Workflow
薄膜设备
icon
搜索文档
科创梦飞扬
上海证券报· 2025-07-22 03:58
科创板发展历程 - 2019年7月22日科创板正式开市,首批25家公司上市,标志着中国资本市场增量改革的重要里程碑[1][2] - 6年间科创板已汇聚589家硬科技企业,包括产业链"链主"企业、国家级专精特新"小巨人"企业及细分赛道冠军企业[10] - 科创板显著提升我国集成电路产业自主化水平,汇集120余家涵盖芯片设计、制造、封测等全产业链的领先企业[3][4] 中微公司案例 - 中微公司上市6年销售规模增长5倍以上,产品从单一刻蚀设备拓展至刻蚀、薄膜、量检测等多类高端集成电路设备[3] - 公司在美国VLSIresearch/Tech Insights评选中四次获客户满意度第三名,薄膜设备第一名[3] - 从15人创业团队发展为全球2600名员工,拥有2000余项授权专利,厂房面积达45万平方米[4] 制度规则建设 - 2019年3月2日发布科创板8项核心制度规则,涉及注册程序、信息披露、上市条件等67处重要修改[4][5] - 审核中心日均工作14小时(8点至22点),单个企业问询函平均文字量达1.6万字[7][8] - 2019年6月5日完成首场上市委审议会议,审核理念强调透明与效率[7][9] 产业影响 - 科创板形成集成电路产业集聚效应,推动中国芯片技术持续突破[3][4] - 资本市场成为全球科技创新"主战场",科创板包容性政策支持硬科技企业发展[10] - 改革通过制度创新释放科技创新潜力,体现"惟改革者进,惟创新者强"的发展路径[10]
中微公司逐梦全球半导体设备第一梯队
中国证券报· 2025-06-16 04:50
半导体产业链发展 - 半导体产业链从设计到制造、设备到零部件缺一不可,技术进步使1TB储存芯片从60年前需800万栋5层大楼容纳到如今微型化[1] - 器件结构从2D到3D转换推动等离子体刻蚀和薄膜制程成为核心步骤,市场需求大幅增加[1] 中微公司产品与技术 - 主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备是光刻设备外核心微观加工设备,制程复杂度与工艺开发难度业内领先[2] - 刻蚀设备通过"二重模板"和"四重模板"工艺技术加工先进微观结构,市场需求提升带动公司高速成长[2] - 量检测设备市场占半导体前道设备总市场13%,公司通过设立超微公司布局电子束量检测设备[2] - 刻蚀设备已覆盖国内绝大多数应用,薄膜设备覆盖度持续扩大,量检测设备全面布局[2] - 首创甚高频去耦合反应离子刻蚀技术(D-RIE)引领国际巨头跟随,奠定领先地位[3] - 独创"双反应台"设计,刻蚀速度精准至0.1-0.2纳米水平,设备应用于5纳米及更先进产线[3] 技术创新与差异化战略 - 坚持不抄袭国际标配设备,综合竞品优点开发更优产品,刻蚀设备近五年营收年均增速超50%[4] - 实施三维发展、有机生长和外延扩展战略,贯彻"五个十大"确保高质量发展[4] 知识产权与市场认可 - 国外主流厂商多次发起专利诉讼,公司在四次重大诉讼中两胜两和解[5] - 截至2025年3月,累计申请专利2941项(发明专利占比83%),构建完整专利覆盖体系[5] - 2025年TechInsights评选中获六大奖项,WFE基础芯片制造商和薄膜沉积设备榜单位列第一[6] 市场目标 - 当前产品覆盖30%集成电路前道设备,计划5-10年内覆盖60%以上高端设备市场[6] - 2035年目标成为全球第一梯队半导体设备平台型公司[6]
中微公司拟逾7亿元参股基金完善布局 研发驱动加速产品更新营收14年连增
长江商报· 2025-06-13 01:07
基金设立与参股 - 中微公司全资子公司中微临港拟与智微资本共同发起设立上海智微攀峰创业投资合伙企业 募资规模暂定15亿元 [1] - 中微临港拟认缴出资不超过7.35亿元 占基金募资规模不超过49% 智微资本拟认缴出资1500万元 占1% 上海科技创业投资有限公司拟认缴出资1亿元 占6.67% [1] - 智微攀峰投资聚焦半导体、泛半导体和战略新兴领域 [1] - 此次为关联交易 中微临港持有智微资本45%股权 智微资本实际控制人曾担任中微公司副总经理、董秘 [1] 投资目的与战略意义 - 投资有助于公司与其他社会资本合作 有利于产业布局 [2] - 通过合作方投资经验及资源优势拓展新领域 推动产业经营和资本运营深度融合 形成协同发展良性循环 [2] - 提升公司核心竞争力及整体盈利能力 [2] 公司主营业务 - 主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售 [2] - 主营产品为刻蚀设备、薄膜设备 是半导体前道关键核心设备 [2] 研发投入与成果 - 2020年至2024年研发投入分别为6.40亿元、7.28亿元、9.29亿元、12.62亿元、24.52亿元 2024年研发投入较上年增长94.29% 占营业收入27.05% [2] - 截至2024年底研发人员数量为1190人 同比增长51.02% 占员工总数47.98% [2] - 新产品开发速度显著加快 从三到五年缩短至两年或更短时间 [2] - 开发的薄膜设备性能达到国际领先水平 [2] 经营业绩 - 过去14年保持营业收入年均增速大于35% [3] - 2024年一季度实现营业收入21.73亿元 同比增长35.40% 归母净利润3.13亿元 同比增长25.67% [3]
中微公司:打通五大半导体关键设备,实现立体生态发展
半导体芯闻· 2025-05-29 18:22
公司业绩与财务表现 - 公司累计装机量过去14年年均增长超过37%,营收年均增长超过35% [1] - 2024年净利润达到13.9亿元,同比增长16.5% [1] - 2024年等离子刻蚀设备年增长率达54.7% [1] - 截至2025年一季度末,公司净资产201.4亿元,在手资金84.7亿元,借款仅7.5亿元 [1] - 2024年研发支出24.5亿元,占比27%;2025年一季度研发投入6.9亿元,占比31.6% [1] - 2024年员工总数2480人,年均增长22%,2025年一季度新增117人,人均年销售额430万元 [1] 设备与技术突破 - 2024年ICP刻蚀设备订单41.08亿元,同比增长89.5%,接近CCP设备订单量 [2] - 等离子体刻蚀设备拥有18种第三代机型,ICP刻蚀机Twin-star双台加工精度达100皮米以下 [2] - 第五代CCP高能等离子体刻蚀机深宽比从2014年20:1提升至2025年90:1 [2] - 已布局研发近40种导体薄膜设备,2024年金属沉积设备发货128台,2025年预计大幅增加 [2] - 独创双腔设计的epi外延反应器均匀性优于国际领先企业 [2] - TSV深硅刻蚀、AD-RIE等先进封装设备已进入客户产线 [2] 业务布局与战略 - 五大核心设备与关键制程实现"全打通",覆盖国内芯片制造关键环节30%设备需求 [3] - 计划未来五至十年将设备覆盖率提升至60%,并切入湿法设备市场 [3] - 业务延展至泛半导体领域,MOCVD设备在LED、SiC PD、GaN PD等多个细分领域取得突破 [3] - 大平板显示PECVD设备沉积均匀性控制优于5%,2025年5月正式上线运行 [3] - 截至2025年3月底累计申请专利2941件,授权1843件,战略投资40家公司总额22.9亿元 [3] 发展战略与竞争优势 - 采用错位发力策略,MOCVD产品下滑时CDP产品迅速补位,保持整体表现"稳中有进" [6] - 强调三维战略:产品线多维拓展、技术深度持续打磨、生态布局与客户关系共建共融 [7] - 不依赖单一设备,通过多条产品线平滑周期波动 [5][6] - 研发投入持续保持行业前列,2024年全年及2025年一季度研发支出增长显著 [6] - 在高端客户核心产线站稳脚跟,凭借性能与信任建立竞争优势 [6]
中微公司:已覆盖30%集成电路高端设备,行业整合将成必然趋势
新华财经· 2025-05-28 22:52
公司业绩与财务表现 - 2024年实现营收90.65亿元,同比增长44.7%,扣非净利润13.88亿元,同比增长16.5% [2] - 2025年一季度营收21.73亿元,同比上升35.4%,归母净利润3.13亿元,同比上升25.67% [2] - 最近14年营业收入年均增长高于35%,最近几年年均增速超过40% [2] - 2024年研发费用24.5亿元,占销售额27%,2025年一季度研发投入占比增至31.6% [2][3] - 2025年一季度末净资产201.4亿元,在手现金84.7亿元,银行借款余额7.5亿元 [3] 市场地位与战略布局 - 已覆盖约30%集成电路高端设备市场,目标未来五到十年覆盖近60% [1][4] - 等离子体刻蚀设备2024年贡献营收超72亿元,同比增长54.7%,市场份额近20% [4] - 薄膜设备市场份额约5%,光学检测设备市场占比约5% [4] - 实施三维立体发展战略:集成电路设备、泛半导体设备、外延扩展培育产业链 [4][5] - 已投资40家公司,投资额超20亿元,8家已上市,投资浮盈近59亿元 [5] 研发能力与技术创新 - 研发团队近400人,新产品开发周期从3-5年缩短至18个月 [3] - 累计装机数年均增速高于37%,最近五年增长更快 [2] - 已完成开发9种薄膜设备,2024年计划再开发7种,6种已进入市场 [4] - 泛半导体设备领域开发多种MOCVD设备,市场销售形势良好 [5] 行业趋势与国际化 - 2024年中国大陆集成电路前道设备市场规模495亿美元,占全球42% [2] - 行业未来主流趋势是整合,预计最终形成3家左右龙头企业 [6] - 海外市场已有布局,如美国有几十个反应器进行5纳米生产 [6] - 未来五到十年国产设备有望打开国际市场,可能做出超越美国企业的设备 [7]
对话中微公司尹志尧:缩短研发进程,应对行业竞争
21世纪经济报道· 2025-05-28 20:37
业绩表现 - 2024年实现营业收入90.65亿元,同比增长44.73%,近四年营收年均增幅大于40% [1] - 2024年归属于上市公司股东的扣非净利润约13.88亿元,同比增长16.51% [1] - 2025年一季度业绩延续高增长态势 [1] - 研发投入2024年达24.52亿元,同比增长94.31%,占营业收入比例约27.05% [1] - 2025年一季度研发投入同比增长90.53%至6.87亿元 [1] 研发进展 - 开发一款新设备时间从3-5年缩短至约18个月,量产时间缩短至半年到一年 [1] - 在研超20款新设备,包括新一代CCP/ICP刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD/ALD薄膜设备等 [2] - 通过投资和成立子公司布局量检测设备板块 [2] - 研发方法从零开始编写转变为模块化组合设计 [2] - 人才招聘质量提高,更多一流人才加入 [2] - 与客户合作紧密,新品可快速验证 [2] - 研发支出分配从70%-75%集中在刻蚀设备转向加大薄膜设备研发力度 [2] 战略规划 - 目标2035年成为全球第一梯队的半导体设备公司 [1] - 计划5-10年内从覆盖30%集成电路高端设备市场提升至60% [2] - 集中资源开发具有差异化、自主知识产权的高端设备产品 [4] - 避免低端"内卷"和恶性竞争 [4] - 通过提高设备输出量、缩小占地面积、降低成本保持竞争优势 [4] - 已投资40家产业链公司,其中8家完成A股上市 [4] - 重点关注供应链方向,与全球超800家供应厂商合作 [4] 行业环境 - 中国设备行业技术水平提高,国产设备在性价比、售后服务等方面优势显现 [2] - 全球半导体产能中心逐步向中国大陆转移 [2] - 全球半导体设备市场规模保持增长 [3] - 国内半导体设备行业竞争愈发激烈 [3] - 公司欢迎正常的自由竞争,认为这是工业发展的必然趋势 [4] 供应链管理 - 开发更多质量优异的供应商,加强培育本土核心供应商 [5] - 提升关键零部件国产化率 [5] - 建立更加自主可控的供应链 [5]
现场直击!千亿半导体设备龙头回应
中国基金报· 2025-05-28 20:23
公司战略目标 - 公司目标是在2035年成为全球第一梯队的半导体设备公司,在规模、产品竞争力和客户满意度上达到领先水平 [2] - 公司策略是集中资源开发具有差异化、自主知识产权的高端设备产品,避免低端内卷,并承担社会责任 [9] - 公司坚持三维发展战略,深耕集成电路关键设备领域、扩展泛半导体关键设备应用,并探索新兴领域机会 [9] 行业发展优势 - 中国半导体设备行业技术水平不断提高,国产设备在产品性价比、售后服务和贴近客户方面优势显现 [6] - 中国作为全球最大半导体消费市场,带动全球产能中心向中国转移,推动市场规模扩大和技术水平提高 [7] - 半导体产业存在多个头部企业,差异化竞争优势是关键,公司通过解决细分领域问题建立不可替代性 [9] 研发投入与产品进展 - 2024年研发投入同比增长94.31%至24.52亿元,占营业收入27.05% [7] - 2025年第一季度研发投入同比增长90.53%至6.87亿元 [7] - 新产品开发周期从3-5年缩短至18个月,量产时间缩短至半年到一年 [7] - 在刻蚀、薄膜、MOCVD等设备领域取得突破,产品获海内外客户认可 [7] - 在研项目涉及超20款新设备,包括新一代CCP和ICP刻蚀设备 [9] 产业链布局与供应链管理 - 自2019年上市以来,公司投资30多家半导体设备产业链上下游企业,获得超50亿元浮盈并实现战略协同 [10] - 公司与全球超800家供应商建立合作关系,重点开发半导体设备零部件和材料供应商 [10] - 加强培育本土核心供应商,提升关键零部件国产化率,建立自主可控供应链 [10] 公司背景与市场表现 - 公司成立于2004年,2019年科创板上市,是国内高端微观加工设备领军企业之一 [4] - 主业盈利能力持续提升,成为中国半导体设备行业成长的重要样本 [4] - 截至5月28日收盘,公司股价报170.93元/股,总市值1068亿元 [11]
中微公司20250527
2025-05-27 23:28
纪要涉及的公司 中微公司 纪要提到的核心观点和论据 1. **业绩表现** - 2024 年营收增长 44.7%,净利润 13.9 亿元,同比增长 16.5%;2025 年第一季度营收增长率 35.4%,净利润同比增长 13.4% [2][3] 2. **产业发展** - 专注微观制造设备和技术,全球相关设备年销售额约 1000 亿美元,支撑庞大产业规模;中国大陆 2024 年采购量 495 亿美元,占全球 42% [4] - 采取有机生长与外延扩张结合的投资战略,投资 40 家公司,总投资额 22.9 亿元,目前市值 59 亿元,潜在现金流约 83 亿元 [4] - 计划未来五到十年将集成电路高端设备市场覆盖率从 30%扩大至 60%,扩展核心技术至泛半导体领域,2035 年成为全球第一梯队半导体设备公司 [4] 3. **主要产品及市场表现** - 主要产品有光刻机、等离子刻蚀机、薄膜设备、量测设备,等离子刻蚀机占 70% - 75%份额,过去五年平均增长超 50%,2024 年增长 49.4% [6] 4. **研发和生产布局** - 2025 年第一季度末,全球 137 条生产线有 6000 多个反应器和反应台投入生产,过去十四年在线台数增长率超 37% [7] - 全面布局光学检测和电阻检测,计划进入湿法领域 [7] 5. **盈利情况** - 自上市以来保持盈利且盈利水平提升,2024 年扣非净利润 13.9 亿元,同比增长 16.5%;2025 年第一季度净利润同比增长 13.4% [8] 6. **净利润增长慢原因** - 2024 年研发投入占销售额 27%,2025 年第一季度达 31%,远高于科创板平均;投资 40 个项目,累计投资 22.9 亿元 [10] 7. **资产情况** - 2025 年第一季度末,总资产 270.1 亿元,净资产 201 亿元,现金储备 84.7 亿元,银行贷款 7.5 亿元,资产负债率低 [11] 8. **研发措施和成果** - 有 400 多人研发团队,每年开发 20 多个新产品,开发周期从 3 - 5 年缩短至 18 个月,半年到一年内量产 [12] - 加大补短板力度应对国外设备限制 [12] 9. **人力资源管理** - 2016 年至今人头增长率约 22%,低于销售增长率;2024 年底员工不到 2500 人,现超 2500 人 [13] - 2025 年第一季度招聘 117 名大学生,硕士、博士录取率 200 选 1;每位员工创造销售额从 100 多万提升至 2024 年 430 万元,产值超 550 万元 [13] 10. **等离子刻蚀设备业务** - 生产 CCP 高能等离子刻蚀机和 ICP 独立式刻蚀机,ICP 近年发展快,2023 - 2024 年销售额近翻倍,2025 年订单量与 CCP 基本持平 [14] - 已开发三代共 18 种刻蚀机型,95% - 98%的应用获大规模生产或客户认证数据 [14] 11. **刻蚀精度影响** - 刻蚀机可进一步修边提高光刻机决定的宽度和孔径精度,竖向刻蚀控制达皮米级别(0.02 纳米),实验室重复性实验平均刻蚀速度差异不超 1.5 个埃 [15] 12. **深孔刻蚀技术** - 实现 90 - 100:1 深孔突破,每个反应器一年钻 100 万万亿个孔,合格率高;用 ICP 低能等离子体刻蚀机处理碳模板有成果 [16] - 国内先进存储生产线难做工序由中微设备完成并实现大规模生产 [17] 13. **薄膜设备领域** - 2010 年以来扩大应用,已完成 9 种设备开发,6 种运转一年;2023 年销售额 4.76 亿元,2025 年预计发货超 180 台 [18] - 打破 EPI 设备市场美国两家公司垄断,实现自主研发生产 [19] 14. **反应器设计创新** - 采用金属壳子结构,内部抽成半真空,解决传统拱形 Dome 和长方形隧道设计问题,实现流场均匀和平流,可控制均匀性、掺杂浓度和温度 [20][21] 15. **先进封装领域** - 已进入生产线的设备有 CCP 高能等离子刻蚀机和用于 TSV 技术的深硅刻蚀机;正在开发 PVD、CVD 工具及检测计量设备 [22] 16. **市场覆盖率及战略** - 目前集成电路高端设备市场覆盖率约 30%(刻蚀 20%、薄膜 5%、光学检测 5%),未来五到十年扩大至 60%,扩展核心技术至泛半导体领域 [23] 17. **扩展至泛半导体领域原因** - 集成电路投资波动大,扩展可分散风险、实现持续增长 [24] 18. **核心技术扩展业务方式** - 利用核心技术从 B2B 模型向 b to small b 或 b ToC 模型延伸,在刻蚀、剥膜、检测等方面展开工作,MOCVD 设备在蓝光绿光市场占全球 90%份额 [25] 19. **宽禁带半导体领域进展** - 进入 Silicon Carbide 和 Gallium Nitride 功率器件生产验证阶段,Gallium Nitride Micro LED 蓝光绿光开始大生产,Gallium Arsenide 红光黄光今年夏天进入大生产 [26] 20. **大平板设备发展** - 2023 年 12 月组建团队,15 个月完成 PECVD 第一个产品并达客户要求,在 LCD 和 OLED 指标上实现 4.5%均匀性,达国际领先水平 [27] 21. **核心技术应用** - 建立四个子公司,利用核心技术开发 b to small b 或 b ToC 产品,物理化学技术用于开发世界一流设备和创新 B2C 产品 [28] 22. **投资战略及案例** - 投资战略为有机生长与外延扩张结合,上市后投资 40 家公司,8 家已上市,总投资额 22.9 亿元,目前市值 59 亿元,全部兑现达 83 亿元 [30] 23. **知识产权情况** - 2025 年第一季度末,申请 2941 项专利,1834 项获授权,83%为发明专利 [31] 24. **全球客户评价** - 2018 年参加美国 VLSI Research 全球客户评价,总评分全球第三,薄膜设备第一;2025 年获 6 个奖项,包括硅片生产基础芯片制造设备全球第一、薄膜沉积设备全球第一、客户满意度全球第三 [32][33] 25. **厂房建设及规划** - 过去三四年建设南昌 14 万平方米、临港 18 万平方米厂房及临港双塔总部大楼,2025 年底总厂房面积达 45 万平方米 [34] - 计划在临港二期、广东、成都分别建设 10 万平方米厂房,三年内总厂房面积达 75 万平方米 [34] 26. **科创企业发展原则** - 包括产品开发、战略销售、营运管理、精神文化作风、领导班子做法等五个十大原则,编写 500 页书籍用于内部培训 [35] 27. **领导能力要素** - 核心要素为思想体系、原始动力、正确方法决定战略 [37] 28. **领导团队组建** - 领导者以身作则,知人善用,有创新经验、执行能力,追求卓越 [38] 29. **传承接班重要性** - 传承接班是领导力重要方面,需传承规则并确定接班人、放权 [39] 30. **公司能量最大化** - 发挥人员和部门积极性到极致,避免内耗,集中能量对外竞争 [40] 31. **未来发展策略** - 坚持 3D 立体生长策略,有机生长与外延扩张结合,贯彻中微五个十大,2035 年成为全球第一梯队半导体设备公司 [41] 其他重要但是可能被忽略的内容 - 科创企业发展的五个十大原则受三大纪律八项注意、朱熹教条、程氏家族经验教训启发,未来可能脱密供业界参考 [35] - 领导能力核心要素中思想体系指正确的人生观和价值观,原始动力是推动力,正确方法是战略决策 [37]
中微半导体,尹志尧减持280000股!
是说芯语· 2025-05-06 07:45
公司动态 - 中微公司董事长尹志尧计划减持28万股,占总股本0.045%,按最新股价测算套现约5271万元 [2] - 尹志尧自2022年8月以来累计减持187.08万股,套现2.36亿元,持股比例从IPO时的1.5%降至0.7% [2][4] - 公司2024年营收同比增长44.7%至90.7亿元,但净利润同比下降9.53%至16.2亿元,主要因研发投入激增94.3%至24.52亿元 [2] - 2025年一季度营收和净利润分别增长35.4%和25.67%,显示核心业务保持增长动能 [2] 业务发展 - 2024年刻蚀设备销售额达72.77亿元,同比增长54.72%,并首次实现LPCVD设备销售 [3] - 2025年一季度研发投入6.87亿元,同比增长90.53%,重点推进金属薄膜气相设备、新一代PECVD设备等研发 [3] - 公司在先进刻蚀设备、薄膜设备等领域持续突破 [3] 行业环境 - 2024年全球半导体销售额增长19.1%,但2025年增速预期回落至11.2% [2] - 半导体公司创始人减持通常导致股价短期回调,例如2024年韦尔股份减持引发北京君正单日市值蒸发17亿元 [3] - 中微公司最新股价188.26元,动态市盈率69.84倍,高于行业平均水平 [3] 其他信息 - 公司申请入围"中国IC独角兽"半导体高质量发展创新成果征集 [1] - 相关信息可通过"中国IC独角兽联盟"获取 [5]
北方华创(002371):业绩持续高增长,内生外延加速平台化发展
华创证券· 2025-04-29 16:35
报告公司投资评级 - 维持“强推”评级,目标价为 542.5 元 [2][7] 报告的核心观点 - 新品拓展顺利和市占率提升使公司业绩保持高增态势,下游扩产和技术迭代双轮驱动,半导体设备龙头有望深度受益,国际贸易形势变化加速设备国产替代进程,龙头厂商市占率有望显著提升,公司作为国内平台型设备龙头厂商有望显著受益 [7] 根据相关目录分别进行总结 主要财务指标 - 2024 - 2027 年营业总收入分别为 298.38 亿、391.86 亿、480.98 亿、581.23 亿元,同比增速分别为 35.1%、31.3%、22.7%、20.8%;归母净利润分别为 56.21 亿、76.26 亿、94.90 亿、121.05 亿元,同比增速分别为 44.2%、35.7%、24.4%、27.6%;每股盈利分别为 10.52 元、14.28 元、17.77 元、22.66 元;市盈率分别为 43 倍、32 倍、26 倍、20 倍;市净率分别为 7.8 倍、6.4 倍、5.2 倍、4.2 倍 [3] 公司基本数据 - 总股本 53417.53 万股,已上市流通股 53371.41 万股,总市值 2427.40 亿元,流通市值 2425.30 亿元,资产负债率 50.00%,每股净资产 61.15 元,12 个月内最高/最低价为 486.69/283.86 元 [4] 业绩情况 - 2024 年营业收入 298.38 亿元,同比+35.14%;毛利率 42.85%,同比+1.75pct;归母/扣非归母净利润 56.21/55.70 亿元,同比+44.17%/+55.53%;2025Q1 营业收入 82.06 亿元,同比/环比+37.90%/-13.49%;毛利率 43.02%,同比/环比-0.38pct/+3.10pct;归母/扣非归母净利润 15.81/15.70 亿元 [7] 分产品情况 - 2024 年电子工艺装备业务收入 277.07 亿元(其中半导体刻蚀/薄膜/热处理/湿法设备收入超 80/100/20/10 亿元),同比+41.28%,毛利率 41.50%,同比+3.83pct;电子元器件业务收入 20.94 亿元,同比-13.91%,毛利率 60.32%,同比-5.33pct [7] 行业情况 - 2024 年全球半导体设备销售额达 1161 亿美元,中国大陆以 491 亿美元稳居第一,AI 芯片、汽车电子等需求爆发带动晶圆厂资本开支回暖 [7] 公司布局情况 - 刻蚀设备形成 ICP、CCP、Bevel 刻蚀设备等全系列产品布局;薄膜设备全面覆盖 PVD、CVD、ALD、EPI、ECP 设备;2025 年 3 月发布首款离子注入机;拟持有芯源微 17.9%股份 [7] 财务预测表 - 涵盖资产负债表、利润表、现金流量表等多方面预测数据,包括各年度货币资金、应收票据、营业总收入等项目及对应增速、比率等指标 [8]