半导体设备零部件行业概述 - 半导体设备零部件是半导体产业的核心基石，直接影响设备性能、质量及产业链自主可控性 [3][4] - 零部件按功能可分为机械加工件、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等 [5][6][7][8][9] - 精密机加件（如腔体、机械手）为定制化产品，通用外购件（如阀门、密封圈）需通过双重认证，技术壁垒较高 [5] 细分零部件技术特点 - **机械加工类**：ESC静电吸盘需满足陶瓷材料导热性、耐磨性及精密加工要求 [6] - **物料传送类**：机械手臂需耐高温、耐磨材料，适应真空环境搬运晶圆 [6] - **电气类**：射频电源要求供电平稳，传感器涵盖压力、温度等多种类型 [7] - **真空类**：真空泵技术难点包括气体动力学设计、微米级精密加工等 [7] - **光学类**：光栅、激光源等对光学性能要求极高，用于光刻机等设备 [9] 行业增长驱动因素 - 2024年全球半导体设备销售额预计达1170亿美元，同比增长10% [10] - 2025年Q1全球半导体设备出货金额同比增长21%至320.5亿美元 [10] - 国内厂商北方华创Q1营收同比增长37.9%，盛美上海净利润同比大增207.21% [11] 国产化与市场需求 - 国内晶圆厂扩产推动设备零部件替换需求激增，本地化配套需求迫切 [11] - 国产设备技术突破降低外部依赖，形成技术与市场双重提升 [12] - 零部件企业如富创精密海外营收占比达30.25%，同比增长48.98% [15] 资本动态与企业出海 - 富创精密、先锋精科等登陆科创板，蓝动精密获A+轮数千万元融资 [13][14] - 托伦斯精密完成亿元C轮融资，聚焦刻蚀、薄膜沉积设备零部件 [14] - 企业通过并购（如富创投资Compart Systems）及海外建厂（江丰电子韩国基地）拓展市场 [15]

限制性股票激励计划调整与归属情况 核心观点 - 公司对2023年和2024年限制性股票激励计划进行多项调整，包括作废部分股票、调整授予价格及确认首次授予部分第二个归属期符合条件 [13][15][17] - 2023年激励计划首次授予部分第二个归属期可归属股票数量为35.6221万股，涉及218名激励对象，公司层面归属比例为80% [17][22] - 2024年激励计划因不符合归属条件及未按期授予预留部分，合计作废128.316万股 [13] 具体调整内容 股票作废 - **2023年计划**：作废19.361万股，包括因公司/个人层面归属比例未达标（9.6214万股）、离职/退休（6.662万股）及自愿放弃（3.0776万股） [13] - **2024年计划**：作废128.316万股，含首个归属期未达标股票115.884万股及未按期授予的预留部分12.432万股 [13] 授予价格调整 - 因2024年利润分配（每10股派1.5元），2023年计划授予价格由46.76元/股调整为46.61元/股，2024年计划由25.14元/股调整为24.99元/股 [14][15] 归属条件达成情况 - **公司层面**：2024年营业收入达触发值但未达目标值，净利润未达触发值，触发80%归属比例 [17][21] - **个人层面**：234名激励对象中，232名绩效考核为B级及以上（100%归属比例），2名为C级（80%归属比例） [21][22] - **激励对象构成**：董事、高管及核心技术人员获授29.008万股（可归属6.6663万股），其他员工获授120.7532万股（可归属28.9558万股） [22] 财务影响 - 股份支付费用已在等待期内摊销，本次归属不会对财务状况产生重大影响 [23] - 作废股票及价格调整不影响公司经营稳定性或激励计划继续实施 [13][16] 审批程序 - 调整事项经董事会审议通过，无需股东大会批准 [15][16] - 监事会核查确认218名激励对象符合归属条件（除作废部分） [22]

股权激励计划调整与归属情况 - 公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期条件已达成，归属期为2025年3月24日至2026年3月23日 [12] - 2024年公司营业收入达30.40亿元，达到触发值但未达目标值，净利润2.18亿元（剔除股份支付费用影响）未达触发值，公司层面归属比例为80% [14][15] - 234名激励对象中232名个人绩效考核达标，12名因离职/退休作废6.6620万股，16名自愿放弃部分股票，合计作废19.3610万股 [17] 2024年激励计划调整 - 因2024年度利润分配影响，2023年激励计划授予价格从46.76元/股调整为46.61元/股，2024年激励计划从25.14元/股调整为24.99元/股 [15] - 2024年激励计划因第一个归属期未达标作废115.8840万股，预留部分超期未授出作废12.4320万股，合计作废128.3160万股 [18] 审批程序合规性 - 两次激励计划的调整及作废事项均经董事会、监事会审议通过，独立董事发表明确同意意见 [4][6][7][9][10][16] - 激励对象名单经10天公示且无异议，内幕信息知情人自查报告已披露 [5][8] 法律意见结论 - 本次归属、调整及作废事项符合《上市公司股权激励管理办法》及公司激励计划草案规定，程序合法有效 [12][16][18][19]

限制性股票激励计划作废公告核心内容 一、核心观点 - 公司董事会及监事会审议通过作废2023年与2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案，涉及作废总量为147.6770万股（含2023年19.3610万股、2024年128.3160万股）[1][9][10] - 作废原因包括：2023年计划因归属期公司层面达标比例80%及个人考核未达标、员工自愿放弃；2024年计划因首个归属期未达条件及预留部分超期未授出[9][10] 二、限制性股票激励计划执行情况 （一）2023年计划 - 决策程序：董事会审议通过草案、考核办法、授予调整等议案，独立董事及监事会发表意见[1][3][4] - 执行细节：首次授予部分第二个归属期公司层面可归属比例为80%，作废6.6620万股；16名员工自愿放弃3.0776万股[9] （二）2024年计划 - 决策程序：董事会审议通过草案及授予议案，监事会核查激励对象名单[5][6][7] - 执行细节：首个归属期未达条件作废115.8840万股，预留部分超期未授出作废12.4320万股[10] 三、作废影响 - 财务影响：不会对公司财务状况和经营成果产生实质性影响，不影响核心团队稳定性及激励计划继续实施[10] - 合规性：监事会认为作废符合法律法规及激励计划规定，无损害股东利益情形[10] 四、法律意见 - 律师认为本次作废程序及条件符合《管理办法》及激励计划草案相关规定[11]

监事会会议召开情况 - 第二届监事会第十六次会议于2025年7月7日以现场结合通讯方式召开，应出席监事3人，实际出席3人，会议由监事会主席刘明主持 [1] - 会议通知于2025年7月1日通过电子邮件发出，召集及表决程序符合《公司法》及公司章程规定 [1] 限制性股票激励计划调整 - 审议通过《关于调整2023年与2024年限制性股票激励计划授予价格的议案》，调整原因为2024年度利润分配后需进行归属登记 [1][2] - 调整依据为《2023年激励计划》《2024年激励计划》及《上市公司股权激励管理办法》，无需提交股东大会审议 [2] - 表决结果为3票赞成，0票反对或弃权 [2] 部分限制性股票作废 - 通过《关于作废2023年与2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》，作废程序符合相关法律法规及激励计划规定 [2][3] - 作废决议无需提交股东大会，表决结果全票通过 [3] 2023年激励计划归属条件 - 首次授予部分第二个归属期公司层面可归属比例为80%，218名激励对象符合归属条件 [3][4] - 12名激励对象因离职不符合条件，16名自愿放弃部分或全部限制性股票 [3] - 部分员工因个人绩效考核指标可归属比例为80%，决议无需提交股东大会 [3][4]

限制性股票激励计划归属情况 - 公司2023年限制性股票激励计划首次授予第二个归属期公司层面可归属比例为80% [1] - 部分员工因个人绩效考核指标可归属比例为80% [1] - 12名激励对象因离职不符合归属条件 [1] - 16名激励对象自愿放弃全部或部分已获授未归属的限制性股票 [1] 符合归属条件的激励对象 - 218名激励对象符合法律法规及激励计划规定的归属条件 [1] - 激励对象主体资格合法有效 [1] - 首次授予部分第二个归属期归属条件已成就 [1] 监事会决议事项 - 同意为218名激励对象办理35.6221万股限制性股票归属事宜 [2]

? 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票 系统 一、 召开会议的基本情况 （一） 股东大会类型和届次 （二） 股东大会召集人：董事会 （三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票 证券代码：688409 证券简称：富创精密 公告编号：2025-043 沈阳富创精密设备股份有限公司 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： ? 股东大会召开日期：2025年7月23日 相结合的方式 （四） 现场会议召开的日期、时间和地点 召开日期时间：2025 年 7 月 23 日 14 点 30 分 召开地点：沈阳市浑南区飞云路 18 甲-1 号沈阳富创精密设备股份有限公司 A103 会议室 （五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。 网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统 网络投票起止时间：自2025 年 7 月 23 日 至2025 年 7 月 23 日 采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股 东大会召开当日的交易时间段，即 9: ...

激励计划基本信息 - 拟授予限制性股票数量为167.03万股，约占公司股本总额0.7990%[2] - 首次授予151.78万股，约占公司股本总额0.7260%，占拟授予总数90.8699%[2] - 预留15.25万股，约占公司股本总额0.0729%，占拟授予总数9.1301%[2] - 授予价格为46.61元/股[2] - 首次授予317人，预留授予12人[3] 业绩考核目标 - 2023 - 2025年营业收入目标值分别为24.00亿、36.00亿、45.00亿[6] - 2023 - 2025年净利润目标值分别为3.20亿、4.80亿、6.30亿[6] 授予与归属情况 - 2023年3月24日首次授予，调整后授予价格46.61元/股，授予数量147.80万股，授予人数317人[15] - 2023年10月13日预留授予，调整后授予价格46.61元/股，授予数量15.15万股，授予人数12人[16] - 2024年11月27日第一个归属期，归属人数194人，归属价格46.76元/股，归属数量350,172股[16] - 2025年7月7日首次授予部分第二个归属期可归属数量35.6221万股，符合条件激励对象218名[17] 2024年业绩情况 - 2024年公司营业收入为30.40亿元，达到触发值；净利润约为2.18亿元，未达到触发值[19] 归属比例与处理情况 - 公司层面归属比例为80%[20] - 232名激励对象个人层面归属比例为100%，2名激励对象个人层面归属比例为80%[20] - 董事会作废处理19.3610万股限制性股票[21] 人员分类归属情况 - 首次授予部分董事、高管和核心技术人员获授29.0080万股，可归属6.6663万股，占比22.9809%[27] - 其他207名员工获授120.7532万股，可归属28.9558万股，占比23.9793%[27] - 首次授予部分合计获授149.7612万股，可归属35.6221万股，占比23.7859%[27] 特殊情况说明 - 12名激励对象因离职不具备激励对象条件[28] - 16名激励对象因个人原因自愿放弃全部或部分已获授但尚未归属的限制性股票[28] 财务影响说明 - 本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响[31]

一、现行有效的激励计划已履行的决策程序和信息披露情况 证券代码：688409 证券简称：富创精密 公告编号：2025-037 （一）2023 年限制性股票激励计划 沈阳富创精密设备股份有限公司 关于调整 2023 年与 2024 年限制性股票激励计划 授予价格的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 限制性股票授予价格：2023 年限制性股票激励计划的限制性股票授予价 格由人民币 46.76 元/股调整为人民币 46.61 元/股；2024 年限制性股票激励计划 的限制性股票授予价格由人民币 25.14 元/股调整为人民币 24.99 元/股。 沈阳富创精密设备股份有限公司（以下简称"公司"）于 2025 年 7 月 7 日 召开第二届董事会第十九次会议、第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关 于调整 2023 年与 2024 年限制性股票激励计划授予价格的议案》，根据《沈阳富 创精密设备股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划（草案）》及其修订稿（以 下简称"《2023 年激励计划》" ...

证券代码：688409 证券简称：富创精密 公告编号：2025-039 沈阳富创精密设备股份有限公司 关于作废 2023 年与 2024 年限制性股票激励计划部分 限制性股票的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。 沈阳富创精密设备股份有限公司（以下简称"公司"）于 2025 年 7 月 7 日 召开的第二届董事会第十九次会议与第二届监事会第十六次会议，审议通过了 《关于作废 2023 年与 2024 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》，现 将有关事项说明如下： 一、限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况 （一）2023 年限制性股票激励计划 1、2023 年 2 月 27 日，公司召开第一届董事会第十八次会议，审议通过了 《关于<沈阳富创精密设备股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划（草案）> 及其摘要的议案》《关于<沈阳富创精密设备股份有限公司 2023 年限制性股票激 励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激 励相关事宜的议案》等议案，公司独立董事对 2 ...