表示衷心感谢！ 证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2025-024 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 关于更换持续督导保荐代表人的公告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假 记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性 和完整性依法承担法律责任。 合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称"公司"）于近日 收到国泰海通证券股份有限公司（以下简称"国泰海通证券"）出具 的《关于更换合肥芯碁微电子装备股份有限公司持续督导保荐代表人 的函》。国泰海通证券作为公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票项 目的保荐机构，原委派签字保荐代表人为林剑辉先生、周磊先生，负 责保荐工作及持续督导工作，持续督导期至 2025 年 12 月 31 日。 由于周磊先生工作变动，不再继续担任公司持续督导的保荐代表 人，为保证公司持续督导工作的有序进行，国泰海通证券现委派汤文 宇先生（简历见附件）接替周磊先生继续担任公司持续督导的保荐代 表人，履行持续督导职责。 此次变更后，公司 2022 年度向特定对象发行 A 股股票项目的保 荐代表人为林剑辉先生、汤文宇先生。本次变更不影响国泰海通证券 ...

报告行业投资评级 - 看好机械行业 [1] 报告的核心观点 - 对20家重点跟踪的机械公司2025Q2业绩增速进行预测，不同细分领域公司增速有差异 [4] - 机器人&零部件领域人形机器人产业化进程持续推进，看好长期产业趋势，关注三条主线，未来有望看到业绩贡献 [4] - 轨交设备上半年铁路投资高增、客流量创新高，固定资产投资有望保持较高增长，推荐相关公司 [4] - 工程机械周期拐点临近，布局正逢其时，板块估值处低位，下游需求回暖，更新周期有望推动新机销售上涨 [4] - 激光领域通用激光快速增长，专用激光重视新技术变化，推荐相关公司 [4] - 机床&刀具看好机床高端化转型及核心零部件国产替代，刀具产品高端化突破和新领域开拓值得期待，推荐相关公司 [7] - 叉车需求景气回升，看好智能化无人化趋势，内外销量均增长，行业有电动化和智能化转型趋势，推荐相关公司 [7] - 国产仪器在自主可控背景下，国产品牌有望加速替代，国内企业高端产品加速推出 [7] 根据相关目录分别进行总结 2025Q2重点跟踪机械公司业绩增速预测 - 激光：柏楚电子20%、联赢激光0% [4] - PCB：鼎泰高科66%、芯碁微装15% [4] - 通用：三一重工25%、杭叉集团11%、恒立液压11%、安徽合力10%、徐工机械9%、中联重科9%、纽威数控 -4% [4] - 轨交：时代新材145%、时代电气15%、中国通号 -20% [4] - 运控：汇川技术7%、中控技术 -16% [4] - 半导体：华峰测控40% [4] - 油服：杰瑞股份 -2% [4] - 机器人：卧龙电驱17%、中大力德0% [4] 机器人&零部件 - 2024年以来全球机器人产业链扩容，人形机器人进入工厂测试，英伟达、华为入局，机器人从硬件走向系统并在应用场景落地，2025年产业化进入新阶段 [4] - 关注三条主线：特斯拉人形机器人产品迭代等、全球巨头布局及产品发布、各种机器人在应用场景落地放量 [4] - 建议关注绿的谐波等多家公司 [4] 轨交设备 - 上半年铁路投资保持高增，客流量再创新高，2025年上半年全国铁路固定资产投资3559亿元，同比增长5.5%，假设全年增速5.9%，25年有望接近9000亿；1 - 5月全国铁路客运量18.63亿人次，同比增长7.3% [4] - 2024年国铁运输收入9901亿，同比增长2.7%，净利润39亿，资产负债率63.51%为10年来最低 [4] - 重点推荐中国中车、思维列控，建议关注时代电气等公司 [4] 工程机械 - 本轮国内下行周期伴随海外强劲增长，业绩波动减弱，板块整体收入和利润增长，盈利能力改善 [4] - 板块经历4年下行周期，估值处低位，下游需求边际回暖，施工强度恢复有望推动工程机械更新周期带来新机销售上涨 [4] - 重点推荐三一重工等公司，建议关注柳工等公司 [4] 激光 - 通用激光：高功率、管/坡等工艺迭代和海外出口增量带来需求快速增长 [4] - 专用激光：消费电子等新技术迭代带来增量需求 [4] - 推荐柏楚电子等公司，建议关注锐科激光等公司 [4] 机床&刀具 - 机床：2025年1 - 5月全国金属切削机床产量33.2万台，同比增长13.3%；金属成形机床产量6.9万台，同比增长11.3%，后续行业朝高端化等方向发展，核心零部件国产化前景广阔，推荐豪迈科技等公司 [7] - 刀具：国内需求回暖，刀具需求及出货量有望增长，国内企业进行产品高端化突破和领域拓展，看好高端刀具市场开拓及加工机遇，推荐鼎泰高科等公司 [7] 叉车 - 2025年1 - 5月我国叉车总销量60.18万台，同比增长9.3%，国内销量39.25万台，同比增长6.7%，出口销量20.93万台，同比增长14.7%，内外销量均增长 [7] - 行业电动化趋势明显，国产品牌出海；人力成本上涨和企业转型背景下，行业向自动化、智能化转型，智能物流成趋势，推荐安徽合力等公司 [7] 国产仪器 - 电子测量仪器国产化率低，高端产品依赖进口，国内企业高端产品加速推出，竞争力提升 [7] - 重点推荐普源精电，建议关注聚光科技等公司 [7]

光刻机技术发展 - 芯上微装前道500nm-i线光刻机已发货至头部fab厂进行量产验证，供应链i线物镜系统配套价值量从300万提升至500-600万 [1] - 上海微电子SSA600/20系列是国内最先进且唯一可量产的前道光刻机，分辨率达90nm，主要用于成熟制程 [3] - SMEE正在攻关28nm沉浸式(ArF液浸)光刻机，研发已进入后期阶段，核心子系统取得突破，目标2024-2025年完成首台交付 [4] - 国内XX装备集团聚焦365nm i-line光刻机(分辨率约0.35μm)，用于功率半导体等特殊工艺，同时推进KrF光刻机(248nm)研发，目标突破55nm节点 [6] 光刻机市场格局 - 2024年全球光刻机市场规模预计约315亿美元，占半导体设备24% [14] - 光刻机销量以中低端产品为主，KrF、i-Line占比分别为37.9%和33.6%，ArFi、ArFdry、EUV占比分别为15.4%、5.8%及7.3% [14] - 2022年ASML、Canon、Nikon市场份额分别为82.1%、10.2%和7.7%，ASML在高端光刻机领域处于绝对垄断地位 [45] 国产光刻机进展 - 2026年底大陆12英寸晶圆厂总月产能有望从2023年217万片增长到414万片 [15] - 光刻机占晶圆产线设备投资21%-23%，一条300mm月产1万片晶圆产线需要8台光刻机 [59] - 美国持续加大对华半导体设备出口管制，包括限制ASML向中芯国际出口EUV和DUV光刻机 [65] - 2024年ASML对中国大陆销售收入达90亿欧元，占其收入比重41% [67] 光刻机技术原理 - 光刻是芯片制造最复杂、最关键的工艺步骤，耗时占生产环节一半，成本占芯片制造成本30%以上 [10] - 分辨率提升路径包括更短波长和增大数值孔径，i-line光源分辨率220nm，Kr-F(248nm)110nm，Ar-F(193nm)65nm，EUV达8nm [11] - 浸没式系统突破DUV光刻机0.93数值孔径极限，将DUV分辨率提升到38nm以下 [12] - 光刻机整机由照明光学模组、投影物镜模组和晶圆模组构成，投影物镜高度超1米，直径大于40厘米，镜片数量超15片 [16][82] 重点公司动态 - 茂莱光学2024年半导体领域收入占比达46.3%，光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术已产业化 [98] - 福光股份布局光刻机超精密光学业务，推进红外、非球面等超精密光学加工技术突破 [106] - 英诺激光立项"高功率薄片超快激光器关键技术与产业化"项目，推进大能量、高重频超快激光技术 [113] - 中旗新材控制权变更，星空科技成为控股股东，其实际控制人贺荣明为上海微电子创始人 [126][131]

纪要涉及的公司 芯碁微装 纪要提到的核心观点和论据 - **核心推荐逻辑**：AI 算力需求爆发带动高多层 PCB 及高阶 HDI 板投资增长，下游 PCB 企业资本开支增加、扩产计划多，公司作为 PCB 曝光设备生产商受益，近期签 1.46 亿元 LDI 合同，订单饱满产能超载，多家头部企业扩产预计 2026 年落地支撑市场景气度；公司在先进封装和泛半导体领域有进展，先进封装布局多年，量产设备线宽 1 - 2 微米有优势，IC 载板业务预计 2025 年复苏且增速 50% - 100% [2][3] - **近期业绩表现**：2025 年 3 月起整体排产至三季度末，二季度每月排产 80 - 100 台，部分东南亚延迟发货设备 2025 年确认收入，全年业绩确定性强，预计 2025 年业绩增长约 2.9 亿元，同比增长约 80% [2][5] - **产品市场竞争力**：产品线宽覆盖 PCB 和泛半导体领域，在 PCB 线路层和阻焊层曝光环节价值量高且有国产替代逻辑；性能指标全面对标并赶超海外同行，领先国内竞争对手；曝光设备占整体设备投资额平均约 14%，显示重要地位和竞争力 [2][6] - **未来发展前景**：受益于 AI 算力带动的投资增长和头部企业扩产，主业稳定增长；先进封装和 IC 载板业务有望显著增长，IC 载板预计增速 50% - 100%，发展前景良好 [2][7] - **AI 算力扩产进展**：整体性能和参数指标国内领先，能深度受益于 AI 算力扩产效应 [8] - **先进封装领域突破**：LDI 设备采用无掩膜方案，成本约为传统投影曝光设备一半，通过 Loi 视觉处理和 DMD 控制系统检测调整芯片线路层位置，适用于高算力大面积芯片曝光，已获头部客户认可，预计 2025 年泛半导体先进封装增速 50 - 100% [2][9] - **IC 载板领域发展情况**：储备 3 - 4 微米解析能力，与海外同行技术水平相当，行业景气度有望恢复并在 2026 年上行，设备需求将触底反弹 [2][10] - **2025 年业绩及股价预期**：预计 2025 年业绩达 2.9 亿元，同比增长约 80%，目前估值 40 倍，历史估值中枢 50 倍，高涨时 50 - 60 倍，看好业绩发展及股价弹性 [11] 其他重要但是可能被忽略的内容 无

BC电池概念板块表现 - BC电池概念板块上涨4.13%，位居概念板块涨幅第1，板块内40股上涨，东材科技、钧达股份、通威股份等涨停，拉普拉斯、天合光能、芯碁微装等涨幅居前，分别上涨9.12%、8.10%、7.91% [1] - 跌幅居前的有广信材料、海天股份等，分别下跌2.39%、0.58% [1] - 今日涨跌幅居前的概念板块中，硅能源、PCB概念、铜缆高速连接、低辐射玻璃、TOPCON电池、钙钛矿电池、AI PC、HJT电池、AI手机等涨幅均超过3% [1] 资金流向 - BC电池概念板块获主力资金净流入20.92亿元，其中32股获主力资金净流入，8股主力资金净流入超5000万元 [1] - 通威股份主力资金净流入6.36亿元，隆基绿能、钧达股份、东材科技分别净流入5.17亿元、2.00亿元、9867.44万元 [1] - 资金流入比率方面，通威股份、钧达股份、隆基绿能等流入比率居前，主力资金净流入率分别为22.69%、21.00%、14.34% [2] 个股表现 - 通威股份今日涨跌幅10.00%，换手率3.22%，主力资金净流入63572.01万元 [2] - 隆基绿能今日涨跌幅6.46%，换手率2.94%，主力资金净流入51686.33万元 [2] - 钧达股份今日涨跌幅10.00%，换手率10.25%，主力资金净流入20014.30万元 [2] - 东材科技今日涨跌幅10.02%，换手率16.26%，主力资金净流入9867.44万元 [2] - TCL中环今日涨跌幅5.24%，换手率3.46%，主力资金净流入8826.18万元 [2] - 爱旭股份今日涨跌幅5.33%，换手率4.98%，主力资金净流入8789.96万元 [2] - 晶澳科技今日涨跌幅5.71%，换手率3.88%，主力资金净流入8344.30万元 [3] - 福斯特今日涨跌幅5.62%，换手率2.16%，主力资金净流入6918.44万元 [3] - 天合光能今日涨跌幅8.10%，换手率2.79%，主力资金净流入3748.89万元 [3] - 先导智能今日涨跌幅2.32%，换手率2.23%，主力资金净流入3675.90万元 [3]

A股光刻机（胶）概念股表现 - 东材科技涨停并走出3天2板行情 [1] - 芯碁微装涨幅超过8% [1] - 雅克科技、飞凯材料、圣剑科技、惠伦晶体等个股跟随上涨 [1] 行业热点 - 光刻机（胶）概念板块呈现短线走强态势 [1]

会议概况 - 2025势银（第五届）光刻产业大会将于7月9日-10日在合肥新站利港喜来登酒店举办，主题涵盖极紫外光刻（EUV）、电子束光刻、纳米压印等前沿技术，以及光刻胶、湿电子化学品、掩膜版等材料的国产化进程[25][26][30] - 会议设置三大专场：先进光刻技术、光刻胶与湿电子化学品、材料与装备，覆盖全产业链，包含20+嘉宾演讲及圆桌论坛[27][29] - 参会规模300人，6月30日前报名费用2600元/人，含会议资料、自助午餐及晚宴[30][31] 核心议题 - **技术方向**：聚焦混合键合在先进封装的应用、导向自组装图形化技术、纳米压印胶研发等，涉及中科芯、甬江实验室、复旦大学等机构[13][21] - **材料突破**：探讨光刻胶国产化难点（张江实验室）、CAR光刻胶发展（星泰克）、聚酰亚胺材料趋势（波米科技）[14][16][21] - **设备挑战**：芯碁微装将分享激光直写光刻设备产业化思考，芯东来半导体讨论本土光刻设备机遇[7][21] 参与企业 - **芯碁微装**：专注直写光刻设备研发，拥有200+知识产权，牵头制定PCB直接成像国家标准，获工信部专精特新"小巨人"等荣誉[7] - **鼎龙控股**：副总裁肖桂林将解析先进封装PSPI与键合胶趋势[14] - **永光化学**：研发协理黄新义分享绿色光刻胶助力集成电路ESG目标[16] 行业背景 - 中国光刻产业面临高端光刻胶自给率低、湿电子化学品进口依赖、EUV光刻机技术差距等"卡脖子"问题，亟需通过产学研合作提升自主可控能力[34][35] - 大会旨在推动产业链协同创新，加速技术转化，构建安全生态体系[35][36] 会议议程 - **7月9日**：上午聚焦先进光刻技术（如高性能芯粒异构集成），下午讨论光刻胶与湿化学品（含安捷伦分析方案、TGV湿电子化学品挑战）[11][14][16] - **7月10日**：材料与装备专场涉及光刻胶单体质量控制（宇瑞化学）、DUV光刻系统有机物研究（集萃光敏所）等[21]

公司H股上市计划 - 公司拟启动境外发行股份（H股）并在香港联交所上市的前期筹备工作，以加快国际化战略及海外业务布局 [1] - 本次H股上市旨在打造国际化资本运作平台，提升品牌形象及知名度，增强资本实力和综合竞争力 [1] - 公司董事会授权管理层在12个月内推进H股上市筹备工作，具体细节尚未最终确定 [1] - H股上市需提交公司董事会和股东大会审议，并需取得中国证监会、香港联交所等监管机构批准 [2] 公司A股融资历史 - 公司于2021年4月1日在上交所科创板上市，发行3020.24万股，发行价15.23元/股，募集资金总额4.60亿元，净额4.16亿元 [2] - 实际募集资金净额比原计划少5708.17万元，原计划募集4.73亿元用于多个项目 [3] - 2022年通过定增发行10,497,245股，发行价75.99元/股，募集资金总额7.98亿元，净额7.89亿元 [4] - IPO及定增合计募资12.58亿元 [5] 募投项目情况 - 原计划IPO募集资金投向：2.08亿元用于高端PCB激光直接成像设备升级、9380万元用于晶圆级封装直写光刻设备产业化、1.08亿元用于平板显示光刻设备研发、6355万元用于微纳制造技术研发中心建设 [3] 中介机构情况 - IPO保荐机构为海通证券（现国泰海通证券），保荐代表人为于军杰、林剑辉 [2] - IPO发行费用合计4362.50万元，其中保荐承销费用3037.63万元 [3] - 2022年定增保荐机构仍为海通证券，保荐代表人为林剑辉、周磊 [4]

光刻机概念板块表现 - 截至7月1日收盘，光刻机概念上涨2.34%，位居概念板块涨幅第8位 [1] - 板块内29股上涨，凯美特气、海立股份、旭光电子涨停，蓝英装备、久日新材、中瓷电子涨幅居前，分别上涨14.60%、5.93%、4.55% [1] - 跌幅居前的个股包括腾景科技、电科数字、富创精密，分别下跌3.29%、1.20%、1.11% [1] 资金流动情况 - 光刻机概念板块获主力资金净流入8.25亿元，23股获主力资金净流入 [2] - 5股主力资金净流入超5000万元，旭光电子净流入3.12亿元居首，海立股份、凯美特气、芯碁微装分别净流入2.90亿元、5884.65万元、5303.59万元 [2] - 资金流入比率方面，*ST和科、旭光电子、海立股份居前，主力资金净流入率分别为41.92%、20.54%、18.75% [3] 个股资金流向 - 旭光电子今日涨9.97%，换手率12.69%，主力资金净流入3.12亿元，净流入比率20.54% [3] - 海立股份今日涨9.99%，换手率15.95%，主力资金净流入2.90亿元，净流入比率18.75% [3] - 凯美特气今日涨10.00%，换手率6.27%，主力资金净流入5884.65万元，净流入比率11.97% [3] - 蓝英装备今日涨14.60%，换手率37.69%，主力资金净流入5062.04万元，净流入比率1.69% [3] 其他概念板块表现 - 中船系、细胞免疫治疗、创新药涨幅居前，分别上涨4.90%、3.12%、3.01% [2] - 电子身份证、数字货币、跨境支付(CIPS)跌幅居前，分别下跌2.52%、2.40%、1.77% [2]

公司股价与主力成本 - 当日主力成本82元 5日主力成本79.56元 20日主力成本76.41元 60日主力成本72.94元 显示主力持仓成本呈阶梯式上升[1] - 过去一年内涨停0次 跌停1次 反映股价波动性较低[1] - 北向资金持股50.13万股 占流通股0.38% 昨日净买入3.56万股 但5日累计净减持0.015%[1] 技术面分析 - 短期压力位79.45元与支撑位78.10元 中期压力位79.45元与支撑位71.07元 当前股价突破双压力位 预示短中线走强[2] - K线呈现多方炮形态 底部出现暗示上涨潜力[2] - 主力资金单日净流入3819.57万元 占总成交额8% 其中超大单2003.8万元 大单1815.78万元 散户净流出19.14万元[2] 行业关联性 - 所属专用设备板块当日涨幅0.52% 光刻机(胶)概念涨1.59% 半导体概念涨0.67% PCB概念涨0.76% 显示行业联动性较强[2]