政策环境与行业趋势 - 科创板“1+6”政策落地，重点支持新一代信息技术、高端装备等战略新兴产业，为硬科技企业开辟顺畅融资通道[2] - 政策支持下，半导体产业链企业形成“扎堆”冲刺科创板态势，成为上会主力军，业务涵盖上游材料、中游设备制造及下游核心零部件[2] - 近期上交所披露的IPO上会企业中，半导体产业链企业占据半壁江山，沐曦股份、昂瑞微、优迅股份、摩尔线程等半导体企业陆续过会[2] 公司核心技术突破 - 公司聚焦的等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化的关键“卡脖子”环节，2024年国内该产品国产化率仍不足12%[3] - 公司历经十年技术攻关，成功推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，打破了美系巨头MKS和AE的长期垄断格局[3] - 公司自主研发的第三代产品Aspen系列可支撑7—14纳米先进制程，达到国际先进水平并填补国内空白，第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程[3] - 公司承担了国家半导体产业基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题[3] 市场地位与客户合作 - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，成为其战略级供应商[4] - 截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款[4] - 在部分国内主要晶圆厂被列入实体清单的背景下，公司的技术突破具备重要现实意义，已具备成熟的规模化量产能力[4] 财务表现与研发投入 - 公司营业收入从2022年的1.58亿元增长至2024年的5.41亿元，复合增长率达84.91%[6] - 公司净利润从2022年的2618.79万元增长至2024年的1.42亿元，复合增长率高达131.87%[6] - 公司研发投入持续高增长，2022年至2024年研发投入分别为2154.21万元、3696.37万元和5528万元，占营收比例均超10%[6] - 2025年上半年公司研发费用达4330.84万元，较上年同期增长72.63%[6] IPO进程与公司前景 - 上交所上市审核委员会定于2025年11月14日召开审议会议，审核公司科创板首发事项[1] - 公司作为2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业，其较快上会侧面印证了公司扎实的经营质地与规范的治理水平[5] - 若成功登陆科创板，公司将借助资本力量加大研发投入、拓展市场布局，有望成长为国际领先的等离子体工艺核心零部件整体解决方案提供商[6]

公司概况与IPO进程 - 恒运昌科创板IPO于2025年6月13日获得受理，2025年7月6日收到首轮问询函，并将于2025年11月14日上会 [2] - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务 [2] - 公司拟募资14.69亿元，用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目等多个项目 [6] 行业地位与技术实力 - 等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，2024年中国大陆该领域国产化率不足12% [3] - 公司历经十年技术攻关，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破美系巨头MKS和AE的垄断格局 [3] - 公司第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平并填补国内空白 [3] - 公司承担了3项国家级重大专项课题，助力提高我国半导体产业的供应链韧性和安全水平 [4] 客户与量产能力 - 半导体行业对零部件有“精确复制”的严苛要求，公司已具备成熟的规模化量产能力 [4] - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商 [4] - 截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款 [4] 财务表现 - 报告期内营业收入分别为1.58亿元（2022年）、3.25亿元（2023年）、5.41亿元（2024年）、3.04亿元（2025年1-6月） [7][8] - 报告期内归母净利润分别为2618.79万元（2022年）、7982.73万元（2023年）、1.42亿元（2024年）、6934.76万元（2025年1-6月） [7][8] - 2025年1-6月，自研产品收入为25,787.44万元，占总收入的84.81%，其中等离子体射频电源系统收入为23,272.97万元，占76.54% [6] 研发与荣誉 - 截至报告期末，公司拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项 [5] - 公司研发投入占营业收入的比例在报告期内维持在10%以上，2025年1-6月为14.24% [8] - 公司是国家高新技术企业、国家专精特新重点“小巨人”，并获得多项行业奖项 [5] 上市标准符合性 - 公司2023年、2024年营业收入分别为32,526.85万元、54,079.03万元，最近一年收入超过1亿元 [9] - 公司2023年、2024年扣非前后归属于母公司股东的净利润孰低值分别为6,853.38万元、12,897.09万元，累计净利润为19,750.47万元，不低于5000万元 [9] - 公司最近一次市场化融资（2023年12月）投后估值为32.92亿元，预计发行后总市值不低于10亿元，满足科创板市值标准 [9]

公司IPO与财务表现 - 公司首发申请将于11月14日由上海证券交易所上市审核委员会审议 [1] - 公司拟在科创板IPO募集资金14.69亿元 [1] - 公司营业收入从2022年的1.58亿元跃升至2024年的5.41亿元，复合增长率高达84.91% [1] - 公司扣非归母净利润从2022年的1961.17万元增至2024年的1.29亿元 [1] 公司技术与产品 - 公司核心产品为等离子体射频电源系统，被誉为半导体设备的"心脏"，用于控制晶圆表面的薄膜沉积、刻蚀等关键工艺 [1] - 公司历经十年技术攻关，推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列 [2] - 第二代Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代Aspen系列突破至7-14纳米先进制程，性能对标国际顶尖水平 [2] - 该产品领域长期被海外国际巨头垄断，国产化率较低 [1] 公司客户与市场地位 - 公司是国家高新技术企业、国家专精特新重点"小巨人"、中国集成电路零部件创新联盟理事单位 [1] - 公司已与拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商建立深度合作，成为战略供应商 [2] - 公司产品配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂 [2] 公司战略与研发 - 公司提出"内生研发+外部并购"的双轮驱动战略 [2] - 2022年至2025年上半年公司累计研发投入超过1.5亿元，2024年末研发人员占比超40% [2] - 公司构建起涵盖信号采样、相位锁定等8大核心技术的专利壁垒 [2] - 公司致力于成为平台型公司，并力争跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列 [2] 募投项目与未来发展 - IPO募资将重点投向沈阳半导体射频电源系统产业化项目、智能化生产运营基地及研发创新中心 [3] - 项目建成后将提高产品产能，加快核心技术商业化落地，满足下游客户高速增长的需求 [3] - 项目旨在巩固公司在半导体级等离子体射频电源系统的领先地位，增强成长性和综合竞争能力 [3]

公司概况与市场地位 - 公司将于11月14日接受上交所科创板上市审核 [1] - 公司是国内首家量产出货过亿元的国产等离子体射频电源系统厂商 [3] - 2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，公司市场份额位列第一 [3] 产品与技术实力 - 公司聚焦半导体设备核心零部件等离子体射频电源系统，产品被誉为半导体设备的“心脏” [1] - 产品在功率稳定性和频率控制精度等指标上达到国际先进水平，成功打破海外垄断 [1] - 自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，性能可对标国际巨头MKS和AE [3] - 截至今年6月30日，公司已取得境内外108项专利 [4] - 研发投入持续增长，2022年至2025年6月底累计研发投入金额达1.57亿元 [4] - 研发人员158人，占员工总人数的42.13% [4] 财务表现与客户合作 - 自研产品收入规模逐年上升，报告期各期收入金额分别为1.04亿元、2.39亿元、4.56亿元和2.58亿元，占比从66.02%提升至84.81% [3][4] - 公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，并通过中芯国际、长江存储等龙头晶圆厂的准入审核 [8] - 截至2025年6月30日，公司与客户已实现百万级收入的自研产品共38款，千万级收入的自研产品共24款 [8] - 自研产品毛利快速增长，从5,276.81万元增至14,099.94万元，占主营业务毛利比例从80.11%提升至94.59% [8] 行业背景与市场前景 - 等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长，2024年中国大陆该领域国产化率不足12% [2] - 中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模从2019年的31.7亿元增长至2023年的58.4亿元，年均复合增长率达16.5% [5] - 未来中国大陆该市场规模将继续快速增长，2024-2028年复合增长率预计为12.5% [5] - 全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2024-2028年复合增长率预计为9.4% [5]

公司IPO计划 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理，拟募资15.5亿元 [2] - 募资用途包括沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目等 [5] 公司业务与技术 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，专注于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发生产 [2] - 等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，2023年中国大陆该领域国产化率不足7% [2] - 公司已推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到国际先进水平 [3] - 公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 [3] 市场地位与竞争格局 - 2023年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场规模为58.4亿元 [4] - 市场目前由海外巨头MKS和AE高度垄断 [4] - 公司2023年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一 [4] 财务表现 - 2022年至2024年，公司分别实现营收1.58亿元、3.25亿元和5.41亿元 [5] - 同期净利润分别为2638.97万元、8053.58万元和1.43亿元 [5] - 截至2024年末，公司已实现百万级收入的自研产品共30款，千万级收入的自研产品共19款 [3]