市场扩张和并购 - 2025年3月10日先进制造拟88.48元/股转让19,064,915股给北方华创，金额1,686,863,679.20元[1] - 2025年5月29日先进制造转让股份完成过户，过户后持股为0股[2][3] - 2025年3月31日中科天盛拟85.71元/股转让16,899,750股给北方华创，金额1,448,477,572.50元[4] - 若受让中科天盛股份过户完成，北方华创持股比例将达17.88%成第一大股东[4] - 北方华创计划受让股份改组董事会取得公司控制权，存在不确定性[4]

限制性股票授予 - 授予158万股限制性股票，占2023年股本总额1.15%[3] - 首次授予126万股，占0.92%；预留32万股，占0.23%[3] - 授予价格为34.34元/股（调整后）[3] - 首次授予激励对象160人，预留授予37人[3][4] 归属安排 - 首次授予分四个归属期，比例30%、20%、20%、30%；预留分三个，比例30%、30%、40%[4] - 激励对象归属前须任职12个月以上[5][6] - 首次授予考核年度为2023 - 2026年，预留为2024 - 2026年[7] 业绩考核 - 绩效考核分四档，归属比例100%、100%、80%、0[9] - 未达业绩目标，对应考核年归属股票取消[9] 授予与归属时间 - 2023年8月14日首次授予126万股[14][15] - 2024年5月21日授予32万股预留部分[13][14][15] - 2024年9月首次授予部分归属53.5050万股[15] - 2024年11月首次授予部分归属125.86万股[15] - 2025年5月27日预留授予部分第一个归属期可归属13.92万股[17] 业绩情况 - 2024年营业收入17.54亿元，2023年为17.17亿元，累计较2022年增长150.61%[19] - 2024年公司营收增长率大于对标企业平均且大于0，归属比例100%[19] 本次归属 - 本次归属人数37人，数量13.92万股[21] - 授予价格由50元/股调为34.34元/股[21] - 37名激励对象获授46.40万股，可归属占比30%[22] - 归属条件已成就，37名激励对象符合条件[19][24] - 授予日为2024年5月21日，股票来源定向发行A股[21]

激励计划时间节点 - 2023年7月28日审议通过激励计划相关议案[11] - 2023年7月29日披露激励对象名单[11] - 2023年7月29日至8月8日内部公示拟激励对象[12] - 2023年8月14日股东大会审议通过激励计划相关议案[12] - 2023年8月14日同意调整激励计划并首次授予限制性股票[13] - 2024年5月21日审议通过预留授予预留部分限制性股票议案[13] - 2024年8月15日审议多项激励计划调整议案[14] - 2025年5月27日审议通过预留授予部分第一个归属期符合归属条件议案[15] 激励计划归属情况 - 本次激励计划预留授予日为2024年5月21日，已进入第一个归属期[16] - 37名激励对象符合归属任职期限要求[18] - 公司层面业绩考核归属比例为100%[18] - 个人层面归属比例为100%[19] 激励计划归属数据 - 第一个归属期归属数量为13.92万股[20] - 归属人数为37人[21] - 归属价格（调整后）为34.34元/股[21] - 可归属数量占已获授予总量比例为30%[21] - 股票来源为定向发行公司A股普通股股票[21]

监事会会议召开情况 - 会议于2025年5月27日以现场和通讯相结合方式召开，应出席监事3人，实际到会3人，由监事会主席梁倩倩主持 [1] - 会议通知于2025年5月22日送达全体监事，召集程序符合法律法规及公司章程规定 [1] 限制性股票激励计划审议 - 审议通过2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期事项，37名激励对象符合归属条件，可归属13.92万股限制性股票 [1] - 表决结果为2票同意、0票反对、1票弃权，弃权监事史晓欣因对半导体行业发展前景不确定性存疑而投弃权票 [2] - 激励计划执行依据为《上市公司股权激励管理办法》及公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》 [1] 公司治理动态 - 监事会决议公告强调内容真实性、准确性及完整性，明确法律责任 [1] - 相关公告同步披露于上海证券交易所官网，公告编号2025-039 [2]

公司股权激励计划 - 公司2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期涉及37名激励对象 [1] - 激励对象符合《公司法》《证券法》等法律法规要求，主体资格合法有效 [1] - 本次归属的限制性股票数量为13.92万股 [1] - 监事会审核确认归属条件已成就，同意办理归属手续 [1] 公司治理 - 监事会依据《公司法》《证券法》《上市公司股权激励管理办法》等法律法规进行核查 [1] - 公司股权激励计划符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《公司章程》规定 [1] - 本次股权激励事项不存在损害公司及股东利益的情形 [1]

激励计划 - 2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期有37名激励对象[1] - 37名激励对象对应限制性股票归属数量为13.92万股[1]

会议情况 - 公司于2025年5月27日召开第二届监事会第二十九次会议[2] - 会议应出席监事3人，实际到会3人[2] 激励计划 - 审议通过2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案[3] - 同意37名激励对象归属13.92万股限制性股票[3] 表决结果 - 表决结果为2票同意，0票反对，1票弃权[4] - 监事史晓欣对相关议案投弃权票，因无法判断产业前景[5]

会议情况 - 公司于2025年5月27日召开第二届董事会第三十一次会议[2] - 会议应出席董事8人，实际出席8人[2] 激励计划 - 审议通过2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案[3] - 本次可归属数量为13.92万股[3] - 符合条件的激励对象有37名[3] 表决结果 - 议案表决结果为7票同意，0票反对，1票弃权[5] - 董事胡琨元对激励计划相关议案投弃权票[5] - 弃权理由是无法准确判断未来几年全球及国内半导体产业发展前景[5]

公司业务与产品 - 公司专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，提供半导体装备与工艺整体解决方案 [2] - 已形成前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装及化合物、核心零部件四大业务板块，产品累计出厂超过2000台套 [2] - 是国内唯一可提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，前道高产能涂胶显影机已实现与多款主流光刻机联机量产，完成国内成熟制程工艺节点全覆盖 [2] - 前道物理清洗机市占率稳居国内第一，前道化学清洗机成功打破国外垄断，高温SPM设备完成头部客户工艺验证 [2] - 后道先进封装领域涂胶显影机、单片式湿法设备成为国内客户端主力机型并成功向海外销售 [2] - 临时键合机、解键合机等应用于2.5D封装、HBM等领域的新品陆续推出，核心部件实现国产化替代 [2] 财务表现 - 2024年度实现营收17.54亿元，同比增长2.13%，前道Track、前道清洗、后道先进封装收入均有所提升，小尺寸产品收入下降 [3] - 2024年研发费用2.97亿元，同比增长49.9%，研发费用率17%，同比提升5个百分点，主要用于研发材料及服务费增加 [3] - 2025年一季度收入2.75亿元，同比增长13%，归母利润466万元，同比下降70%，一季度为传统淡季 [4] 订单与研发进展 - 2024年新签订单24亿元（含demo及LOI），同比增长10%，前道化学清洗设备及键合设备成为新增长点 [4] - 高温硫酸清洗设备通过国内领先逻辑客户工艺验证，化学清洗品类获多家大客户订单及验证性订单 [4] - 键合品类签单同比高速增长，成为具有良好增长弹性的细分赛道 [4] - 新一代超高产能架构涂胶显影机、化学清洗机、临时键合及解键合机等多款新产品迭代及研发进展顺利 [3] 行业环境与政策支持 - 国家出台《科技部重点支持集成电路重点专项》《集成电路产业"十三五"发展规划》等政策支持半导体设备产业发展 [4] - 2016-2023年中国大陆半导体设备市场规模从64.60亿美元增长至366亿美元，年均复合增长率28.11%，2024年达495亿美元，同比增长35.25% [5] - 预计到2027年中国大陆将持续保持全球300mm设备支出第一的地位 [5] 股权变动与战略合作 - 北方华创拟参与竞买1689.98万股公司股份，并协议受让1906.49万股，完成后持股比例达17.90% [5] - 北方华创与公司在半导体装备业务上具有产品互补性，有利于协同效应发挥 [6] - 北方华创收购股份事宜已通过北京国资委审批，正在履行交易所合规审批等程序 [6]

报告公司投资评级 - 维持“持有”评级，目标价从人民币 95.00 元略微下调至人民币 90.00 元 [3][15] 报告的核心观点 - 2024 年和 1Q25 季度业绩低于预期，主要因持续进行新产品研发投入，研发费用率占比提升 [1] - 2024 年新签订单有望在 2025 年逐步贡献收入，新产品放量对 2025 年收入贡献可期 [2] - 若北方华创完成对芯源微的股份收购，有望成为第一大股东，对芯源微中长期财务表现有正向带动作用 [2] - 因 1Q25 季度净利润低于预期和 2025 年财年研发费用上升，下调 2025 财年每股收益 32% [3][9] 各部分总结 业绩表现 - 2024 年收入 17.5 亿元，同比增长 2.13%，扣非净利 2.03 亿元，同比下降 19.08% [1] - 1Q25 季度收入 2.75 亿元，同比增长 12.74%，扣非净利 0.05 亿元，同比下降 70.89% [1] 订单情况 - 2024 年新签订单 24 亿元，同比增长 10%，前道涂胶显影机、前道化学清洗机、物理清洗机等产品签单表现良好 [2] - 后道先进封装方面，后道涂胶显影机和单片湿法设备签单量同比增长，新产品临时键合机、解键合机通过多家客户验证 [2] 盈利预测修正 - 预计 2025/26/27 年收入分别增长 29%/30%/24%，2025 年收入增长加速因前道涂胶显影机新产品收入增速有望进一步上涨 [9] - 预计 2025/26/27 年净利率分别达到 12.4%/15.1%/17.3% [9] 估值 - 采用 P/E 估值，目前目标倍数为 69 倍 2025 年 P/E（此前为 50 倍），因市场预期北方华创可能完成股份收购，有利于 2025 - 27 财年收入和利润增长 [15] - 预测芯源微 2024 - 27 年净利润增速 46%，高于同业其他公司平均增速（37%） [15] 财务数据摘要 |项目|2023A|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----|----| |营业收入（RMBmn）|1,717|1,754|2,088|2,933|3,645| |每股收益（RMB）|1.82|1.01|1.29|2.20|3.14| |市盈率（x）|57.4|73.9|74.7|43.7|30.6| |市净率（x）|6.0|5.6|6.7|5.9|5.1| |股本回报率（%）|10.5|7.7|9.0|13.6|16.5| [7] 财务报表 利润表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |涂胶显影设备（RMBmn）|1,041|1,460|2,057|1,649| |单片式湿法设备（RMBmn）|664|766|831|818| |营业收入（RMBmn）|1,754|2,088|2,933|3,645| |营业成本（RMBmn）|(1,093)|(1,356)|(1,900)|(2,369)| |毛利润（RMBmn）|661|732|1,032|1,276| |管理及销售费用（RMBmn）|(650)|(594)|(709)|(741)| |息税前利润（RMBmn）|(4)|114|289|498| |净利润（RMBmn）|203|258|442|630| |基本每股收益（RMB）|1.01|1.29|2.20|3.14| [18] 资产负债表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |流动资产（RMBmn）|3,950|4,456|5,101|5,561| |非流动资产（RMBmn）|1,086|1,078|1,040|974| |资产（RMBmn）|5,036|5,534|6,141|6,535| |流动负债（RMBmn）|1,308|1,175|1,417|1,277| |非流动负债（RMBmn）|1,041|1,470|1,470|1,470| |负债（RMBmn）|2,349|2,645|2,886|2,746| |归属于母公司所有者权益（RMBmn）|2,636|2,866|3,259|3,820| |负债及所有者权益（RMBmn）|5,036|5,534|6,141|6,535| [18] 现金流量表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |净利润（RMBmn）|203|258|442|630| |经营活动产生的现金流量（RMBmn）|200|1,241|(667)|1,223| |投资活动产生的现金流量（RMBmn）|(248)|(236)|(226)|(215)| |筹资活动产生的现金流量（RMBmn）|427|(76)|(49)|(69)| |现金及现金等价物净增加额（RMBmn）|379|928|(941)|938| |自由现金流（RMBmn）|(48)|1,005|(893)|1,007| [20]