公司核心业务与产品矩阵 - 公司主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵 自研产品包括等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）、等离子体激发装置（远程等离子体源、射频离子源）、等离子体直流电源、配件（滤波器、阻抗调整器等）[1] - 公司引进产品主要包括真空获得和流体控制分别所需的真空泵、质量流量计等核心零部件 同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务[1] - 公司已构建了完善的技术体系 从测量、控制到架构形成了3大基石技术及8大产品化支撑技术 涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术[1] 产品技术迭代与市场地位 - 历经十年 公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列 成功打破了美系两大巨头长达数十年在国内的垄断格局[1] - 公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程 第三代产品Aspen系列可支撑先进制程 达到国际先进水平 填补国内空白[1] - 公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品 锚定更先进制程前沿领域 目前处于验证阶段[1]

公司发展历程与关键节点 - 公司于2013年创立，从深圳一间不足100平方米的办公室起步，初始团队仅5名员工，创业方向定为等离子体射频电源系统[2] - 2015年，公司第一代1KW工业级射频电源问世，但在客户端测试中性能仍有短板[3] - 2018年，公司与国内薄膜沉积设备龙头拓荆科技展开首次合作，为其PECVD设备定制开发射频电源系统，专项团队进行了近三年的高强度开发和测试迭代[4] - 2020年底，公司的等离子体射频电源系统产品正式通过拓荆科技验证并获得首批批量订单，此订单被视为公司命运的转折点[4][5] - 2021年，公司向中芯国际交付的产品，实现了刻蚀设备用射频电源的首次国产原位替换[5] - 2024年1月28日，公司在科创板挂牌上市[1] 公司经营与财务表现 - 2022年至2024年，公司营收从1.58亿元增至5.41亿元，净利润从2618万元增至1.42亿元[6] - 2022年至2024年，公司营收及净利润的复合增长率分别高达84.91%和131.87%[6] - 2022年至2024年，公司产能利用率连续超过100%[6] - 2024年，公司在中国半导体行业等离子体射频电源系统的国产厂商中，市场份额位列第一[5] 产品与技术进展 - 等离子体射频电源系统是半导体制程中薄膜沉积、刻蚀等核心工艺控制的“心脏”[2] - 公司产品线从CSL系列，迭代至可支撑28纳米制程的Bestda系列，再到突破7纳米至14纳米先进制程的Aspen系列[5] - 目前，公司第三代Aspen系列产品在调谐时间、功率精度等关键指标上已能比肩国际龙头的次新一代产品，部分关键指标已达到与海外龙头企业次新一代产品同等技术水平[5][6] - 公司已启动针对5纳米及以下制程的第四代产品研发，旨在实现与国际最先进产品的“并跑”[6] 客户与市场拓展 - 获得拓荆科技的首个批量订单后，中微公司、北方华创、盛美上海等国内主要半导体设备商相继成为公司客户[5] - 随着行业认可度提升，公司产品的客户验证周期已缩短至一年之内[5] - 公司计划利用IPO募资拓展产品线，并向光伏、显示面板等更广阔的应用领域进军[6] 行业背景与公司战略 - 2013年创业时，中国半导体产业处于萌芽阶段，国产半导体零部件装备在晶圆厂中几乎没有一席之地，国内晶圆厂装备清一色来自国外[2] - 公司的创立源于解决国内半导体产业被“卡脖子”困境的决心，目标是实现自主可控[1][2] - 公司的愿景是成为一家围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司[1] - 公司通过坚守从研发、生产到售后的严格全流程管控体系来保证半导体级产品品质[5] - 公司登陆科创板募资主要用于沈阳产业化基地、深圳智能化生产基地及研发中心建设，以解决产能瓶颈并加强研发[6] - 公司的长期目标是从实现自主可控到持续与国际巨头同台竞技，在全球半导体产业链中占据一席之地[6]

公司IPO进展 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO申请已于2025年11月14日获上海证券交易所上市审核委员会审核通过 [1] 公司业务与技术定位 - 公司是围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司 [2] - 公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平 [2] - 公司已开始研发新一代等离子体射频电源系统Cedar系列，该系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，可支撑5纳米及以下先进制程，预计于2025年四季度推出样机 [5] 公司财务与研发表现 - 公司2022-2024年扣非后归母净利润从1961.17万元增至1.29亿元 [2] - 2022年至2025年6月，公司研发投入累计达1.57亿元，并承接了3项国家级重大专项课题 [2] - 公司产能利用率连续三年超过100%，分别达到121.34%、102.12%和111.24% [7] 募投项目规划 - 本次IPO募集资金主要用于五大项目：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目以及补充流动资金 [4] - 沈阳项目旨在提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力，并扩展公司在北方地区的业务服务范围与客户覆盖深度 [4] - 智能化生产运营基地项目将通过购置智能化软硬件设备、建设自动化立体仓库及信息化业务管理平台，提升等离子体射频电源系统等产品的生产规模、效率及公司信息化管理能力 [5] - 研发与前沿技术创新中心项目将致力于包括信号采样、相位锁定等八大核心技术的超前研究 [5] - 营销及技术支持中心项目计划在长三角、珠三角、京津冀、中西部等关键区域建立中心，以直接获取终端晶圆厂技术反馈，提供定制化服务并扩大市场份额 [6] 行业与政策背景 - 自2025年7月起，上交所科创板对硬科技企业，特别是半导体产业链中填补国内空白的企业，审核明显提速 [2] - 多家半导体产业链企业近期快速过会，例如摩尔线程从受理至注册仅历时四个月，沐曦集成电路于10月过会并于11月获注册批文，强一半导体于11月12日过会 [2] - 科创板“服务新质生产力”的制度优化，正通过资本市场资源配置功能加速国产半导体产业链的自主可控进程 [3] - 随着半导体产业链国产化替代加速，公司募投项目将帮助其突破产能瓶颈，提升技术水平，巩固在半导体核心零部件领域的领先地位 [7]