掩膜版行业概况 - 掩膜版是半导体工业的"蓝图"和"能力放大器"，技术壁垒高且行业地位关键，是国产半导体链条中亟待补强的核心环节 [2] - 国内龙头公司如清溢光电、路维光电、龙图光罩正从平板显示领域向半导体130nm、90nm乃至28nm等高端节点发起攻坚，新产能落地与技术迭代形成共振 [2] - 掩膜版行业兼具高壁垒、高弹性和强α属性，是半导体材料领域百亿规模国产替代的重要赛道 [2] 掩膜版技术原理与重要性 - 光刻工艺是半导体制造核心流程，包括晶圆制备、图案转移、材质掺杂、沉积、蚀刻、封装等步骤，其中光刻工艺通过涂胶、曝光、显影等流程将细微几何图形结构转移到衬底上 [5][6] - 掩膜版作用是将承载的电路图形通过曝光方式转移到硅晶圆等基体材料上，实现集成电路批量化生产，其功能类似于传统相机的"底片"，品质直接关系到最终产品质量与良率 [8][11] - 半导体器件通过生产工艺一层层累计叠加形成，芯片设计版图通常由十几层到数十层图案组成，每层掩膜版图案需通过多次光刻工艺精准转移到晶圆上 [11] 光刻技术发展对掩膜版的影响 - 为制造更小线宽的高端集成电路，光刻技术经历重大革新，分辨率提高和产率提升成为光刻机演进主线，瑞利判据(CD = k1·λ/NA)是重要理论依据 [16][17] - 光源波长从g-line发展到DUV(249nm和193nm)和EUV(13.5nm)，当芯片关键尺寸小于光源波长时，掩膜版复杂度大幅提升 [18][20] - 光刻方式根据曝光方式分为接触式、接近式和投影式三类，平板显示产品多用接近式光刻(1:1复制)，半导体产品多用投影式光刻(4:1或5:1复制) [21][22] 掩膜版技术演进与挑战 - 掩膜版研发是不断探索光学物理极限的过程，需要解决光的干涉与衍射现象，随着线宽和线缝接近光波长，会出现夫琅禾费衍射导致图形边缘失真和CD精度下降 [23][27] - 光刻增强技术(RET)是掩膜版向前演进的核心技术，包括离轴照明(OAI)、光学邻近校正(OPC)、移相掩模(PSM)等方法，大多数RET都对掩模形状和相位进行改动 [28][32] - 计算光刻技术在90nm以下节点变得必要，包括光学邻近效应修正(OPC)、光源-掩膜协同优化(SMO)、多重图形技术(MPT)和反演光刻技术(ILT) [31][33] 掩膜版市场规模与格局 - 掩膜版占半导体材料市场规模约12%，是前三大细分材料之一，仅次于硅片和电子特气 [60][63] - 2024年全球半导体材料市场规模达675亿美元，其中晶圆制造材料429亿美元(同比增长3.3%)，封装材料246亿美元(同比增长4.7%) [65][69] - 预计2025年全球半导体掩膜版市场规模89.4亿美元，其中国内市场规模约187亿元人民币，晶圆制造用掩膜版占100亿元 [66][68] 市场竞争与国产化现状 - 全球半导体掩膜版市场晶圆厂自配套占比65%，独立第三方占比35%，其中美国Photronics、日本Toppan和DNP控制八成以上市场份额 [70][71] - 国产半导体掩膜版厂商包括中芯国际光罩厂、迪思微、中微掩模、龙图光罩、清溢光电、路维光电等，目前整体营收规模较低，国产渗透率很低 [72] - 2024年清溢光电半导体芯片掩膜版营收1.93亿元(同比增长33.98%)，路维光电半导体业务收入规模较小，龙图光罩营收2.47亿元 [73][109] 下游应用驱动因素 - 半导体芯片产能向中国大陆转移，2024年中国大陆晶圆月产能达860万片(年增速13%)，全球占比42%，直接拉动光刻机、光刻胶、光掩膜等需求 [79][80] - 先进封装需求推动掩膜版用量提升，传统封装需2-3张掩膜版，先进封装需5-10张，2025年全球先进封装市场规模达569亿美元(占封装市场50%) [81][82] - OLED显示技术在小尺寸终端渗透率快速提升，2024年OLED面板在中小尺寸显示市场营收占比超50%，AMOLED/LTPS制造商继续扩大投资 [84][87] 技术壁垒与供应链 - 掩膜版生产涉及CAM、光刻、检测三个主要环节，包括版图处理、图形补偿、曝光、显影、刻蚀等复杂工艺，对补偿算法、制程能力、精度水平要求严格 [88][89] - 掩膜版成本结构中直接材料占比67.35%，其中石英基板占原材料采购额80.07%，是主要成本构成 [103][105] - 电子束光刻机主要供应商为瑞典Mycronic和德国海德堡仪器，高端掩膜版需要更先进设备和材料配套 [98][106] 重点公司进展 - 清溢光电2024年平板显示掩膜版营收8.59亿元(同比增长17.59%)，其中AMOLED/LTPS营收3.61亿元(同比增长21.75%)，近期完成12亿元定增用于高精度和高端半导体掩膜版项目 [109][111] - 路维光电投资建设路芯半导体130-28nm半导体掩膜版项目，总投资规划20亿元，一期计划投资14-16亿元，2024年第四季度开始搬入设备 [73][114] - 龙图光罩珠海项目2025年上半年投产，年规划产能1.8万片(预计产值5.4亿元)，90nm节点PSM产品已完成量产跨越，65nm产品开始送样验证 [73][117]

行业地位与市场格局 - 中国大陆是全球最大的面板生产制造基地和研发应用中心 其平板显示产能超过全球产能的60% [1][2] - 掩膜版作为上游核心材料 目前被美国和日韩厂商垄断 国内厂商清溢光电和路维光电处于持续追赶阶段 [1][2] 掩膜版产业价值 - 掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版 是平板显示、半导体、触控、电路板等行业生产制造的关键材料 [1] - 掩膜版精度和质量水平直接影响下游制品的优品率 2019年半导体晶圆制造材料市场中掩膜版成本占比约13% 仅次于硅片 [1] 国内市场空间 - 预计2025年国内半导体掩膜版市场规模约为187亿元人民币 其中晶圆制造用掩膜版达100亿元 封装用26亿元 其他器件用61亿元 [3] - 国内掩膜版厂商营收体量整体较低 正处于技术升级和高端产能释放阶段 半导体掩膜版渗透率处于从1到N的提升过程 [3] 投资标的 - 重点推荐清溢光电(688138 SH) 建议关注路维光电(688401 SH)和龙图光罩(688721 SH) [1]

核心观点 - 掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版 是平板显示 半导体 触控 电路板等行业生产制造过程中重要的关键材料 其精度和质量水平直接影响下游制品的优品率 [2] - 中国大陆平板显示产能超过全球产能的60% 但掩膜版仍由美国和日韩厂商垄断 国内清溢光电 路维光电处于不断追赶渗透率持续提升的过程 [1][2] - 预计2025年国内半导体掩膜版市场规模约为187亿元人民币 其中晶圆制造用掩膜版预计为100亿元人民币 封装用掩膜版预计为26亿元人民币 其他器件用掩膜版为61亿元人民币 [3] - 国内厂商掩膜版营收体量相对较低 各厂商正处于技术持续升级 新高端产能即将陆续释放 半导体掩膜版渗透率由1走向N的阶段 [3] 掩膜版行业地位 - 掩膜版是光刻复制图形的基准和蓝本 连接工业设计和工艺制造的关键 [2] - 2019年半导体晶圆制造材料市场规模达322亿美元 掩膜版成本占比约13% 仅次于硅片 [2] 平板显示领域 - 中国大陆作为全球最大的面板生产制造基地和研发应用中心 平板显示产能超过全球产能的60% [1][2] - 上游掩膜版材料目前仍由美国和日韩厂商垄断 [1][2] 半导体领域市场规模 - 2025年国内半导体掩膜版市场规模预计约为187亿元人民币 [3] - 晶圆制造用掩膜版预计为100亿元人民币 [3] - 封装用掩膜版预计为26亿元人民币 [3] - 其他器件用掩膜版预计为61亿元人民币 [3] 国内厂商发展现状 - 国内清溢光电 路维光电处于不断追赶渗透率持续提升的过程 [1][2] - 国内厂商掩膜版营收体量整体相对较低 [3] - 各厂商正处于技术持续升级 新高端产能即将陆续释放的阶段 [3] - 半导体掩膜版渗透率正处于由1走向N的发展阶段 [3]

行业投资评级 - 领先大市（维持）[1] 核心观点 - 掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版，是平板显示、半导体、触控、电路板等行业生产制造过程中重要的关键材料，其精度和质量水平直接影响最终下游制品的优品率[3] - 2019年半导体晶圆制造材料市场规模达322亿美元，其中掩膜版占比约13%[3] - 中国大陆平板显示产能超过全球60%，但掩膜版仍被美国和日韩厂商垄断，国内清溢光电、路维光电处于追赶阶段[3] - 预计2025年国内半导体掩膜版市场规模约为187亿人民币，其中晶圆制造用掩膜版预计为100亿元人民币[3] - 国内厂商掩膜版营收体量相对较低，正处于技术升级、新产能释放、渗透率提升阶段[3] 掩膜版技术壁垒 - 掩膜版生产涉及CAM、光刻、检测三个主要环节，包括版图处理、图形补偿、曝光、显影、刻蚀等多项复杂工艺[106] - 光刻工艺是半导体制造的核心流程，通过一系列流程将光刻胶图形转移到衬底上[13] - 掩模版在光刻工艺中起到"底片"作用，其品质直接关系到最终产品的质量与良率[16] - 随着芯片关键尺寸缩小，掩模版复杂度大幅提升，需要应对光的干涉和衍射现象[26][28] - 光刻增强技术(RET)是掩模版演进的核心技术，包括OPC、PSM等方法[39][38] - 计算光刻技术在90nm以下节点被广泛应用，包括OPC、SMO、MPT、ILT等技术[44] 市场格局与规模 - 2021年掩模版占半导体材料市场规模约12%，仅次于硅片和电子特气[74] - 掩膜版下游应用中，半导体占60%，LCD占23%，OLED占5%，PCB占2%[76] - 2024年全球半导体材料市场收入规模达675亿美元，同比增长3.8%[79] - 预计2025年全球半导体掩膜版市场规模为89.4亿美元，中国市场规模约187亿人民币[80][82] - 全球半导体掩模版市场，晶圆厂自建工厂占比65%，独立第三方占比35%[83] - 国产半导体掩模版厂商渗透率很低，主要厂商包括清溢光电、路维光电、龙图光罩等[86] 国产厂商发展 - 清溢光电2024年半导体芯片掩膜版营收1.93亿元，同比增长33.98%[126][127] - 路维光电半导体掩膜版项目布局至28nm，2024年6月完成主厂房封顶[132] - 龙图光罩珠海项目2025年上半年投产，90nm节点产品已完成量产跨越[133] - 国内厂商正通过技术升级、产能扩张提升市场份额，但高端产品仍依赖进口[120] 下游需求驱动 - 半导体芯片产能向中国大陆转移，2024年中国大陆晶圆月产能达860万片，全球占比42%[92] - 先进封装需求推动掩膜版需求提升，单套项目所需掩膜版数量从2-3张增至5-10张[94] - 中国大陆AMOLED/LTPS制造商持续扩大投资，预计2025年有25条生产线[98] - LTPO背板工艺所需掩膜版比传统LTPS增加至少4层，达到13-17层[98]

拓维高科8.6代CMM产品突破 - 公司自主研发的8.6代线金属掩膜版（CMM）首件产品于8月11日交付行业头部客户，实现国产高世代掩膜版重要突破 [1] - 公司业务覆盖OLED Mask精密再生、CMM/FMM研发制造，拥有成都和滁州两大生产基地，客户包括京东方、TCL华星光电等头部面板厂商 [2] - 子公司拓维光电专项负责FMM业务，总投资5.5亿元的滁州项目预计年内实现FMM量产 [2] 金属掩膜版技术分类与作用 - CMM开孔大、精度低，用于蒸镀公共膜层/电极/传输层；FMM孔小精度高，专用于OLED发光材料沉积 [2] - 金属掩膜版是OLED蒸镀核心材料，直接决定屏幕良率与分辨率，通过精准沉积有机物质形成像素 [2] - 光掩膜版应用于前段Array制程，通过曝光转印电路图形至背板，影响驱动电路性能与良率 [6] 国内高世代掩膜版项目进展 - 2025年行业累计投资超59亿元，涉及6家企业8个项目 [3][5] - 路维光电：20亿元投建11条光掩膜版产线，一期5条G8.6产线达产后年产能1500片 [7] - 全洋光电：5亿元项目分两期建设，整体达产后年产值6亿元 [5] - 高光半导体：9亿元项目一期年产CMM 780张+FMM 10万条 [5] - 寰采星：拟投10亿元建设G8.6代FMM量产项目 [5] - 清溢光电：20亿元佛山基地首台曝光机已搬入，一期专注8.6代以下产品 [7] 国产化供应链意义 - 高世代金属掩膜版国产化满足G8.6 OLED产线本土供应链需求，降低进口依赖并提升生产协同效率 [8] - 项目量产将增强材料供应稳定性，推动OLED面板生产成本下降 [8]

公司决议与资金管理 - 公司董事会和监事会于2025年5月16日分别以11票全票赞成和3票全票赞成通过议案，同意使用不超过人民币55,000万元的闲置募集资金进行现金管理，投资期限为12个月，资金可循环滚动使用 [2] - 现金管理范围包括保本型理财产品、结构性存款、定期存款等安全性高、流动性好的金融产品，由总经理行使决策权，财务负责人执行具体操作 [2] 专用账户设立与监管 - 全资子公司佛山清溢光电在中信银行深圳分行开立专用结算账户，专用于高精度掩膜版生产基地建设项目的闲置募集资金现金管理，初始余额为零万元 [3][5] - 账户仅限购买期限不超过12个月的保本型金融产品，不得存放非募集资金或挪作他用，理财产品到期后账户将及时注销 [3][5] 四方监管协议核心条款 - 协议方包括公司、佛山清溢光电、中信银行深圳分行及保荐机构中信证券，明确专户仅用于指定项目的现金管理结算 [4][5] - 银行需按月提供账户对账单及产品受限情况，并配合保荐机构现场调查，若未履行义务公司可单方面终止协议 [6][8][10] - 单次或12个月内累计支取超5,000万元且达募集资金净额20%时，需5个工作日内通知保荐机构 [8] 资金使用规范与影响 - 现金管理需确保不影响募投项目正常进行，产品资金不得质押，到期后需转回专户并通知保荐机构 [5][6] - 公司强调该操作可提高资金使用效率，增加投资收益，且不改变募集资金用途或损害股东利益 [11]

资金管理 - 公司拟用不超5.5亿元闲置募集资金现金管理，期限12个月[3] - 2025年5月16日，董事会和监事会通过现金管理议案[3] - 佛山清溢光电在中信银行开立专用结算账户[5] 账户情况 - 截止2025年7月30日，专户余额为0万元[6] 协议规定 - 甲方支取超5000万元且达净额20%，5个工作日内通知丙方[10] - 乙方每月5日前出具对账单并抄送丙方[10] - 乙方三次违规，甲方可终止协议注销专户[12] 投资优势 - 投资不影响项目资金需求和主营业务[15] - 适度现金管理可提高资金使用效率[15] - 投资能提升业绩，为公司和股东谋回报[15]

公司治理变动 - 清溢光电于2025年8月4日召开2025年第二次临时股东大会 [2] - 股东大会审议通过选举姜巍为第十届董事会非独立董事的议案 [2]

会议概况 - 股东大会于2025年8月4日在深圳清溢光电大楼会议室召开[2] - 出席会议股东和代理人53人，所持表决权占60.5525%[2] - 会议由董事会召集，副董事长主持，现场和网络投票结合[3] 人员出席 - 公司在任董事、监事全部出席，董秘出席，其他高管列席[4] 议案表决 - 选举姜巍为非独立董事议案获通过，同意票占99.1391%[7] 律师见证 - 见证律所是上海市锦天城（深圳）律师事务所[11] - 律师结论为会议程序及决议合法有效[9]

股东大会信息 - 2025年第二次临时股东大会于8月4日召开[3] - 出席股东53名，代表189,575,979股，占比60.5525%[8] 议案审议 - 审议通过选举姜巍为非独立董事议案，同意187,944,057股，占比99.1391%[12] - 中小投资者同意447,359股，占比21.5150%[12]