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等离子刻蚀设备
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“世界工厂”拥抱“芯”技能
南方都市报· 2025-06-10 12:29
东莞半导体和集成电路领域发展 - 东莞半导体和集成电路领域在5月持续升温 首个战略科学家团队成果首发 该团队以电子科技大学原副校长杨晓波教授为核心 在TGV三维封装工艺 低功耗AI芯片 MEMS传感器 AI-AOI视觉检测 等离子刻蚀设备等核心赛道攻克多项"卡脖子"技术难题 [2] - 团队成果凝聚电子科技大学科学家们"十年磨一剑"的坚持 体现东莞"政府引导+市场主导"创新机制 东莞正通过集中资源"击穿"产业链 从组建新型研发机构到引进大科学装置 大平台 再到组建创新联合体 [2] 战略科学家团队五大创新成果 - TGV3 0技术:全球首创亚10微米通孔 10:1深径比三维封装技术 实现晶圆级与板级量产能力 [4] - "能感存算"一体AI芯片:功耗仅70mW 集成自取能与多模态传感功能 [4] - PLP等离子刻蚀设备:打破国际垄断的面板级封装核心设备 技术指标比肩国际巨头 [5] - 毫米波雷达芯片:应用于低空监测的相控阵雷达芯片 性能国际领先 [5] - 全自动晶圆AI-AOI检测设备:检测精度达0 072微米 填补国内高端检测装备空白 [5] TGV三维集成工艺技术突破 - TGV3 0技术为第三代玻璃通孔技术 应用于人工智能芯片等高算力芯片 3D集成半导体 光电子组件等领域 支撑新一代通信 物联网 军事电子等场景 [7] - 相较于2 0版本 实现三大突破:超细孔径(亚10微米)提高芯片集成度 超平滑孔壁减少信号影响 超高深径比实现高密度互联 [7] 数联智造全自动晶圆检测设备 - 全自动显微镜级晶圆AI-AOI检测设备OM可同时进行宏观和微观检测 宏观检测可一次性将12英寸晶圆正反面清晰成像 达到毫米级要求 [9] - 微观检测实现50倍物镜自动对焦成像 0 072微米级自动量测 设备超90%零部件国产化 成本比同类进口产品降低40%-50% [9] 东莞市集成电路产业基础 - 东莞拥有半导体及集成电路企业257家 2024年产业营收突破750亿元 封测和设计环节占比超60% 形成以生益科技 利扬芯片 天域半导体为"链主"的产业集群 [11] - 东莞拥有万亿级消费电子产业优势 华为 OPPO vivo等智能终端企业集聚 芯片消费市场庞大 已构建以封装测试 设计为核心 第三代半导体为特色的完整产业链 [11] 东莞市集成电路创新中心模式 - 创新中心按"政府支持 社会资本投资 科研院所牵头 产业链企业共建"机制运作 打造覆盖全研发周期和技术服务要素的平台 包括芯片可靠性实验室 失效分析实验室 SIP封装工程中心等 [13] - 中心选定先进封装和工业软件为发展方向 利用广东"强芯行动"和"铸魂工程"政策 结合东莞先进封装企业资源 智能终端企业需求等"天时地利" [15] - 已引进15个科研团队 培育40余家产业链企业 其中三分之一为中心推动成果转化和持股孵化的项目 [17] 资源整合与商业化进展 - 创新中心以"股东"身份深度孵化企业 实现从技术攻关到市场落地的全链条赋能 企业间高效协同 如数联智造首台检测设备直接供给三叠纪使用 [17][18] - 中心模式复制至工业软件领域 成电智能推出"工业智能体" 实现制造业全流程数字化 通过自研小模型和DeepSeek支持自然语言查询和业务管理 [20] 先进封装行业前景与资本布局 - 全球先进封装市场规模2023年达378亿美元 预计2029年达891亿美元 年复合增长率11% AI芯片和智能终端升级推动对先进封装技术更高需求 [21] - 东莞集成电路创新中心签署十余项合作协议 包括设立东莞市半导体与集成电路成果转化基金 推动技术联合攻关和人才联合培养 [23] - 东莞拥有散裂中子源 松山湖材料实验室等大平台 超1万家高新技术企业 正以"集中资源击穿产业链"方式探索科技与制造深度融合 [25]
中微公司:打通五大半导体关键设备,实现立体生态发展
半导体芯闻· 2025-05-29 18:22
公司业绩与财务表现 - 公司累计装机量过去14年年均增长超过37%,营收年均增长超过35% [1] - 2024年净利润达到13.9亿元,同比增长16.5% [1] - 2024年等离子刻蚀设备年增长率达54.7% [1] - 截至2025年一季度末,公司净资产201.4亿元,在手资金84.7亿元,借款仅7.5亿元 [1] - 2024年研发支出24.5亿元,占比27%;2025年一季度研发投入6.9亿元,占比31.6% [1] - 2024年员工总数2480人,年均增长22%,2025年一季度新增117人,人均年销售额430万元 [1] 设备与技术突破 - 2024年ICP刻蚀设备订单41.08亿元,同比增长89.5%,接近CCP设备订单量 [2] - 等离子体刻蚀设备拥有18种第三代机型,ICP刻蚀机Twin-star双台加工精度达100皮米以下 [2] - 第五代CCP高能等离子体刻蚀机深宽比从2014年20:1提升至2025年90:1 [2] - 已布局研发近40种导体薄膜设备,2024年金属沉积设备发货128台,2025年预计大幅增加 [2] - 独创双腔设计的epi外延反应器均匀性优于国际领先企业 [2] - TSV深硅刻蚀、AD-RIE等先进封装设备已进入客户产线 [2] 业务布局与战略 - 五大核心设备与关键制程实现"全打通",覆盖国内芯片制造关键环节30%设备需求 [3] - 计划未来五至十年将设备覆盖率提升至60%,并切入湿法设备市场 [3] - 业务延展至泛半导体领域,MOCVD设备在LED、SiC PD、GaN PD等多个细分领域取得突破 [3] - 大平板显示PECVD设备沉积均匀性控制优于5%,2025年5月正式上线运行 [3] - 截至2025年3月底累计申请专利2941件,授权1843件,战略投资40家公司总额22.9亿元 [3] 发展战略与竞争优势 - 采用错位发力策略,MOCVD产品下滑时CDP产品迅速补位,保持整体表现"稳中有进" [6] - 强调三维战略:产品线多维拓展、技术深度持续打磨、生态布局与客户关系共建共融 [7] - 不依赖单一设备,通过多条产品线平滑周期波动 [5][6] - 研发投入持续保持行业前列,2024年全年及2025年一季度研发支出增长显著 [6] - 在高端客户核心产线站稳脚跟,凭借性能与信任建立竞争优势 [6]
十载春秋,这家投资机构走出一条“超级进化之路”
母基金研究中心· 2025-05-27 09:00
中国半导体产业与临芯投资发展历程 - 2025年中国新质生产力重构经济版图,AI、量子计算、绿色科技等技术聚变推动产业升级[2] - 半导体产业从一穷二白到云蒸霞蔚,投资机构推动行业从萌动新芽到开枝散叶[3][4] - 临芯投资十年累计管理近100亿资金,投出130多个项目,18个IPO,退出金额170多亿元[7] 临芯投资核心案例与策略 - 2014年6.93亿美元私有化澜起科技,2019年科创板上市市值达1500亿元,2024年净利润增长213%至14亿元[15][17][18] - 2016年逆势投资中微公司3000万元,2019年科创板上市市值超1500亿元,2021年进入5nm生产线[23][25][26] - 投资策略从"搬砖架桥搭积木"升级为"产业整合+并购重组",形成"投早投小+并购"两头走策略[6][33][34] 临芯投资方法论演进 - 提出"煲汤VS烧烤"理论:半导体投资需温火慢炖而非短期炒作[27] - 建立"放大镜+望远镜"逻辑:用望远镜看产业未来而非放大镜看当前劣势[24] - 专注"守猎者"定位:十年聚焦硬科技赛道,机会出现迅速捕捉[27][28] 临芯机构化建设与生态布局 - 2018年启动机构化迭代,完善募投管退体系,2019年后实现业绩爆发:2021年退出36亿,2022年35亿,2023年78亿[40][43] - 构建"临友荟"产业联盟,与18家上市公司、137家企业形成生态网络[36] - 布局汽车电子、AI、机器人等下游应用,引入长城汽车前CTO强化产业能力[34][35] 半导体行业未来趋势与临芯布局 - 行业进入过剩与稀缺共存阶段,低端过剩高端稀缺,并购整合将成为主流[33][46] - 政策支持并购重组,《国九条》和证监会《十六条》提供制度保障[47] - 临芯未来70%精力投入并购,目标造就世界级企业,持续推动科技进步[46][47]
十年,临芯投资的“超级进化之路”
搜狐财经· 2025-05-26 13:46
公司发展历程 - 临芯投资成立于2014年,以500万注册资金起步,专注半导体及硬科技领域投资 [16] - 十年累计管理资金近100亿人民币,投资130多个项目,其中18个实现IPO,累计退出金额超170亿人民币 [2][7] - 早期通过重仓澜起科技(6.93亿美元私有化)和中微公司(三轮投资近2亿)奠定行业地位,两项目科创板上市后市值均突破1500亿 [17][20][28] - 投资策略从并购起步,逐步扩展至"并购+早期"两头并行,形成完整投资闭环 [37][39] 核心投资案例 - **澜起科技**:2014年抓住做空机会完成私有化,2019年科创板上市后市值峰值1500亿,2024年净利润暴涨213%至14亿,DDR5芯片全球市占率近50% [17][20][21] - **中微公司**:2016年逆势投资时年亏损企业,三轮投资后位列前十大股东,2019年科创板上市,2021年刻蚀设备进入国际5nm生产线 [27][28][29] - 其他明星项目包括芯原股份、博通集成、拓荆科技等,覆盖半导体设计、设备、材料全产业链 [7][47] 行业趋势洞察 - 中国半导体产业经历从国产替代(1.0)到产业升级(黄金时代),当前进入"低端过剩、高端稀缺"的并购整合阶段 [38][50] - 技术聚变催生新质生产力革命,AI、量子计算、绿色科技等重构经济版图 [2] - 科创板设立(2019)是行业分水岭,此前互联网主导,此后硬科技成为投资主线 [29] 投资策略演进 - **方法论迭代**:从"望远镜看产业"到"煲汤理论"(长期价值投资),坚持"守猎者"定位专注半导体赛道 [22][29][30] - **两条主线**: 1) 半导体基础领域"投早投小+并购整合",早期项目数量占比50%,并购金额占比40% [39][40] 2) 下游应用延伸至汽车电子、AI、机器人等,引入长城汽车前CTO强化产业能力 [40] - **退出机制**:2019年后体系化退出,累计实现超161亿退出金额(2021-2024),建立分级投后管理体系 [47][48] 机构能力建设 - 从"一人机构"向专业化转型,完善募投管退全流程,盲池基金比例提升 [41][44] - 构建产业生态网络"临友荟",联动18家已投上市公司和137家产业链企业 [40][41] - 强化数智化管理,定制投资管理平台实现业务流程标准化 [48] 未来战略方向 - 聚焦并购整合:预计70%精力投入并购,目标打造世界级半导体企业 [50][51] - 响应政策导向:把握《国九条》等政策红利,推动上市公司并购重组 [53] - 使命驱动:坚持"投资推动科技进步"初心,定位"造就世界级企业" [53][54]