核心观点 - 辽宁沈阳从传统工业基地转型为半导体设备产业高地，形成覆盖薄膜沉积、涂胶显影、真空机械手等全产业链的"半导体设备森林"，成为中国半导体设备国产替代的"第三极"[1][12][19] - 半导体设备产业集群已孵化5家科创板上市公司（芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控），2025年辽宁省84家上市公司中高新技术企业占比过半[12][16] - 成功要素包括：工业基础（40/41工业门类）、科研基因（114所高校+中科院系资源）、政策金融支持（国家科技专项+大基金6400亿+科创板）的三重驱动[16][17][21][22][26] - 营商环境质变体现为政府"店小二"式服务（如拓荆科技项目落地问题协调）和全周期上市护航机制（2024年解决企业难题超10项）[28][29] 产业转型路径 历史积淀 - 沈阳铁西区曾为新中国工业核心区，现浑南区形成半导体产业带，2010年获批国家集成电路装备高新技术产业化基地[1][14][17] - 工业门类齐全（40/41大类），精密制造基础支撑半导体设备零部件生产[16] 技术突破 - 拓荆科技：等离子体增强化学气相沉积设备达国际先进水平[16] - 芯源微：国内唯一中高端涂胶显影设备供应商，与光刻机联机运行[16] - 富创精密：全球少数能量产7纳米工艺精密零部件制造商[16] - 中科仪：国内唯一批量应用集成电路的干式真空泵企业[17] 产业集群 - 形成"6+N"体系（6家龙头+57家配套企业），2024年浑南"北方芯谷"推进"一主两翼"空间布局[16][17] - 中科院沈阳分院孵化多家企业：新松半导体（机器人系）、富创精密（沈阳先进制造）、芯源微（自动化所背景）[18] 资本助力机制 政策支持 - 国家科技重大专项完成"0到1"技术突破（如拓荆科技等承担专项研发）[21][26] - 国家大基金三期累计注资6400亿元，和研科技B+轮获大基金二期投资[22] 科创板效应 - 2019-2022年芯源微、拓荆科技、富创精密相继上市，芯源微上市后利润增长8倍[22][26] - 股权激励成效显著（芯源微工程师激励收入达年薪2倍）[26] 地方金融配套 - 沈阳建立"上市快速响应机制"，2025年储备470家后备企业（350家为科技型）[29] - 2024年"创投辽宁"平台发布融资需求300亿元，促成20余家企业获投5.7亿元[32] 发展挑战 创投生态 - 本土创投力量薄弱，存在"地域认知差"风险，2025年拟通过发展大会引入深圳等外部资本[32][33] 产业链短板 - 需补强集成电路设计、芯片产线等环节，推进EDA底座研发、天科合达基地等项目[33] 区域拓展 - 计划复制半导体成功经验至其他产业，目标打造更多全国"新一极"[34]

辽宁半导体产业集群发展 - 辽宁省半导体设备产业集群已形成规模，拥有芯源微、神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控等5家以半导体为主业的上市公司 [2] - 沈阳市集成电路产业集群重点企业数量达57家，形成"6+N"产业发展体系，龙头企业包括拓荆科技、芯源微、富创精密等 [2] - 辽宁省工业门类齐全，拥有国民经济行业41个工业大类中的40个，为半导体设备发展提供坚实基础 [3] 企业技术突破与市场地位 - 拓荆科技的等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积设备达到国际先进水平 [3] - 芯源微成为中高端涂胶显影机国内唯一供应商，前道涂胶显影设备已与光刻机联机运行 [3] - 富创精密是全球少数能量产7纳米工艺制程半导体设备精密零部件的制造商 [3] - 中科仪是国内唯一实现集成电路领域批量应用的干式真空泵制造企业 [4] 科研与产业孵化能力 - 辽宁省科教实力雄厚，拥有114所高等院校，2024年新增10家全国重点实验室 [4] - 中国科学院沈阳分院下属研究所孵化多家龙头企业，如新松半导体源自沈阳自动化研究所 [5] - 沈阳自动化研究所的产业孵化能力突出，孕育了新松半导体、富创精密、芯源微等企业 [5] 资本市场支持与政策助力 - 国家科技重大专项助力半导体设备企业完成"从0到1"的技术突破，国家大基金提供资金支持 [6] - 科创板上市为辽宁半导体企业提供资金和资源，芯源微上市后利润和收入均增长8倍 [7][8] - 辽宁省推出创投支持措施，2024年吸引22只基金注册落地，认缴资金70.92亿元 [12] 产业链完善与未来规划 - 沈阳市推进"一主两翼"产业空间布局，加快集成电路产业集聚发展 [3] - 沈阳谋划集成电路设计、芯片产线等项目，推进亿方联创EDA底座等配套项目落地 [13] - 目标将沈阳建设成为具有国际影响力的集成电路装备产业基地 [14]

5月27日，省政协主席周波到沈阳市就民营经济发展进行调研。 省委常委、沈阳市委书记霍步刚参加调研。 沈阳东方钛业股份有限公司是国家级专精特新"小巨人"企业。周波走进企业展厅，详细了解企业发 展历程及现阶段生产经营情况，在车间实地查看企业核心产品，了解产品技术水平、出口销售等情况。 沈阳富创精密设备股份有限公司是国内半导体设备精密零部件领军企业。周波来到这里，与企业负责人 深入交流，走进生产车间，全面了解企业在产品研发、海内外业务布局、人才培养与激励等方面情况。 在辽宁成大生物股份有限公司，周波走进疫苗制剂车间，了解企业在人用狂犬病疫苗等领域的产品优 势，以及企业不断加大研发投入，加强核心技术攻关等方面情况。 周波来到浑南科技城，在智慧之云展厅了解科技城规划建设情况，特别是在创新平台、创新人才、 创新生态等方面深化改革，推动科技成果转移转化等方面的经验做法。在金科高新材料技术有限责任公 司，周波走进特种金属与高端部件技术创新中心，了解企业开展高纯原料、关键材料、核心零部件、成 套装备等产品研发及其产业化情况，鼓励企业发挥自身优势，立足自主创新，全力突破"卡脖子"问题， 提升我省高端制造业技术水平。 周波在调研中 ...

公司经营业绩 - 2024年度实现营业收入11.36亿元，同比增长103.65% [47] - 归属于上市公司股东的净利润2.14亿元，同比增长166.52% [47] - 扣非净利润2.14亿元，同比增长167.88% [47] - 基本每股收益1.38元/股，同比增长160.38% [47] - 加权平均净资产收益率24.97%，同比增加13.42个百分点 [47] 利润分配方案 - 拟每10股派发现金红利2元（含税），合计派发4047.6万元 [15] - 现金分红比例18.92%，低于30% [16] - 未分配利润3.19亿元将用于研发投入、项目建设等 [19] - 分红比例较低主要因行业资本密集特性及公司发展阶段需求 [17][18] 募投项目变更 - 变更"靖江精密装配零部件制造基地"实施地点 [21] - 新增无锡租赁厂房作为"无锡先研设备模组"项目实施地点 [21] - 实施方式由自建厂房变更为自建+租赁厂房 [21] - 变更原因包括原租赁厂房规划调整及加快产业化进度 [26] 研发投入 - 2024年研发费用6408.32万元，同比增长76.49% [47] - 研发投入占营收比例5.64%，同比下降0.87个百分点 [47] - 累计三年研发投入占营收比例5.64% [17] - 重点投入五大核心技术平台建设 [39] 行业特征 - 半导体行业具有资本密集和技术密集特性 [17] - 产品迭代快、工艺复杂、精度要求高 [17] - 行业周期性明显，需保持技术研发和产能投入 [18] - 国产化进程加速推动公司业绩增长 [47] 公司治理 - 2024年12月完成科创板上市，募集资金5.12亿元 [21] - 拟为公司及董监高购买责任险，保额不超过5000万元/年 [29] - 2025年董事薪酬方案：独立董事津贴15万元/年 [28] - 2025年监事薪酬按岗位绩效领取，不单独发放津贴 [29]