行业概况 - 溅射靶材是半导体产业的基础材料，用于物理气相沉积（PVD）工艺，通过磁控溅射技术形成功能薄膜，决定芯片性能、良率和可靠性 [6][8] - 主要应用于晶圆制造和封装测试环节，支撑先进制程（如7nm以下），薄膜厚度需控制在纳米至微米级，均匀性误差要求极高 [8][9] - 核心特性包括超高纯度（5N5级别以上）、高精度尺寸和高微观结构一致性，满足芯片对电性、可靠性和集成度的严苛要求 [8] 靶材分类 - 按材质分为金属靶材（铜、铝、钛等）、合金靶材（铜锰合金等）、陶瓷靶材（氧化铟锡等） [12] - 铝靶用于110nm以上制程导电层，铜靶用于110nm以下先进制程互连层，钽靶用于阻挡层防止金属扩散 [12] - 制程微缩推动靶材纯度要求提升，14nm需6N纯度，3nm及以下需7N纯度 [13] 产业链分析 上游供应 - 原材料依赖高纯金属（如6N级铜），国内企业如新疆众和（高纯铝）、江丰电子（钨靶）部分实现自给，但多数仍进口 [15][16] - 关键设备（熔炼炉、粉末冶金设备）被欧美日企业垄断，影响靶材生产效率和质量 [17] 中游制造 - 技术密集环节，涵盖熔炼、成型、加工、绑定等工序，精度需控制在微米/纳米级 [18] - 工艺包括熔炼铸造法（效率高但易氧化）、粉末冶金法（成分均匀但成本高）、沉积法（高纯度但产能低） [28][31][32] 下游应用 - 主要需求来自半导体芯片制造，形成金属互连层、阻挡层等关键结构，AI、5G、物联网推动需求增长 [22][23] - 溅射镀膜市场被美日企业垄断，专用设备精密度高 [21] 市场情况 - 全球溅射靶材市场规模从2018年821亿元增至2022年1,163亿元（CAGR 9.1%），预计2027年达1,945亿元（CAGR 10.7%） [47][48] - 中国半导体靶材市场2022年27亿元（CAGR 14.4%），预计2027年57亿元（CAGR 15.8%），晶圆制造靶材增速更高（CAGR 16.7%） [49][52][53] 竞争格局 - 全球80%份额被美日企业占据，JX日矿金属（30%）、霍尼韦尔（20%）、东曹（20%）为龙头 [60][63] - 国内企业如江丰电子（7nm量产）、有研新材（钌基靶材）、阿石创（钼靶全球市占25%）加速替代，但高端市场仍存差距 [64][82][86] 技术趋势 - 3nm制程需7N纯度靶材，推动新型提纯技术（区域熔炼、离子交换）发展 [43] - 材料创新：钴、钌合金靶材应对功耗问题，EUV光刻专用靶材研发 [68] - 3D封装需求催生垂直互连结构靶材，提升薄膜沉积方向性控制 [68] 核心投资逻辑 - 刚性耗材属性：与晶圆厂CAPEX和产能利用率强相关，弱化周期波动 [74] - 三重壁垒：技术（高纯度）、认证（长周期）、客户粘性（高切换成本） [75] - 国产替代：国内企业从加工环节向上游核心材料突破，侵蚀海外份额 [76] - 技术跃迁：布局先进制程（钴/钌靶）和封装（大尺寸铜靶）的企业更具成长性 [77] 国内外企业清单 - 国际龙头：JX日矿金属（钛靶）、霍尼韦尔（钛/铝靶）、东曹（钴/镍靶） [79][80] - 国内领先：江丰电子（铜靶市占率超20%）、先导薄膜（ITO靶全球30%）、映日科技（光伏靶材） [82][91][94] - 高纯金属供应商：新疆众和（高纯铝）、有研亿金（超高纯铜）、东方钽业（高纯钽） [101]

产品体系 - 公司成功搭建以超高纯金属溅射靶材为核心，半导体精密零部件、第三代半导体关键材料共同发展的产品体系 [1] - 靶材产品在技术和市场份额均跻身全球领先行列 [1] - 零部件形成全品类覆盖，在供应链国产化趋势逐渐加强的背景下发展势头强劲 [1] 靶材业务 - 2024年靶材收入23.33亿元，同比增长39.51%，毛利率31.35%，同比提升2.90个百分点 [1] - 公司已成为全球领先的半导体溅射靶材制造商，产品进入全球领先的3nm工艺制程 [1] - 公司是台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子等全球知名芯片制造企业的核心供应商，市场份额近40%，位居全球第一 [1] - 2024年300mm铜锰合金靶产量大幅攀升，高致密300mm钨靶实现稳定批量供货，HCM钽靶和HCM钛靶成功开发并量产 [1] - 公司对韩国江丰追加3.5亿元投资以推进建设韩国生产基地，加速国际化战略布局 [1] 零部件业务 - 2024年零部件收入8.87亿元，同比增长55.53%，毛利率24.27% [2] - 2024年公司大量新品完成技术攻关并批量生产，气体分配盘、Si电极等4万多种零部件实现量产，形成全品类零部件覆盖 [2] - 2025年1月公司与KSTE INC签署《关于静电吸盘项目之合作框架协议》，引进静电吸盘生产技术并采购相关生产线，最终实现中国大陆地区独立量产 [2] - KSTE负责提供全流程技术支持及生产线设计和交付 [2] - 静电卡盘市场高度垄断，主要由日本和美国企业主导，此次签约有助于公司增强在半导体精密零部件领域的品类优势和市场竞争力 [2] 未来发展 - 公司三大产品体系建设稳步推进，靶材需求显著受益于下游厂商新建产能落地 [3] - 精密零部件产品在供应链国产化趋势逐渐加强的背景下发展势头强劲 [3] - 预计公司2025-2027年营收分别为46.42/59.84/76.06亿元，归母净利润分别为5.25/6.79/9.19亿元 [3]