半导体设备自主可控
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半导体设备ETF(561980)单日“吸金”超2700万元,大摩:芯片股“长期牛市逻辑”仍完好无损
21世纪经济报道· 2025-12-19 09:55
12月18日,三大指数涨跌不一,医药、商业航天等表现较好,电池、半导体产业链有所回调。半导体设 备ETF(561980)全天收跌1.97%,但单日获资金净流入超2700万元,实现连续2日"吸金"超3300万 元。 消息面上,摩根士丹利发布最新研报称,在史无前例的人工智能(AI)基建热潮以及传统模拟芯 片/MCU(微控制器)强劲去库存步伐推动之下,芯片股的"长期牛市逻辑"仍然完好无损,明年芯片股 仍有可能是美股市场表现最亮眼板块之一。 此前,机构Omdia根据其最新研究表示,半导体行业2025年第三季度的营收达到2163亿美元,首次突破 单季2000亿美元大关,环比实现14.5%增长。按目前情况预测,2025全年半导体营收将站上8000亿美 元。 Omdia分析指出,半导体行业增长动力从英伟达(NVDA.US)和存储领域向外扩散,以2025年第三季 度营收排名,半导体行业前四大企业分别是英伟达以及三大存储芯片厂商,四家企业合计贡献了全球半 导体行业超过40%的营收。 另外,据证券时报,12月16日,国际半导体产业协会(SEMI)在发布《年终总半导体设备预测报 告》。报告显示,2025年全球原始设备制造商(OEM ...
停牌!A股巨头,刚刚公告
证券时报· 2025-12-18 21:35
杭州众硅主营业务为高端化学机械平坦化抛光(CMP)设备的研发、生产及销售,并为客户提供CMP 设备的整体解决方案;该公司的主要产品为12英寸的CMP设备。中微公司称,此次交易是公司构建全 球一流半导体设备平台、强化核心技术组合完整性的战略举措之一,旨在为客户提供更具竞争力的成套 工艺解决方案。 半导体领域大事件! 12月18日晚间,半导体设备龙头中微公司公告,公司正在筹划购买杭州众硅控股权,股票自12月19日开 市起停牌。 资料显示,杭州众硅主营业务为高端化学机械平坦化抛光(CMP)设备的研发、生产及销售,其主要 产品为12英寸的CMP设备。中微公司表示,通过本次并购,双方将形成显著的战略协同。 二级市场上,自去年9月24日以来,中微公司股价累计涨幅超过130%,最新市值为1708亿元。 中微公司拟收购杭州众硅,明起停牌 中微公司18日晚间在上交所公告,公司正在筹划通过发行股份的方式购买杭州众硅电子科技有限公司 (简称"杭州众硅")控股权并募集配套资金。 公司表示,此次交易尚处于筹划阶段,审计、评估工作尚未完成,标的资产估值及定价尚未确定。经初 步测算,该交易不构成重大资产重组。因交易尚存在不确定性,为避免对 ...
SEMI称中国半导体设备销售三年内都将居于首位,半导体设备ETF(561980)单日上涨2.21%
搜狐财经· 2025-12-18 09:32
全球半导体设备市场展望 - 2025年全球半导体制造设备总销售额预计达1330亿美元,同比增长13.7%,创历史新高;2026年、2027年有望继续攀升至1450亿和1560亿美元 [1] - 增长主要由人工智能相关投资拉动,涵盖先进逻辑、存储及先进封装技术 [1] - 晶圆厂设备(WFE)领域2025年销售额预计增长11.0%至1157亿美元,主要因DRAM及HBM投资强于预期 [1] 中国半导体市场与国产化趋势 - 至2027年,中国大陆有望在预测期内保持半导体设备销售额首位,本土芯片制造商在成熟制程及部分先进节点持续投入 [1] - 中国本土AI芯片自给率预计将从2023年的20%提升至2026年的39%、2027年的57%以及2028年的104% [1] - 供应链安全与自主可控是长期趋势,设备与材料在国产替代顶层设计下逻辑最硬 [2] - 预计2030年中国存储产能有望提升至100万片/月(约占全球20%),未来几年年扩产规模预计超过15万片 [2] - 先进逻辑资本开支未来三年年复合增长率将保持在35%以上,“中国为本”趋势将从成熟制程延伸至先进领域 [2] - 中芯国际、华虹等龙头稼动率接近满产,相关龙头指出中国半导体需求实际支出往往高于预期,2026年中国设备市场规模仍有超预期可能 [2] 半导体设备ETF与市场表现 - 半导体设备ETF(561980)跟踪中证半导指数,该指数聚焦设备、材料、设计等上游国产替代关键环节,三大行业占比超9成,其中半导体设备含量超5成 [3] - 指数覆盖中微公司、北方华创、寒武纪、中芯国际、海光信息等多家龙头公司,前十大集中度将近8成 [3] - 截至12月17日,中证半导指数年内涨幅超过58%、区间最大上涨超80%,在同类半导体指数中均居于首位 [3] - 12月17日,半导体设备ETF(561980)全天收涨2.21%,单日获资金净流入约600万元,最新规模25.09亿元 [5]
半导体设备自主可控是当下强确定性和弹性兼备科技主线 | 投研报告
中国能源网· 2025-12-16 10:03
市场表现与宏观事件 - 本周(2025.12.8-2025.12.12)电子行业指数上涨1.36%,其中半导体子板块领涨3.30%,而光学光电子和消费电子子板块分别下跌1.23%和1.39% [1][2] - 美联储宣布降息25个基点,将联邦基金利率目标区间降至3.50%-3.75%,符合市场预期 [1][2] - 受甲骨文和博通业绩交流不及预期影响,海外科技股大幅下跌,其中费城半导体指数下跌3.58%,英伟达下跌4.05%,博通下跌7.77%,Meta下跌4.33%,苹果下跌0.18%,特斯拉则上涨0.87% [1][2] 行业动态:AI终端与算力 - AI端侧产品呈现井喷式增长,谷歌展示了与XREAL合作的智能眼镜Project Aura,并公布硬件规划:2025年推出与三星等合作的AI眼镜,2026年推出单目光波导AR眼镜,2027年推出双目AR眼镜 [3] - TCL在全球技术创新大会上展示了雷鸟智能眼镜X3Pro、小蓝翼新风AI空调、AI陪伴机器人等产品 [3] - 美国商务部有望允许英伟达向中国出售H200芯片,但将对每颗芯片收取一定费用 [3] - 博通发布第四季度财报,营收达180.2亿美元,同比增长28%,其AI半导体收入预计翻倍至82亿美元 [3] - 甲骨文公布2026财年第二财季业绩,营收与云业务收入均低于市场预期,同时公司上调全年资本开支指引,预计将比此前预期多支出约150亿美元 [3] 行业动态:存储芯片 - 存储芯片供需紧张情况持续,CFM预计2026年第一季度服务器DDR5价格涨幅超40%,其中96GB及以上容量涨幅更为突出 [3] - CFM预计2026年第一季度企业级固态硬盘(eSSD)价格上涨20%至30%,移动端eMMC/UFS价格上涨25%至30%,LPDDR4X/5X价格上涨30%至35% [3] - CFM预计2026年第一季度PC端DDR5/LPDDR5X价格上涨30%至35%,客户端固态硬盘(cSSD)价格上涨25%至30% [3] - 存储模组厂透露,目前NAND缺货程度远超以往,多家同行手中库存仅能维持到2026年第一季度 [4] 投资建议与受益标的 - 合肥长鑫已于今年7月进入辅导期,预计明年长鑫长存的扩产将有较高的同比增速 [5] - 结合先进逻辑厂商的持续扩产,建议关注半导体设备的投资机会 [5] - 报告列举的受益标的包括:北方华创、中微公司、拓荆科技、微导纳米、迈为股份、中科飞测、精测电子、长川科技、精智达、矽电股份等 [5]
开源晨会-20251215
开源证券· 2025-12-15 22:45
2025 年 12 月 16 日 开源晨会 1216 ——晨会纪要 数据来源:聚源 -40% -20% 0% 20% 40% 60% 2024-12 2025-04 2025-08 沪深300 创业板指 昨日涨跌幅前五行业 | 行业名称 | 涨跌幅(%) | | --- | --- | | 非银金融 | 1.594 | | 商贸零售 | 1.489 | | 农林牧渔 | 1.240 | | 钢铁 | 0.911 | | 建筑材料 | 0.907 | | 数据来源:聚源 | | 昨日涨跌幅后五行业 | 行业名称 | 涨跌幅(%) | | --- | --- | | 电子 | -2.423 | | 通信 | -1.891 | | 传媒 | -1.633 | | 机械设备 | -1.363 | | 计算机 | -1.266 | 观点精粹 总量视角 【固定收益】社融新增超市场预期,信贷数据结构分化——2025 年 11 月金融数 据点评-20251215 行业公司 【电子】半导体设备自主可控是当下强确定性和弹性兼备科技主线——行业周报 -20251215 【商贸零售】11 月社零同比+1.3%,整体增速有所承压——行 ...
行业周报:半导体设备自主可控是当下强确定性和弹性兼备科技主线-20251215
开源证券· 2025-12-15 21:02
报告行业投资评级 - 行业投资评级:看好(维持)[1] 报告核心观点 - 核心观点:半导体设备自主可控是当下强确定性和弹性兼备的科技主线 [1] - 投资建议:关注半导体设备的投资机会,主要逻辑在于合肥长鑫IPO推进及先进逻辑厂商持续扩产,预计明年长鑫长存扩产将有较高同比增速 [5] 行业走势与市场表现 - 本周(2025.12.8-2025.12.12)电子行业指数上涨1.36%,其中半导体领涨3.30%,光学光电子下跌1.23%,消费电子下跌1.39% [3] - 海外科技股方面,费城半导体指数下跌3.58%,英伟达下跌4.05%,博通下跌7.77%,特斯拉上涨0.87%,Meta下跌4.33%,苹果下跌0.18% [3] - 美联储宣布降息25个基点,将联邦基金利率目标区间降至3.50%-3.75% [3] 行业动态:终端、算力与存力 - **终端(AI端侧产品)**:谷歌首次展示与XREAL合作的智能眼镜Project Aura,并公布硬件规划:2025年推出与三星等合作的AI眼镜,2026年推出单目光波导AR眼镜,2027年推出双目AR眼镜 [4] - **终端(AI端侧产品)**:TCL全球技术创新大会上,雷鸟智能眼镜X3 Pro、小蓝翼新风AI空调、AI陪伴机器人等产品亮相 [4] - **算力**:美国商务部有望允许英伟达向中国出售H200芯片,但将对每颗芯片收取一定费用 [4] - **算力**:甲骨文2026财年第二财季营收与云业务收入均低于市场预期,但公司上调全年资本开支指引,预计将比此前预期多支出约150亿美元 [4] - **算力**:博通发布第四季度财报,营收180.2亿美元,同比增长28%,其AI半导体收入预计翻倍达82亿美元 [4] - **存力(存储芯片)**:CFM预计2026年第一季度服务器DDR5价格涨幅超40%,其中96GB及以上容量涨幅更为突出 [4] - **存力(存储芯片)**:CFM预计2026年第一季度企业级固态硬盘(eSSD)价格上涨20%-30%,移动端eMMC/UFS价格上涨25%-30%,LPDDR4X/5X价格上涨30%-35% [4] - **存力(存储芯片)**:CFM预计2026年第一季度PC端DDR5/LPDDR5X价格上涨30%-35%,客户端固态硬盘(cSSD)上涨25%-30% [4] - **存力(存储芯片)**:存储模组厂透露,目前NAND缺货程度远超以往,多家同行手中库存仅能维持到2026年第一季度 [4] 受益标的 - 报告列举的受益标的包括:北方华创、中微公司、拓荆科技、微导纳米、迈为股份、中科飞测、精测电子、长川科技、精智达、矽电股份等 [5]
机构预计内存还有50%涨价空间!上游半导体设备ETF(561980)连续五日“吸金”累计2.11亿元,年内份额增超96%
21世纪经济报道· 2025-11-20 10:14
存储芯片价格动态 - 2025年年初内存价格已上涨50%,第四季度预计上涨30%,明年初可能再上涨20% [3] - 英伟达计划在AI服务器中采用手机级内存芯片,可能导致2026年末服务器内存价格翻倍 [3] - 存储领域迎来“价格周期”和“产品迭代周期”共振,资本开支有望超预期高斜率增长 [3] 半导体设备领域催化因素 - 上游半导体设备ETF(561980)最近5个交易日累计净流入2.11亿元,年内份额增幅高达96.6%,最新规模27.50亿元 [1] - ICAD-Expo 2025与中国国际半导体博览会本周相继开幕,汇聚海内外领军企业 [5] - AI高算力需求推动国内先进制程突破与成熟制程扩产,带动设备投资 [5] 晶圆厂产能与行业需求 - 中芯国际三季度折合8英寸月产能首次突破100万片大关,产能利用率高达95.8%,承接大量模拟、存储急单 [5] - 下游晶圆厂的产能建设为上游设备、零部件、材料领域带来确定性增长机遇 [5] - 受外部供应链安全等因素影响,半导体设备与材料的自主可控需求愈加刚性 [5] 市场表现与指数数据 - 2025年以来截至11月19日,电子行业指数年内上涨40%,在31个申万一级行业指数中排名第5 [6] - 中证半导指数年内涨幅达53.42%,区间最大上涨超80%,在主流半导体指数中位居第一 [6][7] - 中证半导指数2025年三季度营收同比增长32.12%,连续10个季度实现同比增长;净利润同比增长27.12% [7] 半导体设备ETF成分与聚焦 - 半导体设备ETF(561980)跟踪中证半导指数,前十大成分股占比超78% [8] - 指数聚焦中微公司、北方华创、寒武纪、中芯国际、海光信息等芯片产业链上/中游公司 [8] - 指数中半导体设备、材料、集成电路设计三行业占比超90%,均为国产创新关键环节 [8]
华源晨会精粹20250928-20250928
华源证券· 2025-09-28 22:08
核心观点 - 北交所市场并购重组活跃度提升 创远信科拟以不超过9亿元交易总价收购微宇天导100%股权 成为北交所"并购六条"政策后第二单发行股份购买资产项目[2][5] - 北交所市场短期震荡但长期看好 周度日均成交额回落至222亿元 北证50指数周跌3.11% 但预计节后将震荡上行 受益于高质量扩容、代码切换及专精特新基金发行[2][6] - 芒果超媒联合八大平台推出《声鸣远扬2025》综艺节目 采用多平台联合创制新模式 预选赛10月启动 总决赛11月开启12场直播[9] - 广电新政驱动长剧市场回暖 芒果超媒剧集储备近百部 包括《水龙吟》《咸鱼飞升》等 微短剧数量同比增长近7倍至1179部[10][11] - 富创精密为半导体设备零部件领军企业 南通工厂2024年投产 新加坡工厂完成海外客户验证 预计2025-2027年归母净利润复合增长率超46%[14][16] - 全球半导体设备市场持续增长 2025年销售额预计达1255亿美元(+7.4%) 2026年达1381亿美元 先进工艺设备资本支出CAGR达18%[15] 北交所市场动态 - 创远信科以18.88元/股发行股份并支付现金收购微宇天导100%股权 交易总价不超过9亿元 微宇天导承建全国80%北斗导航检测中心[5] - 北证50指数周度下跌3.11% 跑输创业板指和科创50 市场整体PE回落至50.83X 日均换手率4.72%[6][7] - 本周3家公司注册(精创电气、大鹏工业、泰凯英) 1家公司过会(蘅东光) 19家公司进入已问询阶段[7] - 建议关注五类标的:新质生产力(广信科技、林泰新材)、高端智造(海达尔、万通液压)、出海(开发科技、同力股份)、消费(锦波生物、康比特)及热点主题(AI+、机器人)[6] 传媒行业与芒果超媒 - 《声鸣远扬2025》由湖南卫视芒果TV联合八家省级卫视与网络平台制作 设立民族/美声/流行多元赛道 采用4K超高清制播技术[9] - 广电新政推出"内容焕新计划" 优化剧集审查机制 鼓励超高清内容与微短剧电视播出[10] - 2025年上半年芒果TV影视剧有效播放量同比增长69% 《国色芳华》集均播放量破4000万[11] - 预计公司2025-2027年营业收入分别为142.22亿元/152.58亿元/166.46亿元 同比增速1.01%/7.29%/9.10%[12] 电子行业与富创精密 - 公司产品覆盖工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路 沈阳、南通、北京、新加坡四大生产基地协同布局[14] - 全球12英寸晶圆产能CAGR=7% 先进工艺产能(7纳米及以下)从2024年85万片/月增长至2028年140万片/月 CAGR=14%[15] - 半导体设备零部件市场规模占设备市场50%-55% 公司掌握精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等核心技术[15][16] - 预计2025-2027年归母净利润2.76亿元/4.48亿元/6.33亿元 同比增长36.39%/62.11%/41.27%[16] 市场数据表现 - 创业板指年初至今涨幅52.95% 科创50涨幅51.87% 北证50涨幅49.92%[3] - 本周主要指数表现:上证指数-0.65% 创业板指-2.60% 沪深300-0.95% 中证1000-1.45% 科创50-1.60% 北证50-1.81%[3]
富创精密(688409):半导体设备零部件领军者,平台化构筑全链路优势
华源证券· 2025-09-26 17:39
投资评级 - 首次覆盖给予"增持"评级 预计2025-2027年归母净利润分别为2.76亿元、4.48亿元、6.33亿元 同比增长36.39%、62.11%、41.27% 对应PE分别为80倍、49倍、35倍 [5][7][78] 核心观点 - 富创精密是国内半导体设备精密零部件领军企业 专注于金属材料零部件精密制造技术 产品涵盖机械及机电零组件、气体传输系统等 已通过国内外领先设备制造商认证 [6][9][14] - 全球半导体晶圆产能持续增长 预计2024-2028年全球12英寸产能以7%的复合年增长率增长 先进工艺产能(7纳米及以下)从2024年85万片/月增长至2028年140万片/月 CAGR=14% [6][9][54] - 先进工艺设备资本支出预计从2024年260亿美元增长至2028年500亿美元以上 CAGR=18% 2025年全球半导体设备销售额预计达1255亿美元 同比增长7.4% 2026年有望达1381亿美元 [6][56] - 半导体设备零部件市场规模约为全球半导体设备市场规模的50%-55% 富创精密已实现相关零部件量产 有望助力国内半导体设备自主可控进程 [6][9][61] 公司业务与产品 - 产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件 包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路 2024年重新划分为机械及机电零组件和气体传输系统两大核心产品线 [14][16] - 机械及机电零组件:用于构建框架、支撑功能实现及参与核心工艺环节的半导体设备零部件 涵盖工艺类、结构类、机电一体类及模组化组件 代表性产品包括腔体、内衬、匀气盘等 [17] - 气体传输系统:半导体工艺设备的核心集成式气体供应模组系统 包括气柜和气体管路两大核心模块 具备高安全气密性、耐强腐蚀性及精密流量控制等特性 [20][21] - 2024年机械及机电零组件、气体传输系统、其他业务营收分别为20.84亿元、8.79亿元、0.76亿元 占比分别为69%、29%、3% [33] 技术优势 - 在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等关键环节具备领先技术能力 各项工序核心技术均为自主研发 [6][9][68] - 精密机械制造技术包括高精密多工位复杂型面制造技术、高精密微孔制造技术、不锈钢超高光洁度制造技术 可加工最大传输平台腔体长度达3.23米 最小孔径0.3毫米 [69] - 表面处理特种工艺包括耐腐蚀阳极氧化技术、高洁净度精密清洗技术、高性能化学镀镍技术、等离子喷涂氧化钇涂层技术 产品洁净度、真空度、耐腐蚀性达到主流国际客户标准 [70][71] - 焊接技术包括电子束焊接技术、激光焊接技术、真空钎焊和超洁净管路焊接技术 全面覆盖半导体设备精密零部件制造需求 [72] 产能布局与客户 - 在沈阳、南通、北京、新加坡积极推进产能布局 南通富创作为IPO募投项目于2024年结项投产 北京富创部分完成验收 新加坡富创完成海外龙头客户验证 [6][14][23] - 2024年境内、境外、其他业务营业收入分别为20.67亿元、8.97亿元、0.76亿元 占比分别为67.99%、29.50%、2.51% 海外重点客户营收同比增长超40% [37] - 2024年前五大客户收入占主营业务比重78.81% 同比提升 前五大客户收入同比增长超过50% [48][49] 财务表现 - 2024年实现营业收入30.4亿元 同比增长47.14% 归母净利润2.03亿元 同比增长20.13% [30] - 2025H1实现营收17.24亿元 同比增长14.44% 归母净利润0.12亿元 同比下滑89.92% 主要系关键资源、先进产能、人才方面的前瞻性投入 [30] - 2024年毛利率25.80% 净利率5.43% 机械及机电零组件、气体传输系统、其他业务毛利率分别为27.91%、21.19%、21.07% [41] - 2024年销售、管理、研发、财务费用率分别为1.99%、11.24%、7.28%、0.49% 管理费用同比增长54.79% [45] 盈利预测 - 预计2025-2027年营业收入分别为40.10亿元、52.86亿元、69.51亿元 同比增长31.94%、31.80%、31.51% [5][8][77] - 机械及机电零组件:预计2025-2027年营收增速分别为25.50%、26.20%、26.30% 营收分别为26.16亿元、33.01亿元、41.69亿元 [8][77] - 气体传输系统:预计2025-2027年营收增速分别为46.50%、42.50%、40.20% 营收分别为12.88亿元、18.35亿元、25.73亿元 [8][77] - 其他业务:预计2025-2027年营收增速均为40.00% 营收分别为10.70亿元、1.50亿元、2.09亿元 [8][77] 行业与市场 - 半导体设备零部件性能要求较高 具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特性 生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺等多个领域 [50][51] - 全球半导体设备零部件格局较为分散 领先企业主要来自欧洲、美国和日本等地区 国内厂商中富创精密、珂玛科技、江丰电子等已实现相关零部件量产 [65] - 零部件企业趋向多工艺、多品类、模组化 工艺技术水平要求不断提升 晶圆制程向更先进工艺发展 零部件精密度、洁净度要求预计将提升 [64]
半导体设备行业观点汇报
2025-09-26 10:29
半导体设备行业研究关键要点 行业与公司 * 行业为半导体设备及零部件行业 公司包括拓荆科技 华创 中微公司 中科飞测 精测电子 长川科技 金海通 华峰测控 北方华创 维导纳米等[1][2][15] 核心观点与论据 * 地缘政治紧张和许可证限制加速中国半导体设备 材料和零部件的自主可控进程 半导体设备板块估值合理 值得重点关注[1][3] * 光刻机是半导体设备中最关键的子领域 国内正处于从0到1的突破阶段 但高端DUV和EUV光刻机进口受阻 国产替代需求迫切[1][5] * 国内薄膜沉积和刻蚀技术发展较好 拓荆科技在CVD领域表现突出 华创在PVD领域领先 中微公司和华创在刻蚀领域实现了较成功的国产替代 自主可控水平较高[1][6][7] * 检量测设备国产化率较低 不超过15% 中科飞测 精测电子等公司虽有突破 但大规模放量仍需时日[1][8] * 后道测试与分选设备如长川科技 金海通 华峰测控已取得突破 并且盈利能力强[1][9] * 半导体设备行业关注点在于光刻机国产突破和下游先进逻辑与存储扩产[1][10] * 国内晶圆代工厂成熟制程投资稳定 先进制程(AI算力芯片)需求旺盛但供给不足 受限于核心光刻机设备被禁[11][12] * 存储领域NAND和DRAM扩产动力强劲 长鑫存储三期扩产预计将带来数百亿人民币的国产设备需求 长川产能约13万片 占全球8% 预计明年全球占比提升至15% 即24万片 需要约9万片扩产 对应700-900亿人民币设备投资空间 DRAM尤其是HBM需求迫切 推动相关封装生产[1][13] * 半导体设备零部件国产化相对滞后 国产化率仍然偏低 但其分散性高 对美国依赖度较低 市场具有小批量 多品种 定制化和多样化的特点 随着中美关系变化 国产化需求显现[2][14][16][17] * 建议关注平台型公司(北方华创 中微公司 拓荆科技)和特色公司(中科飞测 精测电子) 以及光刻机相关企业 具体零部件类型建议关注管道 阀门 陶瓷件 机械加工件以及喷淋头等[2][15][18] 其他重要内容 * 半导体设备是一个全球市场规模超千亿美元的大行业 细分领域包括光刻机 薄膜沉积 刻蚀 检量测 清洗和去胶等 其中光刻机 薄膜沉积和刻蚀设备是前道三大主设备 价值量排名前三[4] * 全球光刻机领军者是ASML 其DUV使用193纳米或248纳米光源 可实现7纳米制程 EUV使用13.5纳米光源 适用于3纳米及以下制程 尼康和佳能市占率较低[5] * 维导纳米专注于ALD 并逐渐涉足CVD[6] * 刻蚀技术包括CCP和ICP 中微公司最初专注于CCP现在也涉足ICP 华创则从ICP扩展至CCP[7] * 美国撤销了一些中国境内晶圆厂的许可证 加大了国外企业在中国生产芯片的难度[3] * 国内企业如寒武纪 海光信息 华为升腾等订单充足 英伟达产品在国内拓展受阻[12]