公司自成立以来持续构建覆盖精密制造全链条的核心技术体系，重点深耕精密机械制造技术、表面处理 特种工艺、焊接工艺及气体传输系统集成技术等几大关键领域。通过持续研发投入，公司在上述领域形 成了差异化技术壁垒，相关技术已深度融入半导体设备向先进制程迭代的产业需求，并在工艺性能优 化、量产良率提升方面产生积极作用，有效推动半导体装备关键零部件向先进制程迈进。 "公司坚持大客户战略，依托平台化与国际化的协同布局，提升对全球半导体设备龙头企业的综合服务 能力。在技术上，持续研发创新，保持技术领先性，并通过共性技术平台实现工艺整合与智能化生产； 在产能上，预先储备产能，服务于国内外半导体设备龙头公司。"富创精密表示。 据介绍，智能制造能力是富创精密的核心竞争力，公司自2018年起布局智能制造，目前已完成8大核心 系统与10个数字化平台部署。公司通过构建半导体精密零部件共性技术平台，系统性提升开发周期、制 造能力与产品质量水平。在智能工艺领域，公司持续进行技术升级，气柜、机加智能工艺均迭代至2.0 版本，降低质量问题的发生率。面向未来，公司将深化智能制造战略、深化AI驱动的智能化系统，为 全球半导体设备商提供兼具更高可靠性及 ...

投资评级 - 投资评级为“增持”（首次）[2][9] 核心观点 - 公司是国内领先的半导体设备精密零部件制造商，深耕该领域多年，掌握了精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等完整交付能力的制造技术 [9][13] - 公司成长迅速，2025年上半年实现营收17.24亿元，同比增长14.44% [9][28] - 预计公司2025至2027年的PE值为101.5/49.3/36.3倍，EPS为0.64/1.32/1.79元，半导体设备精密零部件产品为高端项目，有较大发展潜力 [9][51] 公司简介 - 富创精密成立于2008年，是国内半导体设备精密零部件龙头企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商 [13] - 公司产品覆盖四大类：工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路 [13][19][20] - 公司发展历程分为技术奠基与国产化破冰阶段（2008-2014年）、快速发展阶段（2014-2018年）和高速发展阶段（2018年至今）[13][14] - 核心技术矩阵包括精密机械制造技术、表面处理特种工艺、焊接工艺和气体传输系统集成技术四大支柱 [17][18] - 截至2025年6月底，公司创始人、董事长郑广文先生直接持股4.84%，为公司实际控制人 [21] 行业景气度与市场空间 - 根据SEMI预测，2025年全球半导体设备销售额将达1255亿美元，同比增长7.4%，2026年有望增长至1381亿美元 [24][27] - 2025年全球半导体零部件市场规模将超过600亿美元，中国大陆市场规模有望超过263亿美元 [9][27] - 全球晶圆产能从2024年底至2028年将以7%的复合年增长率持续扩张，先进工艺（7纳米及以下）产能预计从每月85万片增至140万片，增幅约69% [24] - 先进工艺设备资本支出预计从2024年的260亿美元攀升至2028年的500亿美元以上，年复合增长率达18% [24] 财务表现与业务分析 - 公司2024年营业收入为30.40亿元，同比增长47.14%；2025年上半年营业收入为17.24亿元，同比增长14.44% [28] - 2025年上半年经营活动产生的现金流量净额约为1.50亿元，由负转正 [28][29] - 2025年上半年营业成本约为12.67亿元，同比增长14.07%；销售费用同比增长42.42%至0.38亿元；管理费用同比增长33.58%至2.19亿元；研发费用同比增长18.12%至1.21亿元 [31] - 2025年上半年归属于上市公司股东的净利润约为0.12亿元，同比下降89.92%，主要因公司增加前瞻性投入导致利润短期承压 [33] - 盈利预测：预计2025-2027年营业收入分别为41.73亿元、56.51亿元、69.82亿元，毛利率分别为26.40%、25.70%、25.73% [7][49] 产能与全球化布局 - 公司构建全球化产能矩阵，在沈阳、南通、北京及新加坡均积极推进产能布局 [9][38] - 南通富创IPO募投项目已于2024年结项并投产；北京工厂预计2025年投产；新加坡工厂已于2024年通过核心客户认证并实现交付 [38] - 公司采取多工厂物理隔离运营模式，严格执行客户知识产权保护措施，形成“可信制造环境” [39] - 公司构建平台化技术底座，实现“全球协同、本地执行”的制造模式 [40][41] 产品研发与战略进展 - 在匀气盘领域，螺纹斜孔匀气盘已实现规模化量产；加热匀气盘于2025年上半年完成研发并推进客户验证；交叉孔焊接匀气盘实现量产突破 [43] - 2025年上半年，公司部分大客户匀气盘订单同比增速分别达74%和236% [43] - 公司金属加热盘研发成功突破海外技术壁垒，实现多型号量产，并成为国内主流客户主要供应商 [43] - 公司联合战略投资人收购国际品牌Compart，获得气体传输系统全产业链技术能力，2025年上半年该业务订单同比增长53%，营收同比增长21% [45][46] - 公司持续推进智能工艺平台建设，2025年上半年钣金业务形成智能工艺1.0版本，机加智能工艺迭代至3.0版本，部分工艺编制效率提升超50% [44]

公司业务与定位 - 公司是国内领先的半导体设备精密零部件制造商，自2008年成立以来一直专注于核心金属零部件制造 [1] - 公司掌握了精密机械制造、高洁净度表面处理、焊接、组装、检测等完整交付能力的制造技术 [1] - 公司产品为高端项目，有较大发展潜力 [2] 财务表现 - 2025年上半年实现营业收入17.24亿元，同比增长14.44% [1] - 公司2022年以来连续三年营业收入保持增长，保持稳健增长态势 [1] - 公司增加前瞻性投入，导致利润短期承压 [1] 行业市场规模 - 根据SEMI预测，2025年全球半导体设备销售额将达1255亿美元 [1] - 据此推算，2025年全球半导体零部件市场规模将超过600亿美元 [1] - 2025年中国大陆半导体零部件市场规模有望超过263亿美元 [1] 产能与战略布局 - 公司构建全球化产能矩阵，在沈阳、南通、北京及新加坡均积极推进相关产能布局 [1] - 公司产能可满足全球半导体设备领域对精密零部件制造的系统化、标准化及可追溯性要求 [1]

投资评级 - 报告对股票的投资评级为“买入”，且为“维持”该评级 [2] 核心观点与投资建议 - 报告核心观点认为公司正紧抓半导体国产化契机，积极布局半导体设备及厂务端零部件，业务规模持续增长 [5] - 公司受益于半导体行业国产化及国产替代加快趋势，2025年前三季度实现营收22.55亿元，同比增长4.31% [5] - 公司在食品饮料领域通过“设备+包材”业务模式增强客户黏性，产品市占率稳步增长 [5] - 公司全资子公司方新精密拟投资20亿元建设半导体核心零部件项目，达产后预计年产值超15亿元 [6] - 投资建议基于预测，预计公司2025/2026/2027年收入分别为30.19亿元、34.34亿元、39.53亿元，归母净利润分别为1.92亿元、2.58亿元、3.57亿元 [7] 公司基本情况 - 公司最新收盘价为52.72元，总股本为4.08亿股，总市值为215亿元 [4] - 公司52周内最高价/最低价分别为74.78元/23.35元，资产负债率为61.5%，市盈率为94.14 [4] - 公司第一大股东为李水波 [4] 盈利预测与财务指标 - 预测公司2025年营业收入为30.19亿元（同比增长5.95%），2026年为34.34亿元（同比增长13.76%），2027年为39.53亿元（同比增长15.11%） [10] - 预测公司2025年归母净利润为1.92亿元（同比下降15.37%），2026年为2.58亿元（同比增长34.53%），2027年为3.57亿元（同比增长38.69%） [10] - 预测公司2025年每股收益（EPS）为0.47元，2026年为0.63元，2027年为0.88元 [10] - 预测公司市盈率（P/E）将从2025年的112.24倍下降至2027年的60.15倍 [10] 相对估值分析 - 相对估值参考A股半导体设备零部件公司，可比公司2025年一致预期PS均值为9.65倍 [11] - 公司2025年预测PS为7.12倍，低于可比公司均值，2026年及2027年预测PS分别为6.26倍和5.44倍 [12]

投资评级 - 报告对富创精密的投资评级为“增持” [1] 核心观点 - 报告认为富创精密25Q3收入进一步提速，先进制程ODM逻辑开始显现，公司作为国内半导体设备零部件龙头，受益于行业壁垒提升和模式转变，进入新一轮扩张期 [1][3][5] 财务表现与预测 - 2025年前三季度公司收入27.3亿元，同比增长18.0%，其中第三季度单季收入10.1亿元，同比增长24.5%，增速继续提升 [3] - 2025年第三季度公司归母净利润2521万元，扣非归母净利润2167万元，连续两个季度实现盈利 [4] - 2025年第三季度公司毛利率为22.2%，环比下降6.2个百分点；期间费用率为20.2%，环比下降1.9个百分点，规模效应开始显现 [4] - 报告维持2025-2027年营收预测为39.23亿元、51.17亿元、70.11亿元，同比增速分别为29.1%、32.0%、35.4% [6] - 报告调整2025-2027年归母净利润预测至1.03亿元、1.96亿元、4.42亿元，同比增速分别为-49.4%、91.3%、125.3% [6][9] 业务分析 - 分业务看，机械及机电零组件业务产品竞争力持续强化，新品如匀气盘、金属加热器实现量产，判断仍为收入主要来源 [3] - 气体传输系统业务结合中报情况判断收入保持高增，已成为公司第二增长曲线 [3] - 截至第三季度末，公司合同负债同比增长47%，推测系国内头部客户先进制程需求显著提升 [3] 行业趋势与公司定位 - 在先进制程全面制裁背景下，精度冗余压力转移到底层零部件，工艺难度和定制化要求提升，行业对ODM模式需求迫切，盈利水平和体量天花板被打开 [5] - 富创精密是全球少数具备量产7nm水平的零部件厂商，产品全面布局金属、非金属以及气体输送系统 [5] - 2024年国内半导体设备零部件市场需求超200亿美元，成长空间广阔 [5] - 公司全球化产能建设完毕，一站式生产体系梳理清晰，零部件龙头进入新一轮扩张期 [5]

IPO进展与财务表现 - 公司冲刺科创板IPO已回复审核问询函并更新招股书财务数据[1] - 2025年上半年营业收入为3.04亿元 2022年至2024年营业收入分别为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元[7] - 2025年上半年归母净利润为6942.42万元 2022年至2024年归母净利润分别为2638.97万元、8053.58万元、1.43亿元[7] - 主营业务毛利率持续提升 从2022年的41.65%升至2025年上半年的49.03%[7] - 2025年上半年研发费用为4330.84万元 较上年同期大幅增加72.63%[8] - 截至2025年8月31日公司在手订单规模为1.03亿元[7] 产品与技术发展 - 公司自研产品收入占比超过80%[3] - 等离子体射频电源产品收入从2022年的2740.26万元增长至2025年上半年的12170.77万元 占比从27.74%提升至52.30%[4] - Aspen系列产品收入占比快速提升 从2022年的0.02%增长至2025年上半年的31.12%[4] - 2025年1月开始研发新一代Cedar系列产品 可支撑5纳米及以下先进制程 预计2026年二季度实现销售[4] - 产品已发展至CSL、Bestda、Aspen/Basalt三代系列 主要面向半导体领域[3] 市场地位与竞争格局 - 2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统国产化率不足12%[5] - 公司2024年在半导体领域市场份额为6.1% 位列国产厂商第一 整体中国大陆市场份额为3.8%[5] - 全球等离子体射频电源系统市场主要由MKS、AE等海外厂商垄断[5] - 竞争对手英杰电气部分型号射频电源已实现量产 覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程 并已成为中微公司供应商[6] - 北方华创微电子通过收购和整合加紧布局射频电源业务[6] 客户集中度与依赖风险 - 第一大客户拓荆科技销售占比极高 2025年上半年达62.06% 2022年至2024年占比分别为45.23%、58.16%、63.13%[8][9] - 拓荆科技是公司2024年第一大等离子体射频电源系统供应商 前十大零部件供应商[10] - 双方合作范围从PECVD设备扩展至PEALD设备、HDPCVD设备及先进封装的键合设备领域[10] - 2025年上半年公司新增了屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等客户[11] - 2024年对中微公司、北方华创、微导纳米已实现收入4288.56万元、2813.65万元和2306.19万元[11] 信用政策与应收账款 - 2025年上半年将拓荆科技的信用政策从30天延长至60天[1][12] - 应收账款账面余额持续走高 2025年6月30日达13023.87万元 占营业收入比例从2022年的12.63%升至42.83%[13] - 对拓荆科技的应收账款账面余额占比为58.82%[13] - 应收账款周转率从2022年的8.89下滑至2025年上半年的6.19[13] - 对拓荆科技、北方华创和中微公司的应收账款余额占比达85.45% 回款周期一般为3-4个月[13] 资金状况与募资计划 - 截至2025年6月30日货币资金余额为4亿元 负债总额1.21亿元 资产负债率降至13.86%[14] - 公司产能超负荷运行 2022年至2025年上半年产能利用率分别为121.34%、102.12%、111.24%及106.35%[14] - 预计未来三年新增营运资金缺口为39445.23万元[14] - 拟公开发行股票不超1693.0559万股 预计募资15.5亿元用于产业化建设、智能生产、研发创新及补充流动资金[14]

等离子体射频电源系统行业概述 - 等离子体射频电源系统是薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等半导体工艺设备实现核心功能的关键电气类零部件，其性能直接影响晶圆制造的良率和效率 [3][6] - 该行业技术壁垒极高，研发投入大、周期长，对生产的“精确复制”要求极高，目前是中国半导体设备“卡脖子”的关键环节之一 [6][9][10] 市场竞争格局 - 全球市场呈现高度集中格局，主要由美国企业MKS和AE垄断 [9] - 中国大陆企业在该领域起步较晚，2023年国产化率不足7%，仅有恒运昌等极少数企业的产品性能接近国外对标水平 [9][14] - 相较于国际厂商，国产射频电源在阻抗高速匹配、多频率电源、应用于先进刻蚀工艺的偏置裁剪波电源等技术上存在明显差距，宽频带和高功率电源比重不足5% [9] 技术发展趋势 - 半导体工艺向更复杂的三维结构发展（如3D NAND层数增加、FinFET缩小），对等离子体射频电源系统技术要求显著提升，例如刻蚀工艺需要达到70:1的高深宽比 [11] - 技术演进从早期的变压器和电子管射频电源，向开关模式电源、自动调谐匹配网络发展，并进一步向数模混合控制、全数字控制演进，输出信号也从连续波拓展至脉冲信号 [11] 市场前景与驱动因素 - 半导体设备全球市场规模已成长至近千亿美元，制程节点演进和芯片复杂度提升将带动薄膜沉积、刻蚀设备需求上升，进而提升等离子体射频电源系统的用量和价值占比 [12] - 在地缘政治因素驱动下，半导体供应链自主可控需求紧迫，为国产替代提供了广阔空间，国产等离子体射频电源系统将保持持续增长态势 [13][14]

股价与交易表现 - 9月26日公司股价下跌2.78% 成交额达2.89亿元[1] - 当日融资买入3600.12万元 融资偿还4991.48万元 融资净流出1391.36万元[1] - 融资融券余额合计2.96亿元 其中融资余额2.96亿元占流通市值10.67%[1] 股东结构变化 - 截至6月30日股东户数1.30万户 较上期减少19.95%[2] - 人均流通股3104股 较上期增加32.91%[2] - 南方信息创新混合A增持109.07万股至225万股 为第一大流通股东[2] 机构持仓变动 - 南方科创板3年定开混合增持8.45万股至71.29万股 位列第二大流通股东[2] - 诺安成长混合A增持744股至64.98万股 保持第三大流通股东[2] - 华夏稳增混合(新进27.18万股) 西部利得事件驱动股票A(新进26.34万股) 华夏鼎利债券A(新进20.58万股)进入前十[2] 财务业绩表现 - 2025年1-6月营业收入6.55亿元[2] - 归母净利润1.06亿元 同比下降5.39%[2] - A股上市后累计派现4047.60万元[2] 公司基本信息 - 公司位于江苏省靖江市 成立于2008年3月20日 2024年12月12日上市[1] - 主营业务为半导体刻蚀和薄膜沉积设备关键零部件精密制造[1] - 收入构成:工艺部件71.38% 结构部件19.61% 其他部件3.83% 模组3.79% 表面处理0.83%[1]

核心观点 - 北交所市场并购重组活跃度提升 创远信科拟以不超过9亿元交易总价收购微宇天导100%股权 成为北交所"并购六条"政策后第二单发行股份购买资产项目[2][5] - 北交所市场短期震荡但长期看好 周度日均成交额回落至222亿元 北证50指数周跌3.11% 但预计节后将震荡上行 受益于高质量扩容、代码切换及专精特新基金发行[2][6] - 芒果超媒联合八大平台推出《声鸣远扬2025》综艺节目 采用多平台联合创制新模式 预选赛10月启动 总决赛11月开启12场直播[9] - 广电新政驱动长剧市场回暖 芒果超媒剧集储备近百部 包括《水龙吟》《咸鱼飞升》等 微短剧数量同比增长近7倍至1179部[10][11] - 富创精密为半导体设备零部件领军企业 南通工厂2024年投产 新加坡工厂完成海外客户验证 预计2025-2027年归母净利润复合增长率超46%[14][16] - 全球半导体设备市场持续增长 2025年销售额预计达1255亿美元（+7.4%） 2026年达1381亿美元 先进工艺设备资本支出CAGR达18%[15] 北交所市场动态 - 创远信科以18.88元/股发行股份并支付现金收购微宇天导100%股权 交易总价不超过9亿元 微宇天导承建全国80%北斗导航检测中心[5] - 北证50指数周度下跌3.11% 跑输创业板指和科创50 市场整体PE回落至50.83X 日均换手率4.72%[6][7] - 本周3家公司注册（精创电气、大鹏工业、泰凯英） 1家公司过会（蘅东光） 19家公司进入已问询阶段[7] - 建议关注五类标的：新质生产力（广信科技、林泰新材）、高端智造（海达尔、万通液压）、出海（开发科技、同力股份）、消费（锦波生物、康比特）及热点主题（AI+、机器人）[6] 传媒行业与芒果超媒 - 《声鸣远扬2025》由湖南卫视芒果TV联合八家省级卫视与网络平台制作 设立民族/美声/流行多元赛道 采用4K超高清制播技术[9] - 广电新政推出"内容焕新计划" 优化剧集审查机制 鼓励超高清内容与微短剧电视播出[10] - 2025年上半年芒果TV影视剧有效播放量同比增长69% 《国色芳华》集均播放量破4000万[11] - 预计公司2025-2027年营业收入分别为142.22亿元/152.58亿元/166.46亿元 同比增速1.01%/7.29%/9.10%[12] 电子行业与富创精密 - 公司产品覆盖工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路 沈阳、南通、北京、新加坡四大生产基地协同布局[14] - 全球12英寸晶圆产能CAGR=7% 先进工艺产能（7纳米及以下）从2024年85万片/月增长至2028年140万片/月 CAGR=14%[15] - 半导体设备零部件市场规模占设备市场50%-55% 公司掌握精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等核心技术[15][16] - 预计2025-2027年归母净利润2.76亿元/4.48亿元/6.33亿元 同比增长36.39%/62.11%/41.27%[16] 市场数据表现 - 创业板指年初至今涨幅52.95% 科创50涨幅51.87% 北证50涨幅49.92%[3] - 本周主要指数表现：上证指数-0.65% 创业板指-2.60% 沪深300-0.95% 中证1000-1.45% 科创50-1.60% 北证50-1.81%[3]

投资评级 - 首次覆盖给予"增持"评级 预计2025-2027年归母净利润分别为2.76亿元、4.48亿元、6.33亿元 同比增长36.39%、62.11%、41.27% 对应PE分别为80倍、49倍、35倍 [5][7][78] 核心观点 - 富创精密是国内半导体设备精密零部件领军企业 专注于金属材料零部件精密制造技术 产品涵盖机械及机电零组件、气体传输系统等 已通过国内外领先设备制造商认证 [6][9][14] - 全球半导体晶圆产能持续增长 预计2024-2028年全球12英寸产能以7%的复合年增长率增长 先进工艺产能（7纳米及以下）从2024年85万片/月增长至2028年140万片/月 CAGR=14% [6][9][54] - 先进工艺设备资本支出预计从2024年260亿美元增长至2028年500亿美元以上 CAGR=18% 2025年全球半导体设备销售额预计达1255亿美元 同比增长7.4% 2026年有望达1381亿美元 [6][56] - 半导体设备零部件市场规模约为全球半导体设备市场规模的50%-55% 富创精密已实现相关零部件量产 有望助力国内半导体设备自主可控进程 [6][9][61] 公司业务与产品 - 产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件 包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路 2024年重新划分为机械及机电零组件和气体传输系统两大核心产品线 [14][16] - 机械及机电零组件：用于构建框架、支撑功能实现及参与核心工艺环节的半导体设备零部件 涵盖工艺类、结构类、机电一体类及模组化组件 代表性产品包括腔体、内衬、匀气盘等 [17] - 气体传输系统：半导体工艺设备的核心集成式气体供应模组系统 包括气柜和气体管路两大核心模块 具备高安全气密性、耐强腐蚀性及精密流量控制等特性 [20][21] - 2024年机械及机电零组件、气体传输系统、其他业务营收分别为20.84亿元、8.79亿元、0.76亿元 占比分别为69%、29%、3% [33] 技术优势 - 在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等关键环节具备领先技术能力 各项工序核心技术均为自主研发 [6][9][68] - 精密机械制造技术包括高精密多工位复杂型面制造技术、高精密微孔制造技术、不锈钢超高光洁度制造技术 可加工最大传输平台腔体长度达3.23米 最小孔径0.3毫米 [69] - 表面处理特种工艺包括耐腐蚀阳极氧化技术、高洁净度精密清洗技术、高性能化学镀镍技术、等离子喷涂氧化钇涂层技术 产品洁净度、真空度、耐腐蚀性达到主流国际客户标准 [70][71] - 焊接技术包括电子束焊接技术、激光焊接技术、真空钎焊和超洁净管路焊接技术 全面覆盖半导体设备精密零部件制造需求 [72] 产能布局与客户 - 在沈阳、南通、北京、新加坡积极推进产能布局 南通富创作为IPO募投项目于2024年结项投产 北京富创部分完成验收 新加坡富创完成海外龙头客户验证 [6][14][23] - 2024年境内、境外、其他业务营业收入分别为20.67亿元、8.97亿元、0.76亿元 占比分别为67.99%、29.50%、2.51% 海外重点客户营收同比增长超40% [37] - 2024年前五大客户收入占主营业务比重78.81% 同比提升 前五大客户收入同比增长超过50% [48][49] 财务表现 - 2024年实现营业收入30.4亿元 同比增长47.14% 归母净利润2.03亿元 同比增长20.13% [30] - 2025H1实现营收17.24亿元 同比增长14.44% 归母净利润0.12亿元 同比下滑89.92% 主要系关键资源、先进产能、人才方面的前瞻性投入 [30] - 2024年毛利率25.80% 净利率5.43% 机械及机电零组件、气体传输系统、其他业务毛利率分别为27.91%、21.19%、21.07% [41] - 2024年销售、管理、研发、财务费用率分别为1.99%、11.24%、7.28%、0.49% 管理费用同比增长54.79% [45] 盈利预测 - 预计2025-2027年营业收入分别为40.10亿元、52.86亿元、69.51亿元 同比增长31.94%、31.80%、31.51% [5][8][77] - 机械及机电零组件：预计2025-2027年营收增速分别为25.50%、26.20%、26.30% 营收分别为26.16亿元、33.01亿元、41.69亿元 [8][77] - 气体传输系统：预计2025-2027年营收增速分别为46.50%、42.50%、40.20% 营收分别为12.88亿元、18.35亿元、25.73亿元 [8][77] - 其他业务：预计2025-2027年营收增速均为40.00% 营收分别为10.70亿元、1.50亿元、2.09亿元 [8][77] 行业与市场 - 半导体设备零部件性能要求较高 具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特性 生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺等多个领域 [50][51] - 全球半导体设备零部件格局较为分散 领先企业主要来自欧洲、美国和日本等地区 国内厂商中富创精密、珂玛科技、江丰电子等已实现相关零部件量产 [65] - 零部件企业趋向多工艺、多品类、模组化 工艺技术水平要求不断提升 晶圆制程向更先进工艺发展 零部件精密度、洁净度要求预计将提升 [64]