先进的5纳米生产线，CCP和ICP设备市占率大幅提升[13] - MOCVD设备自2017年起成为氮化镓基LED市场份额最大的供应商[14] - 子公司超微公司引入国际顶尖电子束检测设备专家团队，布局量检测设备[15] 财务与资本运作 - 2024年使用不超过550,000万元闲置募集资金进行现金管理[118] - 2021年向特定对象发行股票募集资金净额81.18亿元[115] - 作废处理2022年和2024年限制性股票激励计划部分股票共计106.7578万股[89]