报告基本信息 - 报告期为2024年半年度[1] - 报告期为2024年1月1日至2024年6月30日[7] - 公司代码为688082，简称为盛美上海[1] - 本半年度报告未经审计[2] - 公司中文名称为盛美半导体设备（上海）股份有限公司，简称盛美上海[9] - 公司外文名称为ACM Research (Shanghai), Inc.，缩写为ACMSH[9] - 公司法定代表人为HUI WANG[9] - 公司注册地址和办公地址均为中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢[9] - 公司办公地址邮政编码为201203[9] - 公司网址为www.acmrcsh.com.cn，电子信箱为ir@acmrcsh.com[9] - 董事会秘书（信息披露境内代表）为罗明珠，联系电话为021 - 50276506，传真为021 - 50808860，电子信箱为ir@acmrcsh.com[10] 公司治理与重要事项 - 董事会决议通过的本报告期无利润分配预案或公积金转增股本预案[2] - 不存在公司治理特殊安排等重要事项[2] - 不存在被控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况[2] - 不存在违反规定决策程序对外提供担保的情况[2] - 不存在半数以上董事无法保证公司所披露半年度报告的真实性、准确性和完整性[2] 子公司与客户信息 - 盛美无锡、盛帷上海等为盛美上海全资子公司[5] - 华虹集团、长电科技等为盛美上海客户[5] 财务数据关键指标变化 - 2024年1 - 6月营业收入24.04亿元，同比增长49.33%[14][15][61][81] - 2024年1 - 6月归属于上市公司股东的净利润4.43亿元，同比增长0.85%[14][61][81] - 2024年1 - 6月归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润4.35亿元，同比增长6.92%[14][61][81] - 2024年1 - 6月经营活动产生的现金流量净额4.47亿元，同比上升[14][16] - 2024年半年度末归属于上市公司股东的净资产68.05亿元，较上年度末增长5.37%[14] - 2024年半年度末总资产110.00亿元，较上年度末增长12.78%[14] - 2024年1 - 6月基本每股收益1.02元/股，同比增长0.99%[15] - 2024年1 - 6月稀释每股收益1.00元/股，同比下降0.99%[15] - 2024年1 - 6月研发投入占营业收入的比例为16.24%，较上年同期增加1.32个百分点[15] - 报告期末，公司应收账款账面价值为152,367.20万元，占总资产的比例为13.85%[73] - 报告期末，公司存货账面价值为438,837.99万元，占流动资产的比例为50.39%[74] - 报告期末，公司库存商品和发出商品账面价值为207,877.61万元，占存货账面价值的比例为47.37%[74] - 报告期内，公司财务费用中汇兑收益为 - 1,290.20万元[75] - 报告期主营业务毛利率为50.11%，较为平稳[76] - 报告期初资产总额为975,379.77万元，期末为1,100,029.96万元，上涨12.78%；报告期营业总收入为240,389.67万元，上年同期为160,980.59万元，上涨49.33%[78] - 营业成本1,185,660,897.60元，较上年同期779,143,724.69元增长52.17%[82] - 销售费用237,397,578.44元，较上年同期127,365,036.58元增长86.39%[82] - 管理费用155,825,271.73元，较上年同期66,290,078.57元增长135.07%[82] - 研发费用346,224,522.35元，较上年同期212,988,485.13元增长62.56%[82] - 投资活动产生的现金流量净额-176,872,761.71元，较上年同期342,077,641.67元下降151.71%[82] - 货币资金本期期末数为21.61亿元，占总资产19.65%，较上年期末增长41.86%[85] - 应收票据本期期末数为441.31万元，占总资产0.04%，较上年期末增长505.78%[85] - 短期借款本期期末数为3.88亿元，占总资产3.53%，较上年期末增长74.66%[85] - 其他应付款本期期末数为3.39亿元，占总资产3.08%，较上年期末增长404.83%，主要因计提应付股利2.73亿元[85][86] - 报告期末境外资产为38.85亿元，占总资产比例为35.32%[88] - 清芯科技有限公司本报告期营业收入为18.74亿元，净利润为3361.57万元[89] - 受限货币资金期末余额为631.98万元，受限固定资产期末余额为2.50亿元，合计2.56亿元[90] - 报告期对外投资额为323.74万元，上年同期为 - 1351.83万元[92] - 对合肥石溪产恒集成电路创业投资基金合伙企业增资3000万元，持股比例10%，本期投资损益为 - 85.53万元[93] - 以公允价值计量的金融资产期末数为24.32亿元，本期公允价值变动损益为 - 777.82万元[94] - 证券投资最初投资成本合计236,899,900.24元，期初账面价值208,644,613.36元，本期公允价值变动损益-7,778,230.46元，本期购买金额72,499,970.91元，本期出售金额32,129,071.46元，处置损益-1,979,922.03元，期末账面价值243,217,204.38元[95] - 清芯科技有限公司注册资本港币10元，持股比例100%，总资产479,668.53万元，净资产17,848.24万元，营业收入187,405.00万元，净利润3,361.57万元[96] - 盛帷半导体设备（上海）有限公司注册资本人民币70,000万元，持股比例100%，总资产240,288.42万元，净资产58,924.55万元，营业收入38,322.92万元，净利润4,490.37万元[96] - ACM Research Korea Co., LTD注册资本韩元10,000万元，香港清芯持有100%，总资产24,719.91万元，净资产3,261.83万元，营业收入20,242.08万元，净利润-697.70万元[96] 公司荣誉与资质 - 公司是中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体设备供应商，产品获众多国内外主流半导体厂商认可[21] - 公司2022至2023年度信息披露工作评价结果为"A"[23] - 公司连续多年被评为"中国半导体设备五强企业"[22] - 公司入选首批"上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室"[22] - 公司被认定为国家级"专精特新小巨人企业"[22] - 公司获得ISO 14001环境管理体系认证和ISO 45001职业健康安全管理体系认证[22] 产品技术与工艺 - 公司单片清洗设备最高可单台配置18腔体[25] - 公司TEBO清洗设备适用于28nm及以下的图形晶圆清洗[24][40] - 新型单片高温SPM设备工艺温度要求在150摄氏度以上，甚至超200摄氏度[26] - 新型单片高温SPM设备可支持300mm晶圆单片SPM工艺[26] - 全自动槽式清洗设备能够同时清洗50片晶圆[27] - 清洗设备主要应用于40nm及以上技术节点的清洗工艺[28] - 公司自主开发针对28nm及以下技术节点的IC前道铜互连镀铜技术Ultra ECP map[28] - 三维电镀设备Ultra ECP 3d开发出针对20200µm深的电镀工艺[28] - 无应力抛光设备利用低下压力化学机械抛光先将铜互联结构中铜膜抛至150nm厚度[31] - 无应力抛光设备耗材成本降低50%以上[31] - 先进封装电镀设备在针对高密度封装的电镀领域可实现2μm超细RDL线的电镀[31] - 无应力抛光先进封装平坦化设备先采用无应力抛光将晶圆铜膜减薄至小于0.5μm - 0.2μm厚度[33] - 前道涂胶显影Ultra LithTM Track设备应用于300毫米前道集成电路制造工艺[29] - 公司推出6/8寸化合物半导体湿法工艺产品线[31] - 升级版涂胶设备涂胶腔内可兼容两种光刻胶类型[32] - 带框晶圆清洗设备创新溶剂回收系统可实现近100%的溶剂回收和过滤效果[36] - CMP后清洗设备可选择2、4或6个腔体配置以满足不同产能需求[37] - Final Clean清洗设备适用于6寸、8寸或12寸晶圆清洗，可选择4、8或12个腔体配置[37] - Ultra PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备及前道涂胶显影设备Ultra Lith将使公司全球可服务市场规模翻倍增加[38] - SAPS兆声波清洗技术的兆声波工艺频率范围为1 - 3MHz，最大功率可达3W/cm²，可控制晶圆表面的能量非均匀度在2%以内[39] - 单片槽式组合Tahoe高温硫酸清洗设备可用于12英寸晶圆生产线的前端和后道工艺[41] - 公司成功开发前道铜互连电镀设备Ultra ECP map&map+机型及电镀工艺，整机设备进入量产验证且大部分实现产线量产[42] - 公司推出前道涂胶显影Ultra LithTM Track设备，已进入客户端进行ArF工艺验证阶段[44] - 公司单片高温硫酸清洗设备的硫酸加热系统可达190℃+，SPM清洗液可达230℃以上[45] - 兆声波单片清洗设备SAPS技术应用于逻辑28nm、DRAM 19nm技术节点，可拓展至逻辑14nm等；TEBO技术应用于逻辑28nm技术节点，已进行16 - 19nm DRAM工艺评估，可拓展至14nm逻辑芯片等；在DRAM上SAPS和TEBO均有70多步应用，逻辑电路FinFET结构清洗中SAPS近20步、TEBO 10多步应用[55] - 单片槽式组合清洗设备已完成逻辑芯片40nm及28nm技术节点产线验证，可拓展至14nm逻辑芯片、20nm DRAM及以上技术节点及64层及以上3D NAND，可用于20步及以上清洗步骤[56] - 超临界CO₂清洗干燥技术应用于DRAM 17/19nm技术节点以下，可扩展到逻辑芯片5nm及以下Fin结构及3D NAND L128/193堆叠结构[56] - 大部分SPM湿法工艺中硫酸与双氧水混合后工艺温度在145摄氏度以下，随着技术推进，145摄氏度以上甚至超200摄氏度的SPM工艺步骤增加[56] - 公司半导体清洗设备主要应用于12英寸晶圆制造领域清洗工艺，适用尺寸与国际巨头类似产品无竞争差距[58] - 公司铜互连电镀工艺设备适用于双大马士革铜互连结构铜电化学沉积工艺55nm至7nm及以上技术节点[57] - 公司边缘湿法刻蚀设备支持多种器件和工艺，包括3D NAND、DRAM和先进逻辑工艺[57] - 公司半导体清洗设备技术节点可推进到10nm及以下[57] 研发情况 - 截至2024年6月30日，公司及控股子公司拥有已获授予专利权的主要专利463项，其中境内授权专利177项，境外授权专利286项，发明专利共计461项[48][64] - 报告期内，发明专利新增申请数144个，获得数27个，累计申请数1304个，获得数461个[48] - 本期费用化研发投入346,224,522.35元，上年同期212,988,485.13元，变化幅度62.56%[49] - 本期资本化研发投入44,099,170.25元，上年同期27,267,043.48元，变化幅度61.73%[49] - 本期研发投入合计390,323,692.60元，上年同期240,255,528.61元，变化幅度62.46%[49] - 本期研发投入总额占营业收入比例16.24%，上年同期14.92%，增加1.32个百分点[49] - 本期研发投入资本化的比重11.30%，上年同期11.35%，减少0.05个百分点[49] - 公司在研项目预计总投资规模31.08亿元，本期投入3.90亿元，累计投入20.84亿元[51][52] - 前道清洗设备预计总投资16.86亿元，本期投入1.76亿元，累计投入11.09亿元，已达量产阶段[51] - 半导体电镀设备预计总投资6.00亿元，本期投入0.76亿元，累计投入3.99亿元，已达量产阶段[51] - 先进封装湿法设备及硅材料衬底制造湿法设备预计总投资1.62亿元，本期投入0.22亿元，累计投入1.20亿元，完成工艺验证并量产[51] - 公司研发人员数量776人，占公司总人数的46.22%，上年同期为645人，占比46.77%[53] - 研发人员薪酬合计16022.18万元，平均薪酬20.70万元，上年同期分别为11130.13万元和17.26万元[53] - 研发人员中博士研究生12人，占比1.55%；硕士研究生349人，占比44.97%[53] - 研发人员中30岁以下（不含30岁）438人，占比56.44%；30 - 40岁（含30岁，不含40岁）277人，占比35.70%[53] - 研发人员中40 - 50岁（含40岁，不含50岁）48人，占比6.19%；50 - 60岁（含50岁，不含60岁）9人，占比1.16%[54] - 研发人员中60岁及以上4人，占比0

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2024-047 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 关于自愿披露 2024 年度经营业绩预测调整的公告 首先，公司在国内外市场的业务拓展取得了显著进展，通过加强与现有客户 的合作关系并开拓新客户，成功获得了多个重要订单。这些订单为全年营业收入 奠定了坚实的基础。其次，公司新产品在半导体行业中逐步获得客户认可，推动 销售收入增加。此外，全球半导体行业持续回暖，尤其是中国国内市场需求超出 预期，推动了对公司产品的更高需求。最后，通过优化供应链管理和提升生产效 率，公司运营效率得到提升，确保了订单的顺利执行。 三、其他事项及风险提示 公司重申，2024年的经营业绩预测仍存在一定不确定性及以下风险因素：客 户订单可能不如预期，市场行情发展不利，可能存在订单推迟或取消，产品交付 不及时，设备验收不通过，以及供应商供货不足等情形。此外，全球经济和市场 动荡可能导致产品需求下降，国际贸易争端加剧，资本和信贷市场不稳定，公司 运营管理不善，以及贸易法规、货币波动、政治不稳定和战争等都可能对业绩产 生不利影响。 本次经营业绩预测区间调整仅是公司根据目前可掌握的信息作出的初 ...

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2024-036 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 关于召开 2024 年第一季度业绩说明会的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 会议召开时间：2024 年 7 月 30 日（星期二）下午 13:00-14:00 会 议 召 开 地 点 ： 上 海 证 券 交 易 所 上 证 路 演 中 心 （ 网址： https://roadshow.sseinfo.com/） 会议召开方式：上证路演中心视频录播和网络互动 投资者可于 2024 年 7 月 23 日（星期二）至 7 月 29 日（星期一）16:00 前 登录上证路演中心网站首页点击"提问预征集"栏目或通过公司邮箱 （ir@acmrcsh.com）进行提问。公司将在说明会上对投资者普遍关注的问题进 行回答。 盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"公司"）已于2024年4 月27日发布公司2024年第一季度报告，为便于广大投资者更全面深入地了解公司 2024年第一季度经营成果、 ...

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2024-035 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年年度权益分派实施公告 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： | 股权登记日 | 除权（息）日 | 现金红利发放日 | | --- | --- | --- | | 2024/7/18 | 2024/7/19 | 2024/7/19 | 一、 通过分配方案的股东大会届次和日期 本次利润分配方案经公司 2024 年 6 月 18 日的 2023 年年度股东大会审议通 过。 二、 分配方案 1. 发放年度：2023 年年度 2. 分派对象： 四、 分配实施办法 1. 实施办法 除公司自行发放对象外，公司其余股东的红利委托中国结算上海分公司通过 其资金清算系统向股权登记日上海证券交易所收市后登记在册并在上海证券交易 所各会员办理了指定交易的股东派发。已办理指定交易的投资者可于红利发放日 在其指定的证券营业部领取现金红利，未办理指定交易的股东红利暂由中国结算 上海分公司保管，待办理指定交易后再 ...

公司概况 - 公司自主研发加速清洗设备国产化,致力于成为全球平台型半导体先进设备公司 [20] - 公司以清洗设备为轴向外拓展,现已形成"清洗+电镀+先进封装湿法+立式炉管+涂胶显影+PECVD"的六大产品系列,可覆盖前道半导体制造、后道先进封装、硅片制造三大类工艺设备应用领域 [22][23][24] - 公司管理团队研发经验丰富,核心人员从公司基层做起,服务超过10年以上 [27][28][29] - 公司股权结构集中,创始人HUI WANG为公司实际控制人 [30][31] - 2018-2023年公司营收CAGR为47.87%,盈利能力持续提升 [34][35][36][37][38][39][40][41][42] - 公司供应链管理有效,前五大供应商采购占比逐年下降,产品逐步走向国际化 [53][54][57] 行业分析 - 全球半导体设备市场规模超千亿美元,中国大陆占比超三成 [64][65][66][67] - 晶圆厂扩产动力充足,2024-2025年中国大陆晶圆厂产能将保持两位数增长 [72][73] - 国内半导体设备厂商全方面布局,盛美上海平台化战略覆盖多款产品线 [83][84] - 清洗设备国产化率仅约20%,国产替代空间广阔 [85][108] 清洗设备业务 - 清洗为贯穿半导体产业链的重要工序,湿法清洗占比90%以上 [94][95] - 公司SAPS+TEBO+Tahoe三大差异化技术构筑产品壁垒,工艺覆盖率达90%以上 [116][117] - 公司开发新型超临界CO2、IPA干燥技术,提升产品工艺性能 [118][119][120] - 清洗设备为公司核心支柱业务,近5年营收CAGR超39% [122][123][126] 其他业务 - 先进封装湿法设备:先进封装市场占比持续提升,公司产品矩阵丰富 [127][128][129][132][135][136][137][138] - 电镀设备:公司前后道领域双向布局,电镀技术达国际先进水平 [141][142][143][144][145][146][147][150][151][152][153][156] - 炉管设备:公司研发进展迅速,已实现LPCVD、氧化、退火和ALD应用 [159][160][161] 成长空间 - PECVD设备:薄膜沉积领域应用广泛,公司首台设备即将交付 [164][165][166][167][168] - 涂胶显影设备:公司首台ArF设备已实现交付,未来将推出差异化产品 [171][172][173] - 股权激励计划:激发核心团队积极性,打造专利护城河 [176] - 募投项目:有效强化公司科技创新能力,赋能长期成长 [177][178][179][180] 盈利预测与投资评级 - 预计2024-2026年公司可实现归母净利润10.71/15.69/20.67亿元,EPS 2.46/3.60/4.74元 [182][183][184][185][186] - 公司估值低于同行业可比公司,首次覆盖给予"买入"评级 [187] 风险提示 - 晶圆厂扩产不及预期 [189] - 清洗设备行业竞争加剧 [190] - 技术研发不及预期 [191]

海通证券股份有限公司 关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司 部分募集资金投资项目延期的核查意见 海通证券股份有限公司（以下简称"海通证券"或"保荐机构"）作为盛美 半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"盛美上海"或"公司"）首次公 开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务 管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要 求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交 易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1 号——规范运作》等有关规定，对公司募集资金投资项目延期事项进行核查，具 体情况如下： 一、募集资金基本情况 经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公 司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会 公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金 总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币 3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已 ...

一、募集资金基本情况 经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公 司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会 公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金 总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币 3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合 伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。 为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专 项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三 方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资 金专项账户内。 二、募集资金投资项目情况 根据《盛美上海首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》《关于使用 海通证券股份有限公司 关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司 使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见 海通证券股份有限公司（以下简称"海通证券"或"保荐机构"）作为盛美 半导体设备（上海 ...

上海信公轶禾企业管理咨询有限公司 独立财务顾问报告 上海信公轶禾企业管理咨询有限公司 关于 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划 预留授予相关事项 之 独立财务顾问报告 独立财务顾问： 二〇二四年六月 | 第一章 | 声 明 1 | | --- | --- | | 第二章 | 义 3 释 | | 第三章 | 基本假设 4 | | 第四章 | 本激励计划履行的审批程序 5 | | 第五章 | 本次限制性股票的授予情况 7 | | | 一、限制性股票预留授予的具体情况 7 | | | 二、本次实施的股权激励计划与股东大会审议通过的激励计划的差异情况 9 | | 第六章 | 本次限制性股票授予条件说明 10 | | | 一、限制性股票授予条件 10 | | | 二、董事会对授予条件成就的情况说明 10 | | 第七章 | 独立财务顾问的核查意见 12 | 上海信公轶禾企业管理咨询有限公司 独立财务顾问报告 第一章 声 明 上海信公轶禾企业管理咨询有限公司接受委托，担任盛美半导体设备（上 海）股份有限公司（以下简称"盛美上海"、"上市公司"或"公司"）2023 年限制 性股票激励计划（以 ...

证券代码：688082 证券简称：盛美上海 公告编号：2024-034 盛美半导体设备（上海）股份有限公司 关于向 2023 年限制性股票激励计划激励对象授予 预留部分限制性股票的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 3、2023年5月9日至2023年5月18日，公司在公司内部对本次拟激励对象的姓 名和职务进行了公示，公示期共计10天，公司员工可向公司监事会提出意见。截 至公示期满，公司监事会未收到任何人对本次拟激励对象提出的异议。2023年6 月22日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公 司2023年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的审核意见及公示情况说 明》（公告编号：2023-025）。 4、2023年6月28日，公司召开2022年度股东大会审议通过了《关于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》等相关议案。股东大会批准 公司实施本激励计划，授权董事会确定限制性股票授予日，并在激励对象符合条 件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限 ...

会议情况 - 2024年6月25日公司第二届董事会第十一次会议召开[2] - 本次会议应出席董事11名，实际出席11名[2] 议案表决 - 《关于公司部分募集资金投资项目延期的议案》11票赞成，占100%[4] - 《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》11票赞成，占100%[5] - 《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象授予预留部分限制性股票的议案》11票赞成，占100%[6]