人员数据 - 2024年12月31日普华永道中天合伙人数229人，注册会计师1150人，自2013年起签过证券服务业务审计报告的287人[3] 业绩数据 - 普华永道中天2023年度收入总额71.37亿元，审计业务收入66.02亿元，证券业务收入31.15亿元[3] - 2023年度A股上市公司财务报表审计客户107家，收费5.45亿元，制造业A股上市公司审计客户55家[3] 公司决策 - 2024年3月18日公司审议通过续聘普华永道中天为2024年度审计机构[3][4][5] 审计沟通 - 2025年1月14日审计委员会进行审计计划阶段沟通[5] - 2025年4月15日审计委员会进行审计完成阶段沟通[6] - 2025年4月17日审计委员会会议审议通过议案并同意提交董事会[6]

中微半导体设备（上海）股份有限公司 2025 年度"提质增效重回报"行动方案 为践行以"投资者为本"的上市公司发展理念，维护公司全体股东利益，基 于对公司未来发展前景的信心及价值的认可，中微半导体设备（上海）股份有限 公司（以下简称"公司"）在总结 2024 年度行动方案的基础上制定了 2025 年度 提质增效重回报行动方案，以进一步提升公司经营效率，强化市场竞争力，保障 投资者权益，树立良好的资本市场形象。主要措施包括： 一、专注公司核心业务，突破创新提升竞争力，以良好的业绩成长回报投资 者 半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关 键，中微公司自 2004 年成立以来，一直致力于开发和提供先进的微观加工所需 的高端关键设备，是典型的新质生产力代表。凭借创新的研发团队和深厚的客户 关系，公司聚焦布局核心设备，关键技术不断突破创新，并快速扩增产品线及扩 大产品在国内领先客户的市场占有率。公司主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜沉 积设备是除光刻机以外，非常重要的、也是市场空间广阔的关键设备。公司在过 去的近 20 年着力开发了一个完整系列的 15 种等离子体刻蚀设备，并积累了大量 的芯片生 ...

审计机构评估 - 2024年公司评估普华永道中天资质合规有效，履职独立勤勉[1] - 2024年续聘普华永道中天为年度审计机构[3][4] 审计机构数据 - 截至2024年12月31日，普华永道中天合伙人数229人，注会1150人，签过审计报告注会287人[2] - 普华永道中天2023年度收入71.37亿，审计业务66.02亿，证券业务31.15亿[2] - 2023年普华永道中天A股财报审计客户107家，收费5.45亿，制造业客户55家[2] 审计机构优势 - 2024年审计中普华永道中天项目质量管理措施有效执行[7] - 普华永道中天配备专属团队，项目负责合伙人资深[9] - 普华永道中天有信息安全制度，保密措施有效[10] - 普华永道中天职业保险与风险基金超2亿，近3年无民事责任[11]

募集资金情况 - 2019年首次公开发行股票53,486,224股，每股29.01元，实际募集资金净额144,570.28万元[1] - 2020年度向特定对象发行A股股票80,229,335股，每股102.29元，实际募集资金净额811,816.24万元[2] - 截至2024年12月31日，首发募集资金专户余额20.28万元[3] - 截至2024年12月31日，再融资募集资金专户余额38,925.73万元[4] 资金使用与管理 - 2024年公司同意使用不超过550,000万元闲置募集资金进行现金管理，期限12个月[7] - 2024年用18,652.95万元闲置IPO募集资金存上海银行七天通知存款，年化收益率1.35%[9] - 2023 - 2024年用27,000.00万元闲置IPO募集资金存建行结构性存款，年化收益率2.70%[9] 存款收益情况 - 国家开发银行上海市分行一笔七天通知存款金额100,065.11万元，年化收益率2.03%，收益1,322.77万元[10] - 国家开发银行上海市分行另一笔七天通知存款金额130,065.11万元，期限508天，年化收益率2.03%，收益2,584.48万元[10] - 平安银行上海张江支行两笔协定存款金额分别为15,000.00万元和10,000.00万元，年化收益率1.80%，收益分别为101.18万元和67.46万元[10] 募投项目情况 - 首发募集资金总额为144,570.28万元，本年度投入30,077.72万元，累计投入130,061.20万元[23] - 高端半导体设备扩产升级项目承诺投资40,000.00万元，累计投入39,991.03万元，投入进度99.98%[23] - 技术研发中心建设升级项目承诺投资40,000.00万元，累计投入39,992.45万元，投入进度99.98%[23] 股份回购情况 - 截至2024年5月7日，公司完成回购，回购股份2,096,273股，占总股本0.34%，使用超募资金30,077.72万元[24] 再融资项目情况 - 再融资募集资金总额为811,816.24万元，本年度投入245,986.49万元，累计投入505,678.11万元[26] - 中微产业化基地建设项目承诺投资317,000.00万元，本年度投入107,666.37万元，累计投入250,565.85万元，投入进度79.04%[26] - 中微临港总部和研发中心项目承诺投资375,000.00万元，本年度投入104,987.36万元，累计投入221,779.50万元，投入进度59.14%[26]

人事变动 - 2025年4月17日中微公司聘任刘方为副总经理、董事会秘书[1] - 刘方任期至第三届董事会任期届满[1] 人员信息 - 刘方未持股，与主要人员无关联[2] - 刘方履历丰富，有多公司任职经历[5]

审计相关 - 普华永道审计中微公司2024年12月31日财务报告内部控制有效性[4] - 中微公司董事会负责建立健全和有效实施内部控制并评价有效性[5] - 普华永道对财务报告内部控制有效性发表审计意见并披露非财务报告内部控制重大缺陷[6] 审计结果 - 普华永道认为中微公司于2024年12月31日在重大方面保持有效财务报告内部控制[8] 风险提示 - 内部控制有固有局限性，推测未来有效性有风险[7]

业绩总结 - 公司对2024年12月31日内部控制有效性评价，不存在重大缺陷，财务报告内控有效[1][3][4] - 纳入评价范围单位资产总额和营收占比均为100%[7] 未来展望 - 2025年继续落实内控规范和指引，强化意识，优化环境，提升管理水平[18] 其他新策略 - 针对内控一般缺陷采取整改措施，期末正在落实[16]

业绩数据 - 2024年研发总投入24.52亿元，比2023年增加94.31%，占营业收入比例约27%[19] - 2024年实现营业收入约90.65亿元，较2023年增加约28.02亿元，同比增长约44.73%[19] - 过去13年营业收入年均增长大于35%，近四年年均增长大于40%[19] - 2024年人均销售超过400万元，达设备产业国际先进水平[19] - 上海临港新片区18万平米研发和生产基地2024年生产总值约85亿元[19] - 南昌高新区14万平米生产和研发基地2024年生产总值约61亿元[19] 产品研发 - 公司在研项目涵盖六大类，超二十款新设备开发[19] - 双台刻蚀机可节省约30%制造成本[21] - 从传统光源到LED光源转化可节约至少75%照明耗电量[21] - 用于LED外延片大规模量产的MOCVD设备28英寸超大尺寸托盘产量是前一代Prismo D - BLUE的2倍多[95] - 用于深紫外LED外延片量产的MOCVD设备单炉可生长18片2英寸外延晶片[95] - 中微公司首创双反应台刻蚀腔体结构，系统最多可配置三个双反应台的反应腔[106] - 中微高端刻蚀机能在氧化硅和氮化硅叠层结构上刻蚀40:1到60:1甚至更高深宽比的深孔或沟槽[108] - 中微ICP双台机Primo Twin - Star反应台之间刻蚀速度控制最好精度达每分钟0.2A[110] - 用于深紫外LED外延片量产的MOCVD设备工艺温度最高可达1400度[95] - ICP刻蚀设备Primo Nanova VE部分工艺腔体维护周期从500小时延长到1000小时，比市场同类产品延长30%[111] - 新开发的MOCVD产品加热效率提升超5%[118] - 面向Micro - LED应用的MOCVD设备使有机金属使用效率提升超10%[120] - 薄膜沉积设备（CDP）现有产品最多可配置5个反应腔，采用双反应台设计可降低物料成本约20%[128] - Local Scrubber尾气处理环保设备单台处理量约300 SLM[130] - 国内首创工业用大型VOC净化设备单台处理量约40,000 CMH[132] - 环保设备风道设计及整机一体化设计最高可节约电能50%[131] 市场与客户 - 公司在全球氮化镓基LED照明所需MOCVD设备市场市占率达80%以上[21] - 公司与全球约880家供应商开展稳定合作，2024年开展供应商社会责任培训99次[22] - 公司等离子体刻蚀设备应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进集成电路加工制造生产线等[25] - 2024年公司针对设备产品使用状况开展客户满意度问卷调查，发放近百份问卷[151] 企业发展 - 公司10万平米总部大楼年底将在临港滴水湖建成[19] - 公司将在广州增城区及成都高新区建造新的生产和研发基地[19] - 公司子公司中微惠创、中微汇链、芯汇康2024年取得良好进展[19] 荣誉奖项 - 2024年公司获得第二十五届中国专利奖银奖、福布斯中国创新力企业50强、2024中国ESG50等殊荣[24] - 董事长兼总经理尹志尧博士获第十八届中国上市公司价值评选“年度ESG先锋人物奖”等多项荣誉[58] - 南昌中微荣获“绿色贡献10强”[58] 技术应用与管理 - 公司将We - OTD与AI深度融合，构建行业版AI Agent，实现AI在企业业务管理与运营场景深度应用[136] - 公司结合AI与BI技术，支持多种模式整合、分析业务数据并展示[137] - 公司借助AI优化半导体设备研发仿真模型，加快研发进度、降低成本[139] - 公司尝试融合人工智能与数字孪生技术，构建半导体设备研发虚拟仿真工具[140] - 公司制定客户投诉响应升级机制，划分为五级[146] - 公司设立产品安全部门，对半导体设备全生命周期严格把控[154] - 公司全力完善ISO管理体系，强化变更管理，制定应急响应机制，提升绿色发展水平[164] 可持续发展 - 2024年公司整体绿电使用比例达24%，百万营收温室气体排放强度同比下降约26%[21] - 公司董事会设立“ESG委员会”，建立三级ESG管理架构[33] - 公司从产品、环境、社会和治理等方面提出ESG战略规划[31] - 公司每年设定集团层面ESG考核目标，自上而下分解至员工个人，完成度与绩效奖金挂钩[35] - 2024年可持续发展报告引入双重重要性概念，从财务和影响维度判断议题重要程度[38] - 公司识别出的利益相关方包括政府及监管机构、股东、客户等[39] - 初步拟定21个可持续发展议题，最终确定应对气候变化等议题并披露[41] - 公司提出2035年实现自身范围一和范围二碳中和目标[190] - 2021 - 2023年温室气体排放量分别为19,940.52吨、29,452.13吨、31,621.00吨[192] - 2024年已完成范围三中下游运输和配送及员工通勤的温室气体核算[195] - 公司碳中和能源结构中可再生电力占比24%，非可再生电力占比76%[194] - 临港产业化基地雨水净化系统处理能力达800立方米/天[199]

关联交易金额 - 2025年关联交易涉及金额超3000万元且占比达1%以上需股东大会审议[4][5] - 向关联人销售预计小计22700万元，占同类业务2.50%[7] - 向关联人采购预计小计1362万元，占同类业务0.17%[8] - 前次向关联人销售预计21300万元，实际12451万元[10] - 前次向关联人采购预计8100.19万元，实际3903.19万元[10] 具体关联交易 - 向广州增芯预计销售14000万元，占比1.54%[7] - 向上海集成电路创新中心预计销售4000万元，占比0.44%[7] - 向深圳志橙预计销售700万元，占比0.08%[7] - 向深圳志橙预计采购400万元，占比0.05%[7] 公司注册资本 - 上海芯元基注册资本675.0528万元[14] - 上海集成电路研发中心注册资本30060万元[14] - 拓荆科技注册资本18818.8255万元[14] - 睿励科学仪器注册资本84071.5708万元[14] 关联关系说明 - 广州增芯因原董事张亮任职构成关联[15] - 上海集成电路创新中心因监事黄晨任职构成关联[15] 关联交易原则 - 关联交易价格依市场公允价确定[16] - 关联交易遵循公平原则利于业务发展[19]

公司股权结构 - 超微公司增资前注册资本5000万元，中微公司持股51%[4] - 增资后注册资本16000万元，中微公司持股47.2%[4] - 嘉兴湖光同芯企业管理合伙企业吴湘惠和郝相宇各持50%财产份额[16] 增资情况 - 中微公司拟新增认缴注册资本5000万元[5] - 众阖合伙拟新增认缴1312万元，尹志尧新增1000万元[5] - 陈伟文拟认缴35万元，明湖合伙认缴750万元[5] - 湖光合伙认缴750万元，BEAMVISION认缴等值653万元美元[5] 股权激励 - 超微公司以1元/注册资本授予JU JIN对应1500万元注册资本股权[6] 市场数据 - 检测设备市场占半导体前道设备总市场约13%[19] 决策情况 - 2025年4月17日董事会和独立董事会议通过增资议案[36] - 董事会审计委员会认为投资不会造成重大不利影响[36]