股东向特定机构投资者询价转让股份的核查报告 中信证券股份有限公司 关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司 上海证券交易所： 中信证券股份有限公司（以下简称"中信证券"或"组织券商"）受委托担任沈阳 先进制造技术产业有限公司（以下简称"转让方"）以向特定机构投资者询价转让（以 下简称"询价转让"）方式减持所持有的沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称 "公司"或"芯源微"）首次公开发行前已发行股份的组织券商。 经核查，中信证券就本次询价转让的股东、受让方是否符合《上海证券交易所科创 板上市公司自律监管指引第 4 号——询价转让和配售》（以下简称"《询价转让和配售指 引》"）要求，本次询价转让的询价、转让过程与结果是否公平、公正，是否符合《询价 转让和配售指引》的规定作出如下报告说明。 一、本次询价转让概况 （一）本次询价转让转让方 截至 2024 年 7 月 22 日转让方所持公司首发前股份的数量及占公司总股本比例情 况如下： | 序号 | 股东名称 | 年 | 截至 2024 | 月 7 | 日 22 | 持股比例 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | ...

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2024-050 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 股东询价转让结果报告书 沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称"转让方"或"先进制造"）保证 向沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称"芯源微"或"公司"）提供的信 息内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性和 完整性依法承担法律责任。 本公司及董事会全体成员保证公告内容与信息披露义务人提供的信息一致。 一、 转让方情况 (一)转让方基本情况 截至 2024 年 7 月 22 日转让方所持公司股份的数量、比例情况如下： | 序号 | 股东名称 | 持股数量（股） | 持股比例 | | --- | --- | --- | --- | | 1 | 先进制造 | 21,068,915 | 10.52% | 本次询价转让的转让方沈阳先进制造技术产业有限公司非公司控股股东、实际 控制人。 沈阳先进制造技术产业有限公司为芯源微持股 5%以上的股东。 沈阳先进制造技术产业有限公司委派董事为沈阳先进制造技术产业有限公司的 本次询价转让的价格为 64.72 元/股，转让的股票数量为 2,004,0 ...

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2024-049 （三）本次询价转让拟转让股份已获全额认购，初步确定受让方为 13 家机 构投资者，拟受让股份总数为 2,004,000 股。 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 股东询价转让定价情况提示性公告 沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称"出让方"）保证向沈阳芯源微 电子设备股份有限公司（以下简称"芯源微"、"公司"）提供的信息内容不存在 任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其真实性、准确性和完整性依法 承担法律责任。 本公司及董事会全体成员保证公告内容与信息披露义务人提供的信息一致。 重要内容提示： 根据 2024 年 7 月 23 日询价申购情况，初步确定的本次询价转让价格 为 64.72 元/股。 一、本次询价转让初步定价 （一）经向机构投资者询价后，初步确定的转让价格为 64.72 元/股。 （二）参与本次询价转让报价的机构投资者家数为 13 家，涵盖了基金管理 公司、合格境外机构投资者、证券公司、私募基金管理人等专业机构投资者。 二、风险提示 （一）本次询价转让受让方及受让股数仅为初步结果，尚存在拟转让股份被 司法冻结、扣划等风险。询 ...

中信证券股份有限公司 关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司股东 向特定机构投资者询价转让股份 相关资格的核查意见 广东省深圳市福田区中心三路 8 号卓越时代广场（二期）北座 1 中信证券股份有限公司（以下简称"中信证券"）受沈阳芯源微电子设备股份 有限公司（以下简称"芯源微"）股东沈阳先进制造技术产业有限公司委托，组织 实施本次芯源微首发前股东向特定机构投资者询价转让（以下简称"本次询价转 让"）。 根据《关于在上海证券交易所设立科创板并试点注册制的实施意见》《科创 板上市公司持续监管办法（试行）》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上 海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 4 号——询价转让和配售》（以下 简称"《询价转让和配售指引》"）等相关规定，中信证券对参与本次询价转让 股东的相关资格进行核查，并出具本核查意见。 一、本次询价转让的委托 2024 年 7 月 19 日，中信证券收到出让方关于本次询价转让的委托，委托中 信证券组织实施本次询价转让。 二、关于参与本次询价转让股东相关资格的核查情况 （一）核查过程 根据相关法规要求，中信证券对出让方的相关资格进行了核查。出让方已出 具《关于向特定机构投 ...

公司代码：688037 公司简称：芯源微 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2024 年第一次临时股东大会会议资料 目 录 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 2024 | 年第一次临时股东大会会议须知 2 | | --- | --- | --- | | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 2024 | 年第一次临时股东大会会议议程 4 | | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 2024 | 年第一次临时股东大会会议议案 6 | | 一、《关于变更公司董事的议案》 6 | | | 1 二、出席会议的股东及股东代理人须在会议召开前 30 分钟到会议现场办理 签到手续，并请按规定出示证券账户卡、身份证明文件或企业营业执照/注册证 书复印件（加盖公章）、授权委托书等，上述登记材料均需提供复印件一份，个 人登记材料复印件须个人签字，法定代表人证明文件复印件须加盖公司公章，经 验证后领取会议资料，方可出席会议。会议开始后，由会议主持人宣布现场出席 会议的股东人数及其所持有表决权的股份总数，在此之后进场的股东无权参与现 场投票表决。 三、会议按照会议通知上所列顺序审议、表决议案。 四、股东及股东代理人参加股东大会依法 ...

报告公司投资评级 - 买入|维持 [1] 报告的核心观点 - 报告研究的具体公司作为国内涂胶显影设备领军企业，在涂胶显影和单片湿法设备领域竞争力强，积极布局键合、解键合设备，有望受益于2.5D、3D扩产；前道涂胶显影、化学清洗等产品技术不断进步，市场空间逐步打开；通过多期股权激励计划稳定人才团队，盈利能力持续提升；预计2024 - 2026年营业收入和归母净利润将实现增长 [6][26][165] 根据相关目录分别进行总结 财务 - 营收方面，2016 - 2023年公司营业收入持续增长，预计2024 - 2026年分别为22.94/30.52/40.73亿元，增长率分别为23.98%/33.62%/33.42%；归母净利润2023年为2.51亿元，同比+25.21%，预计2024 - 2026年分别为3.34/4.70/6.24亿元，增长率分别为33.23%/40.78%/32.71% [32][8][165] - 费用方面，销售费用率波动下降，管理费用因规模扩大而增加但规模效应逐渐显现；研发投入持续加大，推动技术突破和产品性能提升 [36][170] - 激励方面，通过多期股权激励计划，增强核心团队责任感和获得感，2024年上半年完成2023年股票期权激励计划预留部分的授予 [40] 产品 前道涂胶显影设备 - 已成功推出多种型号产品，截至23年末ArF浸没式高产能涂胶显影设备获国内5家重要客户订单，在高端NTD负显影、SOC涂布等新机台销售取得进展；多项关键技术达国际先进水平，23年在超洁净微环境控制等技术上持续进步 [26][148][180] 前道物理清洗设备 - 自2018年发布后受下游客户广泛认可，成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型；23年新一代高产能机台发往存储客户验证，有望打开存储领域增量市场 [70] 前道化学清洗设备 - 24年3月正式发布前道单片式化学清洗机，23Q4获国内重要客户验证性订单，已与多家客户达成合作意向；能适配高温SPM工艺，工艺覆盖率达80%以上，标志公司进入前道化学清洗领域，提升市场空间 [149][192] 后道先进封装设备 - 涂胶显影和单片式湿法设备是主流机型，应用于海内外一线大厂，部分技术指标达国际领先水平；积极开展2.5D/3D先进封装新品研发及国产化替代，推出临时键合、解键合、Frame清洗等新产品并实现签单 [49][72] 化合物等小尺寸设备 - 应用于4 - 8吋晶圆工艺，技术成熟，多项核心技术达国际先进水平；23年在化合物inline涂胶显影设备技术上取得进展，可满足多元化应用需求 [76] 市场 - 中国未来四年每年有300 + 亿美元晶圆厂设备投资，前道track国产替代、化学清洗、键合解键合大有可为；SEMI上调24年全球晶圆厂设备销售额至980亿美元，预计25年将增长14.7%至1130亿美元 [4][55] - 涂胶显影设备国产化率<5%，配套光刻向更高产能、更高精度方向发展；27E全球清洗设备市场规模将达65亿美元；2023 - 2029年全球晶圆临时键合和解键合系统市场CAGR为5.2%，2029E市场空间达4.61亿美元 [59][86][99]

报告公司投资评级 公司股票投资评级为买入,维持。[1] 报告的核心观点 涂胶显影设备 - 公司是国内涂胶显影设备领军企业,持续精进高端涂胶显影设备。公司已成功推出多种型号产品,截至2023年末,公司ArF浸没式高产能涂胶显影设备已获得国内5家重要客户订单。[10] - 公司在高端NTD负显影、SOC涂布等新机台销售方面也取得了良好进展,进一步拓展了公司涂胶显影设备的工艺应用场景和市场空间。[10] 前道清洗设备 - 公司在前道物理清洗领域保持行业龙头地位,并成功跨入前道化学清洗领域。公司前道单片式化学清洗机于2023年第四季度获得国内重要客户的验证性订单。[11][12] 先进封装设备 - 公司后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微等海内外一线大厂,具有较强的全球竞争力。[12] - 公司积极布局2.5D/3D先进封装相关的临时键合、解键合设备,未来有望深度受益于国内2.5D、3D扩产。[12] 财务表现 - 公司2023年实现归母净利润2.51亿元,同比增长25.21%。公司利润持续增长主要得益于持续加大研发投入,不断提升产品性能和竞争力。[25][26] - 公司通过多期股权激励计划的实施,有效增强了核心管理团队和技术团队的责任感和获得感,激发了积极性和创造性。[42][43][44][45][46][47][48][49][50][51][52][53][54][55][56][57] 市场机遇 - 根据SEMI预测,中国未来四年每年将保持300亿美元以上的晶圆厂设备投资规模,为公司业务发展提供良好的市场机遇。[87][88][89][90][91][92][93][94][95][96][97][98][99] - 公司前道涂胶显影设备国产化率较低,未来有望在国产替代和市场份额提升方面实现突破。[100][101][102][103][104][105][106][107][108][109][110][111][112][113] - 公司在前道化学清洗、2.5D/3D先进封装设备等领域也有较大的发展空间。[139][140][141][142][143][144][145][146][147][148][149][150][151][152][153][154][155][156][157] 盈利预测 - 我们预计公司2024-2026年营业收入分别为22.94/30.52/40.73亿元,归母净利润分别为3.34/4.70/6.24亿元。[13] - 公司光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备未来几年将保持较高的增长率和稳定的毛利率水平。[162][163]

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2024-047 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 关于召开 2024 年第一次临时股东大会的通知 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 一、 召开会议的基本情况 （一） 股东大会类型和届次 2024 年第一次临时股东大会 （二） 股东大会召集人：董事会 召开日期时间：2024 年 7 月 30 日 14 点 00 分 网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统 网络投票起止时间：自 2024 年 7 月 30 日 至 2024 年 7 月 30 日 股东大会召开日期：2024 年 7 月 30 日 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票 系统 （三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结 合的方式 （四） 现场会议召开的日期、时间和地点 召开地点：辽宁省沈阳市浑南区彩云路 1 号沈阳芯源微电子设备股份有限公 司会议室 （五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。 采用上海证券交易所网络投票系统 ...

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2024-046 特此公告。 沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会 根据《中华人民共和国公司法》（以下简称"《公司法》"）《上市公司治 理准则》《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称"《公司章程》"） 等有关规定，赵庆党先生辞职不会导致公司董事会成员低于法定最低人数，不会 影响公司董事会的正常运行，赵庆党先生的辞职申请自送达公司董事会之日起生 效。 公司于近日收到第一大股东辽宁科发实业有限公司《辽宁科发实业有限公司 关于更换沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事人选的函》，公司股东辽宁科发 实业有限公司提名黄鹤女士为公司第二届董事会董事，黄鹤女士简历见附件。 经公司董事会提名委员会资格审查通过，公司于 2024 年 7 月 11 日召开了第 二届董事会第二十三次会议，审议通过了《关于变更公司董事的议案》，公司董 事会同意提名黄鹤女士为公司第二届董事会非独立董事候选人，任期自股东大会 选举通过之日起至第二届董事会届满之日止。 公司董事会提名委员会对黄鹤女士的教育背景、工作经历等基本情况进行了 充分了解：黄鹤女士未持有公司股份，现担任公司 5%以上股份的股 ...