投资评级 - 首次覆盖，给予“买入”评级 [5][6][7] 核心观点 - 拓荆科技是国内半导体薄膜沉积设备龙头企业，已构建薄膜沉积与先进键合双平台驱动格局，在半导体国产化加速与晶圆厂扩产背景下，业绩实现高速增长，未来成长空间广阔 [6] - 公司薄膜沉积业务把握先进制程与三维集成趋势，产品矩阵全面且客户端表现优异，是业绩增长的坚实基本盘 [6] - 公司前瞻布局的先进键合及配套量检测设备，受益于AI驱动下先进封装市场的高速增长，已实现技术突破并获得重复订单，有望开启第二成长曲线 [6] 公司概况与市场地位 - 拓荆科技是国内半导体核心设备领域的领先企业，专注于集成电路制造前道工艺，产品已广泛应用于中芯国际、华虹集团、长江存储等国内主流晶圆厂 [6][13] - 公司是国内半导体薄膜沉积设备龙头企业，以PECVD设备为基石，横向拓展至ALD、HDPCVD、SACVD等多类关键设备，产品矩阵覆盖逻辑、存储芯片制造所需的全部介质薄膜材料及约100多种关键工艺应用 [6][13] - 公司股权结构均衡，无控股股东及实际控制人，国家集成电路产业投资基金为第一大股东（持股19.57%）[18] - 公司管理团队技术底蕴深厚，多位成员拥有全球领先半导体企业任职经历和顶尖院校科研背景 [21] 财务表现与增长动力 - 公司营业收入保持高速增长，2020-2024年营收从4.4亿元攀升至41.0亿元，复合年增长率达75% [6] - 2024年公司实现营业收入41.03亿元，同比增长51.70%；归母净利润6.88亿元，同比增长3.86% [8] - 2025年前三季度，公司营业收入达42.20亿元，同比激增85.27%；归母净利润达5.57亿元，同比大幅增长105.14% [23][27] - 公司薄膜沉积设备业务是主要收入来源，2024年实现销售收入约39亿元，同比增长50%，其中PECVD产品销售收入创历史新高 [6][23] - 公司三维集成设备业务（先进键合及配套量检测设备）于2024年实现销售收入0.96亿元，同比增长约49% [6][23] - 截至2024年末，公司在手订单金额约94亿元，同比增长约46%，为后续业绩提供有力支撑 [6][40] - 公司预计2025-2027年营业收入分别为63.82亿元、84.46亿元和105.97亿元，归母净利润分别为10.41亿元、16.27亿元和24.48亿元 [7][8] 薄膜沉积设备业务分析 - 薄膜沉积是半导体前道制造的核心环节，2025年全球薄膜沉积设备市场规模约为244亿美元，约占晶圆制造设备市场的22% [6] - 按中国大陆半导体设备销售额占全球约42%的比例估算，2025年中国大陆薄膜沉积设备市场规模约为102亿美元，但该领域国产化率不足20%，市场替代空间广阔 [6] - 全球薄膜沉积设备市场由应用材料、泛林半导体与东京电子三大厂商主导，合计占据约75%的市场份额，国产化率低，CVD和ALD的国产化率仅为5%-10% [56] - 公司薄膜沉积设备在客户端产线生产运行稳定性表现优异，平均机台稳定运行时间（Uptime）超过90%，达到国际同类设备水平 [6] - 截至2025年上半年，公司薄膜沉积设备在客户端产线累计流片量已突破3.43亿片 [64] - 公司PECVD设备为核心产品，覆盖全系列介质薄膜材料，在国内集成电路制造产线中广泛应用，截至2025年上半年累计出货反应腔已超过340个 [15][66][70] - 公司是集成电路领域国产ALD设备薄膜工艺覆盖率第一的设备厂商，产品覆盖PE-ALD与Thermal-ALD两大技术路线，分别布局介质和金属薄膜材料 [6][15][71] - 公司SACVD、HDPCVD及Flowable CVD等沟槽填充系列薄膜设备性能全面满足客户产线要求，已实现产业化应用并获得持续订单 [15][72] 三维集成设备（先进键合）业务分析 - 随着半导体技术持续演进，三维集成已成为突破摩尔定律物理极限的关键路径，尤其在AI等应用的驱动下，正迎来高速发展期 [6] - 据Yole预测，全球先进封装市场规模有望从2023年的43亿美元跃升至2029年的280亿美元，年复合增长率约37% [6] - 混合键合设备市场空间广阔，Besi预测在中性假设下，仅核心存储芯片应用，混合键合设备年需求量预计将在2030年达到1400套，对应市场空间约28亿美元（按每台约200万美元计算）[81] - 全球混合键合设备市场目前由Besi、EVG等国际厂商主导，Besi市场份额高达67% [87] - 公司前瞻性切入晶圆键合领域，其混合键合设备已实现技术突破并进入客户验证 [6] - 在W2W/D2W混合键合前表面预处理及键合设备领域，公司持续获得重复订单，产品陆续导入先进存储、逻辑及图像传感器等客户 [6] - 公司新推出的键合套准精度量测设备及键合强度检测设备也已通过客户验证，形成了从预处理、键合到检测的完整解决方案 [6][88]

投资评级 - 首次覆盖，给予“买入”评级 [5][6][7] 核心观点 - 拓荆科技是国内半导体薄膜沉积设备龙头企业，已构建薄膜沉积与先进键合双平台驱动格局，在半导体国产化加速与晶圆厂扩产背景下，业绩实现高速增长，在手订单充沛，展现出强劲的市场需求与技术稀缺性 [6] - 公司把握先进制程与三维集成趋势，薄膜沉积业务持续高增长，产品矩阵全面覆盖逻辑与存储芯片制造所需的关键工艺，市场替代空间广阔 [6] - 公司前瞻布局先进键合及配套量检测设备，切入三维集成领域，随着混合键合设备逐步放量，有望开启第二成长曲线 [6] 公司概况与业绩 - 公司是国内半导体核心设备领域的领先企业，专注于薄膜沉积设备和先进键合及配套量检测设备 [6] - 2020-2024年营业收入从4.4亿元攀升至41.0亿元，复合年增长率达75% [6] - 归母净利润自2021年扭亏为盈后连续三年保持增长，2024年达6.9亿元 [6] - 截至2024年末，公司在手订单金额约94亿元，同比增长约46% [6] - 2025年前三季度，营业收入达42.20亿元，同比增长85.27%；归母净利润达5.57亿元，同比增长105.14% [23][27] 薄膜沉积设备业务 - 薄膜沉积是半导体前道制造的核心环节，2025年全球薄膜沉积设备市场规模约为244亿美元，约占晶圆制造设备市场的22% [6] - 按中国大陆半导体设备销售额占全球约42%的比例估算，对应中国大陆市场规模约为102亿美元，但该领域国产化率不足20%，市场替代空间广阔 [6] - 公司薄膜沉积设备在客户端产线平均机台稳定运行时间超过90%，达到国际同类设备水平 [6] - 2024年，公司薄膜沉积设备业务实现销售收入约39亿元，同比增长50%，其中PECVD产品销售收入创历史新高 [6] - 公司产品矩阵覆盖PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD及Flowable CVD，能够支撑逻辑芯片和存储芯片制造中所需的全部介质薄膜材料，覆盖约100多种关键工艺应用 [6][13] - 公司是集成电路领域国产ALD设备薄膜工艺覆盖率第一的设备厂商 [6] - 截至2025年上半年，公司薄膜沉积设备在客户端产线累计流片量已突破3.43亿片 [64] 先进键合与三维集成设备业务 - 随着半导体技术演进，三维集成成为突破摩尔定律的关键路径，在AI等应用驱动下高速发展 [6] - 据Yole预测，全球先进封装市场规模有望从2023年的43亿美元跃升至2029年的280亿美元，年复合增长率约37% [6] - 公司前瞻性布局先进键合及配套量检测设备，2024年相关业务实现销售收入0.96亿元，同比增长约49% [6] - 在W2W/D2W混合键合前表面预处理及键合设备领域，公司持续获得重复订单，产品已导入先进存储、逻辑及图像传感器等客户 [6] - 公司新推出的键合套准精度量测设备及键合强度检测设备也已通过客户验证 [6] - 公司的表面预处理设备Propus 300是国内唯一应用于D2W生产线的同类设备 [88] 财务预测 - 预计公司2025-2027年营业收入分别为63.82亿元、84.46亿元和105.97亿元，同比增速分别为55.52%、32.35%和25.47% [7][8] - 预计公司2025-2027年归母净利润分别为10.41亿元、16.27亿元和24.48亿元，同比增速分别为51.32%、56.23%和50.48% [7][8] - 对应当前市值的PE分别为97.50倍、62.41倍和41.47倍 [7]

公司财务表现 - 2025年上半年营业收入达到19.54亿元，同比增长54.25% [5] - 归属于上市公司股东的净利润为0.94亿元，同比下降26.96% [5] - 经营活动产生的现金流量净额为15.66亿元，同比大幅改善 [5] - 第二季度营业收入12.45亿元，同比增长56.64%，环比增长75.74% [5] 研发投入与技术进展 - 研发投入3.49亿元，同比增长11.09%，占营业收入比例17.87% [5] - 累计出货超过3,000个反应腔，其中新型反应腔(pX和Supra-D)超过340个 [18] - 薄膜沉积设备在客户端产线平均稳定运行时间超过90%，达到国际同类设备水平 [21] - 累计流片量已突破3.43亿片 [21] 产品与技术优势 - PECVD设备实现全系列介质薄膜材料覆盖，包括SiO2、SiN、TEOS等通用介质薄膜和LoK-I、ACHM等先进介质薄膜 [24] - ALD设备在集成电路领域国产设备薄膜工艺覆盖率第一，已实现PE-ALD介质薄膜材料的全面覆盖 [18] - 三维集成设备包括混合键合、熔融键合及配套量检测设备，已在先进存储、图像传感器领域实现量产 [19][20] - 新产品PF-300T Plus、PF-300M平台及pX、Supra-D反应腔的PECVD设备通过客户验收 [5][18] 市场与客户拓展 - 合同负债达45.36亿元，较2024年末显著增长 [5] - 设备进入超过70条生产线 [18] - 成功导入新客户，市场渗透率进一步提升 [5] - 在中国大陆半导体设备市场持续增长背景下，公司产品需求呈现加速增长态势 [7] 行业背景与市场空间 - 2025年全球半导体设备销售额预计达1,255亿美元，同比增长超过7% [7] - 2024年中国大陆半导体设备销售额496亿美元，同比增长35%，连续第五年成为全球最大市场 [7] - 薄膜沉积设备市场规模约占晶圆制造设备市场的22%，2025年全球市场规模约244亿美元 [8] - 人工智能、消费电子、物联网等新兴产业对半导体芯片性能要求提升，推动先进半导体设备需求 [7] 供应链管理 - 建立全球化供应商网络，关键零部件采用"多源采购"模式 [32] - 与核心供应商签订长期合作协议，锁定产能并享受优先供应 [32] - 对交期长的部件保持3-6个月战略储备 [32] - 上游供应链总体保持稳定，有效保障设备生产及交付 [33]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] 报告的核心观点 - 2024年公司深化半导体基础产品布局，核心业务高速增长，营收298.38亿元，同比+35.14%；归母净利润56.21亿元，同比+44.17%；扣非归母净利润55.70亿元，同比+55.53% [2] - 2025Q1营收82.06亿元，同比+37.90%，归母净利润15.81亿元，同比+38.80%；扣非归母净利润15.70亿元，同比+44.75% [2] - 2025年3月发布离子注入设备和电镀ECP设备，强化平台型布局 [3] - 2025年拟受让芯源微17.90%股权，发挥平台型协同效应 [4][6] - 预计公司2025/2026/2027年分别实现收入388/487/587亿元，分别实现归母净利润74/97/122亿元，当前股价对应2025 - 2027年PE分别为32倍、24倍、19倍 [7] 公司基本情况 - 最新收盘价436.68元，总股本/流通股本5.34亿股，总市值/流通市值2333/2331亿元，52周内最高/最低价486.69/283.86元，资产负债率51.0%，市盈率41.30，第一大股东为北京七星华电科技集团有限责任公司 [1] 投资要点 业务增长情况 - 2024年公司核心业务高速增长，集成电路装备领域多款高端装备量产，产品矩阵完整性增强，刻蚀/薄膜沉积/热处理/湿法设备收入各超80/100/20/10亿元 [2] - 2025Q1多款新产品实现关键技术突破，成熟产品市占率提升，营收和利润同比增长，成本费用率下降 [2] 新产品发布 - 2025年3月发布12英寸浸没式离子注入设备和12英寸离子注入设备，拓展可服务市场空间 [3] - 2025年3月发布12英寸电镀设备（ECP），在薄膜沉积设备领域形成全系列布局 [3] 股权收购 - 2025年3月拟受让芯源微17.90%股权，成为第一大股东，推动工艺整合，加强多方面协同 [4][6] 盈利预测和财务指标 |年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |营业收入（百万元）|29838|38790|48706|58743| |增长率(%)|35.14|30.00|25.56|20.61| |EBITDA（百万元）|7653.22|10415.03|13071.84|15930.51| |归属母公司净利润（百万元）|5621.19|7378.83|9720.93|12152.63| |增长率(%)|44.17|31.27|31.74|25.02| |EPS(元/股)|10.52|13.81|18.20|22.75| |市盈率（P/E）|41.50|31.61|24.00|19.19| |市净率（P/B）|7.50|6.06|4.84|3.87| |EV/EBITDA|26.46|21.13|16.36|12.77|[9] 财务报表和主要财务比率 利润表 - 2024 - 2027E营业收入分别为29838、38790、48706、58743百万元，营业成本分别为17051、21967、27289、32812百万元等 [12] 主要财务比率 - 成长能力方面，2024 - 2027E营业收入增长率分别为35.1%、30.0%、25.6%、20.6%等 [12] - 获利能力方面，2024 - 2027E毛利率分别为42.9%、43.4%、44.0%、44.1%等 [12] - 偿债能力方面，2024 - 2027E资产负债率分别为51.0%、51.6%、49.2%、47.3%等 [12] - 营运能力方面，2024 - 2027E应收账款周转率分别为6.08、5.91、5.99、5.90等 [12]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] 报告的核心观点 - 2024年报告研究的具体公司持续深化半导体基础产品领域布局，核心业务高速增长，营收298.38亿元，同比+35.14%；归母净利润56.21亿元，同比+44.17%；扣非归母净利润55.70亿元，同比+55.53% [2] - 2025Q1公司营收82.06亿元，同比+37.90%，归母净利润15.81亿元，同比+38.80%；扣非归母净利润15.70亿元，同比+44.75% [2] - 2025年3月公司进军离子注入设备市场，发布两款设备，拓展可服务市场空间，同时发布12英寸电镀设备（ECP），完善薄膜沉积设备领域布局 [3] - 2025年公司拟受让芯源微17.90%股权，若过户完成将成第一大股东，双方可发挥协同效应提升竞争力 [4][6] - 预计公司2025/2026/2027年分别实现收入388/487/587亿元，分别实现归母净利润74/97/122亿元，当前股价对应2025 - 2027年PE分别为32倍、24倍、19倍 [7] 公司基本情况 - 最新收盘价436.68元，总股本/流通股本5.34亿股，总市值/流通市值2333/2331亿元，52周内最高/最低价486.69/283.86元，资产负债率51.0%，市盈率41.30，第一大股东为北京七星华电科技集团有限责任公司 [1] 财务数据 盈利预测和财务指标 | 年度 | 营业收入（百万元） | 增长率(%) | EBITDA（百万元） | 归属母公司净利润（百万元） | 增长率(%) | EPS(元/股) | 市盈率（P/E） | 市净率（P/B） | EV/EBITDA | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | 2024A | 29838 | 35.14 | 7653.22 | 5621.19 | 44.17 | 10.52 | 41.50 | 7.50 | 26.46 | | 2025E | 38790 | 30.00 | 10415.03 | 7378.83 | 31.27 | 13.81 | 31.61 | 6.06 | 21.13 | | 2026E | 48706 | 25.56 | 13071.84 | 9720.93 | 31.74 | 18.20 | 24.00 | 4.84 | 16.36 | | 2027E | 58743 | 20.61 | 15930.51 | 12152.63 | 25.02 | 22.75 | 19.19 | 3.87 | 12.77 | [9] 财务报表和主要财务比率 | 项目 | 2024A | 2025E | 2026E | 2027E | | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业收入（百万元） | 29838 | 38790 | 48706 | 58743 | | 营业成本（百万元） | 17051 | 21967 | 27289 | 32812 | | 税金及附加（百万元） | 178 | 233 | 292 | 352 | | 销售费用（百万元） | 1085 | 1280 | 1607 | 1939 | | 管理费用（百万元） | 2111 | 2618 | 3020 | 3525 | | 研发费用（百万元） | 3669 | 4771 | 5991 | 6932 | | 财务费用（百万元） | 60 | -35 | -161 | -271 | | 资产减值损失（百万元） | -75 | -100 | -150 | -200 | | 营业利润（百万元） | 6527 | 8784 | 11440 | 14282 | | 营业外收入（百万元） | 18 | 20 | 20 | 20 | | 营业外支出（百万元） | 34 | 10 | 10 | 10 | | 利润总额（百万元） | 6511 | 8794 | 11450 | 14292 | | 所得税（百万元） | 817 | 1108 | 1443 | 1801 | | 净利润（百万元） | 5694 | 7686 | 10007 | 12491 | | 归母净利润（百万元） | 5621 | 7379 | 9721 | 12153 | | 每股收益（元） | 10.52 | 13.81 | 18.20 | 22.75 | | 货币资金（百万元） | 12347 | 20618 | 26751 | 37273 | | 应收票据及应收账款（百万元） | 6864 | 8451 | 10702 | 12697 | | 预付款项（百万元） | 889 | 1816 | 1839 | 2462 | | 存货（百万元） | 23479 | 29297 | 36796 | 43778 | | 流动资产合计（百万元） | 46211 | 63523 | 79606 | 100337 | | 固定资产（百万元） | 6205 | 6911 | 7405 | 7776 | | 在建工程（百万元） | 192 | 205 | 305 | 405 | | 无形资产（百万元） | 4703 | 3824 | 2945 | 2064 | | 非流动资产合计（百万元） | 19498 | 18983 | 18641 | 18171 | | 资产总计（百万元） | 65709 | 82506 | 98247 | 118508 | | 短期借款（百万元） | 3 | 203 | 203 | 203 | | 应付票据及应付账款（百万元） | 12190 | 14453 | 18731 | 22055 | | 其他流动负债（百万元） | 11289 | 16980 | 18434 | 22880 | | 流动负债合计（百万元） | 23482 | 31636 | 37369 | 45139 | | 其他（百万元） | 10002 | 10956 | 10956 | 10956 | | 非流动负债合计（百万元） | 10002 | 10956 | 10956 | 10956 | | 负债合计（百万元） | 33484 | 42592 | 48325 | 56095 | | 股本（百万元） | 534 | 534 | 534 | 534 | | 资本公积金（百万元） | 16427 | 16427 | 16427 | 16427 | | 未分配利润（百万元） | 13894 | 20165 | 28428 | 38758 | | 少数股东权益（百万元） | 1144 | 1451 | 1737 | 2076 | | 其他（百万元） | 227 | 1338 | 2796 | 4619 | | 所有者权益合计（百万元） | 32225 | 39915 | 49922 | 62413 | | 负债和所有者权益总计（百万元） | 65709 | 82506 | 98247 | 118508 | | 成长能力 - 营业收入增长率(%) | 35.1 | 30.0 | 25.6 | 20.6 | | 成长能力 - 营业利润增长率(%) | 46.7 | 34.6 | 30.2 | 24.8 | | 成长能力 - 归属于母公司净利润增长率(%) | 44.2 | 31.3 | 31.7 | 25.0 | | 获利能力 - 毛利率(%) | 42.9 | 43.4 | 44.0 | 44.1 | | 获利能力 - 净利率(%) | 18.8 | 19.0 | 20.0 | 20.7 | | 获利能力 - ROE(%) | 18.1 | 19.2 | 20.2 | 20.1 | | 获利能力 - ROIC(%) | 15.0 | 16.2 | 17.2 | 17.6 | | 偿债能力 - 资产负债率(%) | 51.0 | 51.6 | 49.2 | 47.3 | | 偿债能力 - 流动比率 | 1.97 | 2.01 | 2.13 | 2.22 | | 营运能力 - 应收账款周转率 | 6.08 | 5.91 | 5.99 | 5.90 | | 营运能力 - 存货周转率 | 0.84 | 0.83 | 0.83 | 0.81 | | 营运能力 - 总资产周转率 | 0.50 | 0.52 | 0.54 | 0.54 | | 每股指标 - 每股收益（元） | 10.52 | 13.81 | 18.20 | 22.75 | | 每股指标 - 每股净资产（元） | 58.19 | 72.01 | 90.20 | 112.95 | | 估值比率 - PE | 41.50 | 31.61 | 24.00 | 19.19 | | 估值比率 - PB | 7.50 | 6.06 | 4.84 | 3.87 | | 现金流量表 - 净利润（百万元） | 5694 | 7686 | 10007 | 12491 | | 现金流量表 - 折旧和摊销（百万元） | 1071 | 1656 | 1783 | 1910 | | 现金流量表 - 营运资本变动（百万元） | -5311 | -1283 | -4517 | -2789 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | 120 | 444 | 500 | 548 | | 现金流量表 - 经营活动现金流净额（百万元） | 1573 | 8503 | 7773 | 12160 | | 现金流量表 - 资本开支（百万元） | -2039 | -1865 | -1433 | -1433 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -172 | 727 | 4 | 5 | | 现金流量表 - 投资活动现金流净额（百万元） | -2212 | -1138 | -1429 | -1428 | | 现金流量表 - 股权融资（百万元） | 1280 | 1 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 债务融资（百万元） | 132 | 1140 | 0 | 0 | | 现金流量表 - 其他（百万元） | -672 | -234 | -210 | -210 | | 现金流量表 - 筹资活动现金流净额（百万元） | 740 | 907 | -210 | -210 | | 现金流量表 - 现金及现金等价物净增加额（百万元） | 107 | 8271 | 6133 | 10522 | [12]