高数值孔径EUV技术
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英特尔1.8nm,成为救世主?
半导体芯闻· 2026-01-27 18:19
英特尔18A工艺CPU获得积极评价 - 英特尔采用其首款1.8纳米(18A)工艺制造的中央处理器(CPU)获得积极评价,提升了市场对其半导体制造能力的信心,并可能有助于争取代工客户 [1] - 搭载该下一代处理器“酷睿Ultra系列3”(代号“Panther Lake”)的笔记本电脑正在陆续发布,三星电子表示该处理器显著提升了能效和处理性能 [1] IDM 2.0战略与市场影响 - 自2021年以来,英特尔一直在推行IDM 2.0战略,旨在加强内部制造能力并在代工业务方面取得成功,以重夺昔日IDM地位 [1] - 在美国政府大力资助旨在扩大国内半导体供应链的背景下,这一战略正在逐步实现 [1] - 一些分析师认为,此次战略对市场的影响可能更多地集中在三星电子而非目前的代工领军企业台积电身上 [1] Panther Lake处理器性能表现 - IT媒体对“Core Ultra Series 3”中的高端型号(X9 388H)的性能给予及格评价,称其为“多年来最大的成功”和“一次惊人的回归”,标志着英特尔的复兴 [2] - Panther Lake的单核性能得分为3,009,低于苹果的M5(4,208),但高于AMD的Streak Halo(2,986) [2] - 在多核性能方面,其得分为17,268,与M5的17,948相当 [2] - 在集成显卡性能方面,其得分为56,839,高于M5的49,059,但低于Streak Halo的80,819 [2] 18A工艺的战略意义与市场前景 - 分析师指出,不应仅仅将Panther Lake视为首款18A产品来评估,而应将其视为吸引未来代工客户的路线图的一部分,其性能足以让人们对该工艺抱有期待 [3] - 虽然去年3nm以下工艺仅占代工市场的5%至8%,但预计到2029年这一比例将增长至45%至47% [3] - Panther Lake有望在英特尔重夺先进工艺领导地位的战略中发挥重要作用 [3] 英特尔制造技术实力与未来规划 - 业界密切关注英特尔如何在未使用ASML下一代极紫外(高数值孔径EUV)光刻技术的情况下,在其18A工艺中实现高性能CPU,这展现了其卓越的制造实力 [3] - 英特尔计划于2027年开始使用高数值孔径EUV技术试生产其1.4纳米(14A)工艺,目标是比三星提前两年进入市场,比台积电提前六个月到一年 [3] 18A工艺良率与竞争态势 - 此前备受关注的18A工艺良率已显著提升,美国投资银行KeyBanc Capital Markets估计英特尔18A工艺的良率约为60% [4] - 市场研究公司消息人士表示,英特尔的1.8纳米工艺良率仍低于台积电的80%,但对三星的代工业务构成了更大的威胁 [4] - 如果能获得美国政府的直接支持和税收优惠,英特尔有望在价格竞争中占据优势 [4]
EUV光刻,美国实力不容小觑
半导体芯闻· 2025-07-17 18:32
EUV光刻技术全球竞争格局 - ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商 在先进芯片制造领域占据主导地位[1] - 美国通过Cymer公司提供EUV关键光源技术 并在CHIPS for America计划下投资100亿美元建立High NA EUV研发中心[2][3] - 纽约州政府投资10亿美元扩建奥尔巴尼纳米技术中心 购买ASML的EXE:5200设备并建造5万平方英尺洁净室[5] 美国EUV加速器项目 - 项目将提供标准NA EUV工具 预计2026年实现High NA EUV系统[6] - 建立行业-学术-政府合作平台 推动技术创新和人才培养[6] - 目标是通过开放研发环境缩短原型开发周期 降低50%以上成本[7] EUV替代技术探索 - 美国xLight公司开发自由电子激光器(FEL)技术 声称可提升光源功率至2kW 比现有LPP技术节能70%[8][9] - Inversion Semiconductor研发桌面级粒子加速器 可将设备体积缩小1000倍 晶体管密度提升100%[11][12] - 挪威Lace Lithography开发原子光刻技术 声称分辨率比EUV提升15年水平 获欧盟336万欧元资助[15] 日欧技术路线 - 日本KEK研发自由电子激光系统 电光转换效率比传统EUV高10-100倍[16][18] - 欧洲FabouLACE项目开发亚稳态原子光刻技术 目标实现2nm工艺 预算365万欧元[15] - 各技术路线均聚焦提升光刻分辨率 降低能耗 预计2031年前实现商业化[15][16]
美国发力EUV光刻
半导体行业观察· 2025-07-16 08:53
EUV光刻技术现状与竞争格局 - ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商,主导7纳米以上晶体管量产技术 [1] - 美国通过Cymer公司(被ASML收购)掌握EUV光源关键技术,Intel等企业加大EUV研发投入 [2] 美国EUV加速器项目 - 纽约州联合IBM、美光等企业投资100亿美元建立High NA EUV研发中心,含ASML EXE:5200扫描仪和5万平方英尺洁净室 [4][6] - 项目目标包括缩短研发周期、降低原型成本、培养半导体人才,预计2026年提供High NA EUV技术 [7] EUV替代技术探索 - 美国xLight公司开发自由电子激光器(FEL),声称可兼容现有设备并降低1.5MW高能耗问题,目标2028年商业化 [9][10] - Inversion Semiconductor采用Laser Wakefield Acceleration技术,将加速器体积缩小1000倍至桌面级,晶体管密度提升100% [12][13][14] 日欧技术进展 - 挪威Lace Lithography开发原子光刻技术(BEUV),分辨率超越EUV极限,获欧盟336万欧元资助,目标2031年商用化 [16] - 日本KEK研发自由电子激光器,电光转换效率比传统EUV-LPP高10-100倍 [17][19] 技术发展趋势 - ASML持续推进High NA向Hyper NA演进,同时封装技术可能成为性能提升的替代路径 [21][22] - 全球多路径探索显示EUV技术仍存物理极限挑战,但芯片性能持续提升趋势明确 [21][22]
下一代光刻机,台积电观望
半导体行业观察· 2025-04-29 09:11
台积电A14工艺技术路线调整 - 台积电决定在A14工艺中放弃使用高数值孔径(High NA) EUV光刻设备,转而采用传统0.33数值孔径EUV技术[2] - 该决策主要基于成本考量,High NA设备成本比传统EUV方法高出2.5倍,将大幅提高A14节点生产成本[2] - 公司计划通过多重曝光技术保持设计复杂度,避免High NA EUV的极高精度需求以降低生产成本[2] - A14芯片生产计划于2028年开始,公司表示从2纳米到A14工艺无需使用High NA技术[2] - 台积电可能在后续A14P节点采用High NA EUV技术[2] 行业技术竞争格局 - 英特尔代工厂将在18A工艺中使用High NA EUV技术,预计最早明年推出,比台积电A14P节点早约4年[2] - 几家DRAM制造商也在采用High NA EUV技术,目前在技术采用上比台积电更具优势[2] - 台积电在采用最新光刻工具方面将落后竞争对手至少四年[2] ASML光刻系统进展 - ASML已交付第五台EXE:5000 High NA系统,第二季度开始交付EXE:5200型号[5] - 客户目前处于研发阶段,预计2026-2027年试生产,随后在先进节点关键层量产[5] - 低数值孔径NXE:3800E系统全面出货,每小时产能220片晶圆,比前代提升30%[5] - 低数值孔径EUV系统平均售价为2.27亿欧元(2.588亿美元)[5] 技术应用效果 - 英特尔使用High NA EUV在一个季度内曝光超过3万片晶圆,单层工艺步骤从40步减少到10步以下[5] - 三星报告显示High NA EUV在某个用例中使周期时间缩短60%[5] - 低数值孔径EUV系统成熟度已支持先进逻辑和内存节点的大批量生产[5]