投资评级 - 投资评级为“买入”，并予以维持 [8] 核心观点 - 报告认为中微公司业绩保持快速增长，薄膜沉积设备获得突破，平台化战略持续推进，未来业绩有保障 [1][5][12] 财务业绩表现 - 2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40%，归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [2][5] - 2025年第三季度单季营收31.02亿元，同比增长50.62%，环比增长11.29%，归母净利润5.05亿元，同比增长27.50%，环比增长28.62% [2][5] - 公司前三季度经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元，同比增长385.23% [12] - 预计2025-2026年公司有望实现营收119亿元、157亿元，实现归母净利润24.0亿元、33.6亿元 [12] 业务分项进展 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [12] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69% [12] - 针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升，多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [12] 研发与技术创新 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44%，研发支出占营业收入比例约为31.29% [12] - CCP刻蚀设备中，60:1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配，下一代90:1设备即将进入市场 [12] - ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性已达单原子水平 [12] - 为先进存储和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已顺利进入市场，性能达国际领先水平 [12] - 硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证并获得认可，更多化合物半导体外延设备正在开发中 [12] 产能扩张与未来规划 - 位于南昌的约14万平方米和上海临港的约18万平方米生产研发基地已投入使用，产能大幅提升 [12] - 上海临港滴水湖畔约10万平方米的总部大楼暨研发中心在顺利建设中 [12] - 公司规划在广州增城区及成都高新区建造新的生产和研发基地，以保障未来十年产能需求 [12] 运营指标与订单情况 - 公司存货和合同负债同环比提升，印证公司订单继续增长 [12]

财务业绩表现 - 3Q25公司营收31亿元，同比增长50.6% [2] - 2025年前三季度公司营收80.6亿元，同比增长46.4% [2] - 3Q25公司净利润5.1亿元，同比增长27.5% [2] - 2025年前三季度公司净利润12.1亿元，同比增长32.7%，EPS 1.94元 [2] - 3Q25合同负债43.9亿元，环比增长39%，显示新增订单增长快于收入确认 [1][2] - 2025年前三季度综合毛利率39.1%，较上年同期下降3.1个百分点 [2] 业务分部增长 - 刻蚀设备收入61亿元，同比增长约38% [2] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4亿元，同比增长约1333% [2] 未来增长前景与战略 - 公司预计未来五到十年，通过自主研发及外延并购，覆盖集成电路关键领域超过60%的设备市场 [1][2] - 公司作为国内半导体刻蚀设备龙头，正不断向薄膜、量检测等领域扩张 [1] 行业环境与机遇 - 美国对中国半导体产业持续施压，造成关键设备及工具断供威胁 [3] - 中国在高阶GPU产品、存储产品的需求缺口急需用先进制程填补 [3] - 未来中国将有更多资金、政策向光刻机、EDA工具等先进制程倾斜，有望迎来新一轮先进工艺产能扩张 [3] - 公司作为国内核心半导体设备企业，在刻蚀、薄膜领域有技术储备，有望在中国发展先进制程过程中受益 [3] 盈利预测与估值 - 预计2025-27年净利润分别为21亿元、30.9亿元和40.3亿元，YOY分别增长31%、46%和30% [3] - 预计2025-27年EPS分别为3.42元、4.97元和6.48元 [3] - 目前股价对应2025-27年PE分别为82倍、57倍和44倍 [3]

投资评级与目标价 - 投资评级为“买进”（Buy）[7] - 目标价为360元[1] 核心观点 - 报告公司第三季度营收增长超预期，合同负债环比显著提升，显示新增订单增长强劲[7] - 作为国内半导体刻蚀设备龙头，公司正通过自主研发和外延并购拓展至薄膜、量检测等领域，目标覆盖集成电路关键设备市场超60%[7] - 受益于中国先进制程扩张和半导体设备本土化需求，公司有望进一步提升市场份额[10] - 当前股价对应2027年市盈率44倍，估值具备吸引力[7] 财务表现分析 - 3Q25营收31亿元，同比增长50.6%；净利润5.1亿元，同比增长27.5%[10] - 2025年前三季度营收80.6亿元，同比增长46.4%；净利润12.1亿元，同比增长32.7%[10] - 前三季度综合毛利率39.1%，较去年同期下降3.1个百分点[10] - 截至3Q25合同负债43.9亿元，环比增长39%，显示订单增长强劲[10] 业务细分与增长动力 - 刻蚀设备收入61亿元，同比增长约38%[10] - 薄膜设备（LPCVD和ALD）收入4亿元，同比增长约1333%[10] - 产品组合以销售专用设备为主，占比79%；备品备件占比19%[2] - 公司预计未来五到十年通过技术拓展覆盖超过60%的集成电路关键设备市场[7] 市场与行业前景 - 中国半导体产业面临美国技术限制，但政策与资金将向先进制程倾斜，推动新一轮产能扩张[10] - 公司作为国内核心半导体设备企业，在刻蚀和薄膜领域技术储备雄厚，有望直接受益于本土化趋势[10] 盈利预测与估值 - 预计2025-2027年净利润分别为21亿元、30.9亿元、40.3亿元，同比增长31%、46%、30%[10] - 对应每股收益（EPS）分别为3.42元、4.97元、6.48元[9] - 当前股价对应2025-2027年市盈率分别为82倍、57倍、44倍[10]

公司业绩 - 科创半导体设备ETF（588710）重要成份股2025年第三季度报告整体业绩大幅超越市场预期，营收情况均保持良好增长 [1] - 成份股前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入同比增长超13倍 [1] 行业趋势与政策 - 半导体产业高景气度得到验证 [1] - “十五五”规划建议提出“实现科技自立自强水平大幅提高”的发展目标，半导体产业国产替代步伐有望进一步加速 [1] - 政策引导和行业基本面回暖形成双重驱动 [1] - 申万宏源证券指出，政策布局和产业趋势共振产生较强方向，2025年的方向是AI、机器人和半导体 [1] 产品表现与资金流向 - 科创半导体设备ETF（588710）连续25个交易日（25/9/17-25/10/29）单日成交额均保持在1亿元以上 [1] - 期间资金累计净流入达6.66亿元，资金密集布局迹象明显 [1] 产品结构与特点 - 科创半导体设备ETF（588710）标的指数为上证科创板半导体材料设备主题指数，高度聚焦半导体设备和半导体材料两大上游环节 [1] - 截至2025年10月29日，“半导体设备+半导体材料”行业权重占比高达84.45% [1] - 指数聚焦科创板的编制方案放大硬科技成色，ETF适用单日20%的涨跌幅限制，弹性更大 [1]

公司财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 2025年前三季度归属于上市公司股东净利润为12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 核心业务刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [1] 业务增长亮点 - LPCVD和ALD等薄膜设备收入达4.03亿元，呈现爆发式增长，同比增长约1332.69% [1] - 薄膜设备业务继上半年608.19%高增长后持续成为亮点 [1] - 各项主营业务有力推进，为公司整体收入增长提供坚实支撑 [1] 研发投入与创新 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44% [1] - 研发投入占营业收入比例约31.29%，远高于科创板上市公司平均水平 [1] - 多款关键核心设备顺利推进且研发周期大幅缩短，展现对前沿技术布局与产品差异化战略的坚定执行 [1]

财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 2025年前三季度实现归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，是主要收入来源 [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69% [1] 研发投入与产出 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长63.44% [1] - 研发支出占营业收入比例为31.29% [1] - 公司在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备正在开发 [1] - 新产品开发速度显著加快，从过去的3-5年缩短至2年或更短 [1] 产品与技术进展 - 高端刻蚀产品新增付运量显著提升，应用于先进逻辑和存储器件制造 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现大规模量产 [1] - 公司有望在未来几年加速、大规模地推出多种新产品 [1] 产能扩张 - 随着成都研发及生产基地建设启动，公司未来厂房总面积将达到75万平方米 [2]

主要股指及半导体指数表现 - 10月29日A股主要股指普遍上涨，沪指涨0.70%报收4016.33点，深成指涨1.95%报收13691.38点，创业板指涨2.93%报收3324.27点 [1] - 同日半导体相关ETF表现分化，科创半导体ETF跌0.07%，半导体材料ETF涨0.37% [1] - 隔夜美股费城半导体指数上涨1.85%，成分股中应用材料涨3.56%，美光科技涨2.13%，恩智浦半导体跌3.87% [1] 半导体设备公司业绩 - 中微公司2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40%，归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [2] - 中微公司前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长1332.69% [2] - 盛美上海2025年第三季度营业收入18.81亿元，同比增长19.61%，归母净利润5.70亿元，同比增长81.04% [2] 产业政策与资本动向 - 中央企业战略性新兴产业发展专项基金在北京启动，首期规模510亿元，中国国新出资150亿元 [2] - 基金出资方包括北京金融街资本运营集团、中移资本、中国石化集团资本、中国石油集团昆仑资本、中国电信集团投资有限公司等 [2] 行业前景与投资逻辑 - 多模态大模型发展有望进一步拉动算力需求，国内互联网厂商加码AI投入 [3] - AI发展有望带动存储芯片行业周期上行，国内存储厂预计为明年国内晶圆厂资本支出贡献主要增量 [3] - 科创半导体ETF跟踪的指数囊括科创板中半导体设备（61%）和半导体材料（23%）公司 [3] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、天花板较高属性 [3]

公司财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 归属于上市公司股东净利润12.11亿元，同比增长 [1] - 毛利较上年同期增长约8.27亿元 [1] 核心业务表现 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入达4.03亿元，呈现爆发式增长，同比增长约1332.69% [1] 产品与技术进展 - 针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产 [1] - CCP刻蚀产品中，60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，量产指标稳步提升，下一代90比1超高深宽比介质刻蚀设备正在开发 [1] 增长驱动因素 - 前三季度营业收入增长46.40%带动毛利增长 [1] - 市场对公司开发多种新设备的需求急剧增长 [1]

财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 前三季度归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 毛利润较上年同期增长约8.27亿元 [1] - 研发支出较上年同期增长9.79亿元，增幅约63.44%，占营业收入比例约为31.29% [1] - 计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元 [1] 业务收入构成 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69% [1] 研发与产品进展 - 在研项目涵盖六类设备、超二十款新设备的开发 [2] - 新设备开发周期从三到五年缩短至两年或更短 [2] - 60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，下一代90比1设备即将进入市场 [3] - 适用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度达单原子水平 [3] - LPCVD、ALD等多款薄膜设备性能达国际领先水平，覆盖率不断增加 [3] - 硅和锗硅外延EPI设备已进入客户端量产验证并获得高度认可 [3] - 更多化合物半导体外延设备已陆续付运至客户端验证 [3] 市场地位与交付 - 等离子体刻蚀设备已应用于国际一线客户从65纳米到5纳米等先进集成电路制造线及先进存储、封装线 [4] - CCP和ICP刻蚀机可覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求 [4] - 高端刻蚀产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段刻蚀和存储器超高深宽比刻蚀实现大规模量产 [2] - 过去14年营业收入年均增长大于35%，2025年上半年营业收入达49.61亿元，同比增长43.9% [4]

财务业绩摘要 - 2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 2025年前三季度净利润12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 第三季度单季营业收入31.02亿元，同比增长50.62% [2] - 第三季度单季归属于上市公司股东的净利润5.05亿元，同比增长27.50% [2] 收入构成分析 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，是公司主要收入来源 [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%，呈现爆发式增长 [1] 盈利能力与效率 - 年初至报告期末加权平均净资产收益率为5.87%，较上年同期增加0.91个百分点 [2] - 基本每股收益为1.94元/股，同比增长31.08% [2] - 扣除非经常性损益后的净利润为8.87亿元，同比增长9.05% [2] 现金流与研发投入 - 经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元，同比大幅增长385.23% [2] - 研发投入合计25.23亿元，同比增长63.44% [2] - 研发投入占营业收入的比例为31.29%，较上年同期增加3.26个百分点 [2] 资产与股东权益 - 报告期末总资产297.87亿元，较上年度末增长13.61% [2] - 报告期末归属于上市公司股东的所有者权益为214.72亿元，较上年度末增长8.79% [2] 股份减持计划 - 公司回购专用证券账户计划减持不超过209.63万股，占公司总股本的0.33% [3] - 减持期间为2025年11月20日至2026年2月19日 [3] - 减持原因为完成回购股份的后续处置，所得资金将用于补充公司日常经营所需流动资金 [3]