报告公司投资评级 - 首次覆盖给予买入评级，根据可比公司25年42倍PE，对应目标价为136.08元 [2][141] 报告的核心观点 - 报告研究的具体公司是国内半导体清洗和电镀设备龙头，业绩增长稳定，预计2025年营收同比增长约16%到26% [9] - 半导体设备迭代升级是产业发展重要驱动力，高端设备国产化突破是关键，中国半导体产业自主率预计2027年达26.6% [9] - 报告研究的具体公司在清洗设备领域竞争优势持续提升，可适用于28nm及以下制程，未来清洗工艺有望覆盖超95%应用 [9] - 报告研究的具体公司平台化布局逐步成型，六大系列产品线打开新天花板，综合竞争力有望提升 [9] 根据相关目录分别进行总结 1 半导体设备领域龙头，业绩增长持续强劲 1.1 半导体设备多领域布局，产业经验积累深厚 - 报告研究的具体公司成立于2005年，是具备世界先进技术的半导体设备制造商，业务布局逐步拓展，2024年申请专利比上年增长89.63% [19][20] - 公司战略布局分三个阶段，2024年后进入平台化发展新阶段，围绕六大系列产品研发及迭代 [22][23] - 公司主要产品有多种半导体设备，三大业务整体稳定，清洗设备是核心业务，其他业务有望成营收驱动 [24] - 公司股权结构集中稳定，董事长HUI WANG为实控人，为核心技术研发提供保障 [28][29] 1.2 公司业绩持续高增，盈利能力提升 - 公司营收高速增长，2024年营收同比增长49%，2020 - 2024年复合增长率达54%，25Q1利润大增 [31] - 公司盈利能力较强，22 - 24年毛利率约50%，净利率超20%，随着产品提升，盈利能力持续提升 [31] - 公司重视研发，研发费用增加，销售费用率下降，管理费用率波动，市场口碑好，客户资源丰富 [33][36] - 公司供应链风险低，前五大供应商采购总额占比低，前五大客户营收占比下降，依赖度降低 [38][41] 1.3 研发团队经验丰富，三大业务稳步发展 - 公司拥有三大业务条线、六大系列产品，在清洗和电镀设备建立国产龙头地位，炉管和先进封装产品有布局 [44] - 公司清洗设备技术优势强，研发出多种首创技术，TEBO设备适用于28nm及以下图形晶圆清洗 [46] - 公司核心技术自主研发，形成六大类业务版图，多项在研项目进展顺利，技术成果多 [48][49] - 公司管理层多具技术背景，研发人员经验丰富、学历高，重视股权激励促进发展 [50][54] 2. 半导体设备行业：多重驱动加持，半导体清洗设备前景广阔 2.1 半导体设备是半导体产业链的上游核心 - 半导体设备是产业链上游核心，在芯片制造各环节发挥重要作用，报告研究的具体公司设备覆盖多环节 [55][56] - 全球晶圆产能持续增长，2025年预计新建18个晶圆厂，中国产能增长率居首 [58][60] - 全球半导体设备市场反弹创历史新高，2024年销售额达1171亿美元，中国是增长最大驱动力 [62] - 中国是全球最大半导体设备市场，2024年销售额达496亿美元，占比从34%提升至42% [66] 2.2 下游厂商扩产+芯片技艺进步提振需求，半导体清洗设备高景气持续 - 半导体清洗设备是产业链重要环节，清洗工序占芯片制造工序超30%，约占晶圆制造设备投入7% [69] - 湿法清洗是主流技术，占比超90%，单片清洗设备是湿法主流，需求将随芯片工艺进步增长 [72][74] - 下游晶圆厂扩产和技术进步提振需求，预计2025年全球半导体清洗设备市场规模达69亿美元 [76] 2.3 自主可控政策大力支持，清洗设备行业持续向好 - 报告研究的具体公司终止韩国资产投资，变更资金投入至上海项目，上海产业集群环境好 [79] - 国家和地方出台多项政策支持半导体设备发展，涵盖税收、研发、金融等方面 [80][83] 2.4 先进封装增长动力持久，相应设备需求快速增长 - 先进封装通过改变连接方式提升芯片性能，包括多种封装技术，三大终端市场增长动力持久 [84][86] - 先进封装资本开支预计25 - 26年两位数增长，26年达约137亿美元，设备市场规模预计26年约96亿美元 [86][90] - 先进封装技术对电镀、清洗等设备提出新要求，包括硬件、工艺、兼容性和新清洗需求等 [95][96] 3. 打造清洗设备核心优势，多元布局快速成长 3.1 清洗设备竞争激烈，公司凭借差异化技术占据领先地位 - 半导体清洗设备市场竞争激烈，全球集中度高，2023年CR4达86%，报告研究的具体公司市占率7% [98] - 国内厂商采取差异化路线提升竞争力，报告研究的具体公司凭借技术和平台化布局在国内领先 [98][99] 3.2 公司清洗设备优势明显，可覆盖90%以上清洗步骤 - 报告研究的具体公司2024年清洗设备营收同比增长55%，国内领先，技术可覆盖90% - 95%清洗步骤 [104] - 公司清洗设备技术储备丰富，专利泛用性强，可降低成本，符合节能减排政策 [106][107] - 芯片结构复杂化对清洗设备要求提高，公司计划覆盖超95%工艺应用，2024年募资助力研发 [110][113] 3.3 重视客户导入进展，持续获得批量订单 - 报告研究的具体公司导入国内外知名客户，2009年设备进入SK海力士验证，获国内外领先客户订单 [114] - 截至2024年9月30日，公司在手订单总额67.7亿元，未来有望拓展更多客户 [114] 4. 平台化策略开拓其他设备业务，打造新业务增长极 4.1 公司电镀设备技术储备丰富，国内龙头掌握核心专利 - 半导体电镀广泛采用镀铜设备，报告研究的具体公司全球前道电镀设备市场排第三，掌握核心专利 [115] - 公司在先进封装电镀领域差异化开发，解决难题，实现多种金属层电镀，有密封专利技术 [117] - 公司计划提高电镀设备产能和深宽比，开发新设备，取得核心知识产权并通过验证 [118] 4.2 公司自研立式炉管，相关技术国内领先 - 半导体产业景气度回升带动炉管市场规模扩大，2030年预计达36.8亿美元，CAGR为5.9% [120] - 报告研究的具体公司2018年自研立式炉管，技术专利储备丰富，UltraFn炉管有差异化优势 [122][123] - 公司计划研发多种炉管设备，取得核心知识产权并通过验证，巩固领先地位 [125] 4.3 先进封装设备领域耕耘多年，差异化布局显成效 - 先进封装市场规模保持增长，2030年预计达242.8百万美元，CAGR为3.4% [126] - 报告研究的具体公司在先进封装设备领域技术积累丰富，产品进入多家企业及机构，申请专利超20项 [129] - 公司在先进封装清洗设备方面解决TSV深孔和助焊剂清洗难题，首创无应力抛光助力普及 [130][135] - 公司计划开发先进封装技术的封装设备，提高技术水平，拓展国际市场 [137] 盈利预测与投资建议 盈利预测 - 预计25 - 27年营收增长来自清洗、其他半导体和先进封装湿法设备，各板块营收有相应预测 [138] - 预计25 - 27年毛利率分别为50.0%、50.6%和51.1%，费用率小幅下降 [138] 投资建议 - 预测25 - 27年每股收益分别为3.24、4.04、4.63元，根据可比公司25年42倍PE，对应目标价136.08元，首次覆盖给予买入评级 [2][141]

芯启源半导体经营状况 - 公司自2024年3月起停发工资并暴力裁员 涉及拖欠员工年终奖及工资 其中一名员工被拖欠20万年终奖和2个月工资 [2] - 公司2023年营收17.17亿元 同比增长23.98% 净利润2.51亿元 同比增长25.21% 主要增长动力来自光刻工序涂胶显影设备 该产品收入10.66亿元 同比增长40.8% 占总收入63.48% [3] - 2024年第一季度营收同比下滑15.27% 净利润仅1601.09万元 同比暴跌75.73% 2023年第三季度合同负债环比减少1.07亿元至3.59亿元 显示订单增长乏力 [3] - 2024年4月公司密集进行股权质押融资 总额超2亿元 显示资金链紧张 [3] - 公司拖欠2025年3月至6月四个月工资及2022-2023年年终奖 南京团队已基本解散 [4] 公司基本情况 - 公司成立于2015年 由硅谷创业者卢笙创立 专注于集成电路IP、芯片及EDA工具设计研发 研发中心分布于上海、南京、北京和美国硅谷 [2] - 研发团队主要来自Marvell、Broadcom、Intel、中兴通讯、百度等企业 在芯片设计、网络通讯、云数据中心领域经验丰富 [2] - 公司DPU芯片采用NP-SoC模式和Chiplet技术 具有自主知识产权 [2] 产能扩张计划 - 上海临港厂区2023年1月主体结构封顶 将用于研发生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机等高端设备 [3] - 计划建设高端晶圆处理设备产业化项目(二期) 以扩大产能满足业务增长需求 [3]

半导体装备业务表现 - 2024年半导体装备业务收入265 78亿元 净利润52 18亿元 [1] - 2025Q1半导体装备业务收入78 59亿元 占比95 77% 净利润15 79亿元 [5] 刻蚀设备 - 2024年刻蚀设备收入超80亿元 形成ICP CCP Bevel刻蚀设备等全系列产品布局 [1] - ICP设备主要用于12英寸逻辑 存储等领域浅沟槽隔离 栅极等刻蚀工艺 [1] - CCP设备覆盖AIO Contact等逻辑领域多个技术节点 适用于Low-K介质及常规介质材料 [1] - 高深宽比刻蚀设备满足3D NAND堆叠层刻蚀需求 96层3D NAND刻蚀深宽比达40以上 [1] 薄膜沉积设备 - 2024年薄膜沉积设备收入超100亿元 其中ALD设备收入近20亿元 [2] - PVD设备覆盖逻辑和存储芯片 Metal Gate PVD实现28nm金属栅核心工艺量产突破 [2] - ALD设备用于12英寸存储芯片金属氧化物薄膜沉积 成为国内HiK量产生产线主力机台 [2] - EPI设备实现减压选择性外延等全面覆盖 是国内扩产首选机台 [3] 其他设备领域 - 2024年热处理设备收入超20亿元 形成立式炉和RTP全系列布局 [3] - 2024年湿法设备收入超10亿元 形成单片设备和槽式设备全面布局 [3] - 2025年3月发布首款离子注入机Sirius MC 313 将撬动国内160亿元市场空间 [3] 芯源微收购 - 收购芯源微9 48%股份 成为控股股东 进军前道涂胶显影机 临时键合及解键合机市场 [3][4] - 芯源微是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商 覆盖offline I-line KrF及ArF浸没式产品 [4] - 前道化学清洗机KS-CM300/200工艺覆盖率达80%以上 已获多家大客户订单 [4] - 全自动临时键合及解键合机适配InFO CoWoS HBM等技术路线 在手订单近20台 [4] 财务表现 - 2025Q1收入82 06亿元 同比增长37 90% 归母净利润15 81亿元 同比增长38 80% [5] - 毛利率43 02% 净利率19 10% 同比基本持平 [5] - 预计2025-2027年营收分别为387 77 480 36 595 86亿元 归母净利润75 11 94 72 121 77亿元 [5]

海光信息与中科曙光吸收合并交易 - 海光信息拟通过向中科曙光全体A股换股股东发行A股股票的方式换股吸收合并中科曙光 并计划发行A股股票募集配套资金 两家公司股票自5月26日起停牌不超过10个交易日 [1] - 该交易是5月16日《上市公司重大资产重组管理办法》修订后首单上市公司间吸收合并案例 [2] 企业整合的产业协同效应 - 中科曙光在高端计算、存储、云计算领域具备优势 海光信息专注国产CPU/DCU芯片设计 整合将优化从芯片到系统的全产业链布局 实现"强链补链延链"目标 [8] - 全球科技产业重构背景下 此次整合符合产业链延伸趋势 有望推动公司发展升级 [8] 政策环境与市场动态 - 新"国九条"及配套政策明确鼓励头部公司通过吸收合并整合产业链 科创板八条支持上市公司主业并购 并购六条细化非同一控制下同行业吸收合并规则 [10] - 修订后的《重大资产重组管理办法》建立简易审核程序 将上市公司间吸收合并纳入适用情形 [10] - 政策推动下科创板并购活跃 "科创板八条"发布后新增并购交易102单 总金额超260亿元 2024年以来新增40单并购交易 其中14单涉及发行股份 [10] 科创板并购重组典型案例 - 亚信安全收购港股亚信科技 成为2024年网络安全行业规模前列交易 交易后2024年营收同比增长123 56%至35 95亿元 [13] - 美埃科技私有化港股捷芯隆 增强洁净室解决方案全链条能力 [14] - 北方华创收购芯源微17 9%股权实现控股 双方在半导体设备领域形成刻蚀/薄膜沉积与涂胶显影设备的互补协同 [14]

报告公司投资评级 - 维持“持有”评级，目标价从人民币 95.00 元略微下调至人民币 90.00 元 [3][15] 报告的核心观点 - 2024 年和 1Q25 季度业绩低于预期，主要因持续进行新产品研发投入，研发费用率占比提升 [1] - 2024 年新签订单有望在 2025 年逐步贡献收入，新产品放量对 2025 年收入贡献可期 [2] - 若北方华创完成对芯源微的股份收购，有望成为第一大股东，对芯源微中长期财务表现有正向带动作用 [2] - 因 1Q25 季度净利润低于预期和 2025 年财年研发费用上升，下调 2025 财年每股收益 32% [3][9] 各部分总结 业绩表现 - 2024 年收入 17.5 亿元，同比增长 2.13%，扣非净利 2.03 亿元，同比下降 19.08% [1] - 1Q25 季度收入 2.75 亿元，同比增长 12.74%，扣非净利 0.05 亿元，同比下降 70.89% [1] 订单情况 - 2024 年新签订单 24 亿元，同比增长 10%，前道涂胶显影机、前道化学清洗机、物理清洗机等产品签单表现良好 [2] - 后道先进封装方面，后道涂胶显影机和单片湿法设备签单量同比增长，新产品临时键合机、解键合机通过多家客户验证 [2] 盈利预测修正 - 预计 2025/26/27 年收入分别增长 29%/30%/24%，2025 年收入增长加速因前道涂胶显影机新产品收入增速有望进一步上涨 [9] - 预计 2025/26/27 年净利率分别达到 12.4%/15.1%/17.3% [9] 估值 - 采用 P/E 估值，目前目标倍数为 69 倍 2025 年 P/E（此前为 50 倍），因市场预期北方华创可能完成股份收购，有利于 2025 - 27 财年收入和利润增长 [15] - 预测芯源微 2024 - 27 年净利润增速 46%，高于同业其他公司平均增速（37%） [15] 财务数据摘要 |项目|2023A|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----|----| |营业收入（RMBmn）|1,717|1,754|2,088|2,933|3,645| |每股收益（RMB）|1.82|1.01|1.29|2.20|3.14| |市盈率（x）|57.4|73.9|74.7|43.7|30.6| |市净率（x）|6.0|5.6|6.7|5.9|5.1| |股本回报率（%）|10.5|7.7|9.0|13.6|16.5| [7] 财务报表 利润表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |涂胶显影设备（RMBmn）|1,041|1,460|2,057|1,649| |单片式湿法设备（RMBmn）|664|766|831|818| |营业收入（RMBmn）|1,754|2,088|2,933|3,645| |营业成本（RMBmn）|(1,093)|(1,356)|(1,900)|(2,369)| |毛利润（RMBmn）|661|732|1,032|1,276| |管理及销售费用（RMBmn）|(650)|(594)|(709)|(741)| |息税前利润（RMBmn）|(4)|114|289|498| |净利润（RMBmn）|203|258|442|630| |基本每股收益（RMB）|1.01|1.29|2.20|3.14| [18] 资产负债表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |流动资产（RMBmn）|3,950|4,456|5,101|5,561| |非流动资产（RMBmn）|1,086|1,078|1,040|974| |资产（RMBmn）|5,036|5,534|6,141|6,535| |流动负债（RMBmn）|1,308|1,175|1,417|1,277| |非流动负债（RMBmn）|1,041|1,470|1,470|1,470| |负债（RMBmn）|2,349|2,645|2,886|2,746| |归属于母公司所有者权益（RMBmn）|2,636|2,866|3,259|3,820| |负债及所有者权益（RMBmn）|5,036|5,534|6,141|6,535| [18] 现金流量表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |净利润（RMBmn）|203|258|442|630| |经营活动产生的现金流量（RMBmn）|200|1,241|(667)|1,223| |投资活动产生的现金流量（RMBmn）|(248)|(236)|(226)|(215)| |筹资活动产生的现金流量（RMBmn）|427|(76)|(49)|(69)| |现金及现金等价物净增加额（RMBmn）|379|928|(941)|938| |自由现金流（RMBmn）|(48)|1,005|(893)|1,007| [20]

核心观点 - 美国4月CPI未因关税落地迅速抬升，整体通胀温和回落，三点原因分别为关税传导需时间、关税冲击被部分吸收、萎缩的能源价格和经济活动对冲商品价格冲击，该数据对美联储政策态度影响不大，关税谈判进程和二季度就业工资数据是关注重点 [6] - 益丰药房精细化管理成效显著，业绩增长稳健，考虑行业政策等因素，适当下调2025/2026年盈利预测，新增2027年盈利预测，维持“买入”评级 [16][20] - 至纯科技国产供应链有序切换，高阶设备与电子材料业务增长可期，虽2024年归母净利润下滑，但减值准备基本计提完毕，有望打造新成长曲线，上调营收和归母净利润预测，维持“买入”评级 [21][25] 重点推荐 三点原因解析美国4月通胀为何低于预期 - 事件：5月13日美国劳工局公布4月CPI数据，4月CPI同比2.3%，预期2.4%，前值2.4%；环比0.2%，预期0.3%，前值 - 0.1%；核心CPI同比2.8%，预期2.8%，前值2.8%；环比0.2%，预期0.3%，前值0.1% [5] - 通胀情况：能源商品继续回落但能源服务强劲，核心商品价格温和抬升，核心服务价格同比温和回落、环比小幅抬升 [7][8][9] - 通胀低于预期原因：关税传导至消费品需时间，4月关税影响或三季度显现，叠加暂缓措施，短期内商品价格不会因关税大幅走高；关税冲击被外国出口商、美国进口商和上游制造商部分吸收；能源和服务分项价格回落对冲关税带来的商品价格上升 [10][12][13] - 资产波动：4月CPI不改变美联储政策态度，市场押注降息时间点延后至9月，概率50.9%，认为今年降息两次共50bps，CPI数据发布后，美股高开高走，黄金走低，美元指数回落，美债收益率攀升 [14] 益丰药房（603939） - 业绩情况：2024年营收240.62亿元（同比 + 6.53%），归母净利润15.29亿元（同比 + 8.26%），扣非归母净利润14.97亿元（同比 + 9.96%）；2025年Q1营收60.09亿元（同比 + 0.64%，环比 - 12.19%），归母净利润4.49亿元（同比 + 10.51%，环比 + 7.51%），扣非归母净利润4.38亿元（同比 + 9.65%，环比 + 8.08%） [16] - 业务板块：2024年零售业务营收211.88亿元（同比 + 4.97%），加盟及分销营收21.07亿元（同比 + 11.34%）；中西成药营收180.45亿元（同比 + 5.56%），中药营收23.13亿元（同比 + 6.09%），非药品营收29.37亿元（同比 + 4.80%）；线上业务营收21.27亿元，O2O贡献17.21亿元，同比增长23.02% [17] - 经营指标：2024 - 2025年Q1毛利率分别为40.12%、39.64%（同比 + 1.91pct、+ 0.39pct），净利率6.87%、8.21%（同比 - 0.13pct、+ 0.74ptc）；各品类毛利率均有提升，费用率基本稳定 [17][18] - 扩张与布局：持续贯彻“区域聚焦、稳健扩张”战略，2024年末门店总数14,684家（含加盟店3,812家），净增1,434家，增速放缓；加强处方外流纵深布局，实现多品类横向扩张经营 [19][20] 至纯科技（603690） - 业绩情况：2024年营收36.05亿元（yoy + 14.40%），归母净利润0.24亿元（yoy - 93.75%），扣非归母净利润 - 0.57亿元（yoy - 156.25%），综合毛利率31.40%（yoy - 2.41pcts）；2025Q1营收7.28亿元（yoy - 10.32%，qoq - 24.63%），归母净利润0.19亿元（yoy - 70.09%，qoq + 111.23%），扣非归母净利润0.10亿元（yoy - 83.64%，qoq + 104.32%），综合毛利率33.90%（yoy + 0.08pcts，qoq + 13.41pcts） [21] - 业务情况：2024年系统集成业务营收28.30亿元（yoy + 22.07%），设备业务营收6.06亿元（yoy - 20.81%），电子材料业务营收1.64亿元（yoy + 165.09%）；系统集成业务稳定增长，设备业务有望批量上量 [22][23] - 订单与业务规划：2024年签订55.77亿业务订单，集成电路领域占比84.55%，12英寸客户订单占比88.46%；后续重点发力设备和电子材料业务板块 [24] 财经新闻 - 央行发布2025年4月金融统计数据报告，4月末M2余额325.17万亿元，同比增长8%，M1余额109.14万亿元，同比增长1.5%，M0余额13.14万亿元，同比增长12%，前四个月净投放现金3193亿元，前四个月人民币贷款增加10.06万亿元 [27] - 5月13 - 14日，中欧金融工作组第二次会议在比利时布鲁塞尔举行，围绕多议题交流，就新兴领域合作讨论，双方将深化合作并报告成果 [27] - 七部门联合印发加快构建科技金融体制的十五条举措，从多方面为国家重大科技任务和科技型中小企业提供金融支持 [28] A股市场评述 - 上交易日上证指数拉升收红，收盘上涨29点，涨幅0.86%，收于3403点，深成指、创业板双双收涨，主要指数多呈收涨 [30] - 上证指数日线技术条件尚无明显走弱迹象，30分钟线指标修复向好，回落空间小，上涨空间大；周线指标渐次向好，若周MACD金叉成立或有进一步震荡盘升动能 [30][31] - 深成指、创业板依托5日均线支撑进攻60日均线，日线KDJ、MACD金叉共振未走弱，适当整理后上破60日均线或为大概率事件 [31] - 上交易日同花顺行业板块中，收红板块占比60%，收红个股占比41%，保险板块涨幅居首，港口航运板块涨幅第二，证券板块技术上取得进步，其他部分板块技术向好 [31][32][33] 市场数据 |分类|名称|单位|收盘价|变化| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |资金|融资余额|亿元|17984|13.26| |资金|逆回购到期量|亿元|1955|/| |资金|逆回购操作量|亿元|920|/| |国内利率|1年期MLF|%|2|/| |国内利率|1年期LPR|%|3.1|/| |国内利率|5年期以上LPR|%|3.6|/| |国内利率|DR001|%,BP|1.4096|0.49| |国内利率|DR007|%,BP|1.5171|0.15| |国内利率|10年期中债到期收益率|%,BP|1.6736|0.32| |国外利率|10年期美债到期收益率|%,BP|4.5300|4.00| |国外利率|2年期美债到期收益率|%,BP|4.0500|3.00| |股市|上证指数|点,%|3403.95|0.86| |股市|创业板指数|点,%|2083.14|1.01| |股市|恒生指数|点,%|23640.65|2.30| |股市|道琼斯工业指数|点,%|42051.06|-0.21| |股市|标普500指数|点,%|5892.58|0.10| |股市|纳斯达克指数|点,%|19146.81|0.72| |股市|法国CAC指数|点,%|7836.79|-0.47| |股市|德国DAX指数|点,%|23527.01|-0.47| |股市|英国富时100指数|点,%|8585.01|-0.21| |外汇|美元指数|/,%|101.0284|0.06| |外汇|美元/人民币(离岸)|/，BP|7.2111|146.00| |外汇|欧元/美元|/,%|1.1174|-0.10| |外汇|美元/日元|/,%|146.75|-0.49| |国内商品|螺纹钢|元/吨,%|3127.00|1.23| |国内商品|铁矿石|元/吨,%|737.00|2.43| |国际商品|COMEX黄金|美元/盎司,%|3180.70|-2.27| |国际商品|WTI原油|美元/桶,%|62.68|-1.55| |国际商品|LME铜|美元/吨,%|9592.00|-0.34| [37]

核心观点 - 建议密切关注芯源微的ArF浸没式高产能涂胶显影机的验证进展，公司正在不同客户端积极推进导入及验证工作 [1] - 对芯源微未来三年EPS预测为1 35、2 14、3 36元，增速为34 08%、58 60%、56 93%，2025年目标价108 00元 [2] - 公司2024年收入17 53亿元同比增2 13%，扣非后归母净利润7330 66万元同比-60 83%，研发费用2 97亿元同比增49 93% [3] - 2024年新签订单约24亿元同比增10%，主力产品新机在客户端顺利推进，新产品稳步推进有望贡献新增长点 [3][4] 财务表现 - 2024年收入17 53亿元同比增2 13%，扣非后归母净利润7330 66万元同比-60 83% [3] - 2024年研发费用2 97亿元同比增49 93%，增长约1亿元 [3] - 25Q1收入2 75亿元同比增12 74%，扣非后归母净利润-4006 80万元同比-564 25% [3] - 2024年新签订单约24亿元（含Demo及LOI，含税）同比增10% [3] 产品进展 - 前道涂胶显影高端Offline机台取得快速突破，I-Line、KrF机台量产跑片数据良好，ArF浸没式高产能涂胶显影机积极推进导入及验证 [3] - 前道物理清洗机获得国内领先逻辑客户批量订单 [3] - 后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备获得海外封装龙头客户批量重复性订单 [3] - 前道化学清洗机已通过客户工艺验证并获得多家大客户订单 [4] - 临时键合机、解键合机通过多家客户验证并获订单，在手订单近20台 [4] - 2 5D/3D先进封装领域Frame清洗设备通过客户验证进入小批量销售 [4] 盈利预测 - 预计2025-2027年EPS为1 35、2 14、3 36元，增速为34 08%、58 60%、56 93% [2] - 给予公司2025年PE估值80倍，对应目标价108 00元 [2]

半导体湿法设备超纯槽体行业定义及特性 - 半导体湿法设备超纯槽体是用于盛放晶圆片、化学清洗液、去离子水等物品的容器，是半导体湿法设备的关键部件[1][2] - 核心功能为确保晶圆表面在湿法处理过程中不受污染，保障芯片制造的良率和可靠性[2] - 主要特性包括超高洁净度、耐腐蚀性、温度控制、密封性等[2] 半导体湿法设备超纯槽体行业发展现状 - 2024年我国半导体清洗设备的超纯槽体成本约为21万元，较2023年增长3.5万元[1][4] - 2024年我国半导体湿法设备超纯槽体市场规模约为3.03亿元，较2023年增长0.22亿元[1][6] - 半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备的"心脏"，主要用于容纳高纯度化学试剂[4][6] 半导体湿法设备超纯槽体行业产业链 - 上游主要包括FTFE、PFA、PVDF等原材料，以及注塑机、挤出机、加工中心等加工设备[8] - 中游为半导体湿法设备超纯槽体生产制造[8] - 下游应用于半导体湿法设备[8] - 2024年我国PVDF市场规模约为350亿元[10] - 2024年中国半导体清洗设备市场规模为158.82亿元，较2023年增加30.71亿元[12] - 预计2025年中国半导体清洗设备市场规模有望达到195亿元[12] 半导体湿法设备超纯槽体行业竞争格局 - 全球市场主要由日本厂商迪恩士（DNS）占据领先地位[15] - 国内主要生产企业包括沃凯氟、沃特华本、霓佳斯等[15] - 国内企业如至纯科技、北方华创等加大自主槽体研发，国产替代加速[15] - 未来发展方向包括更高纯度、智能化监控、长寿命等[15] 主要企业概况 - 至纯科技：国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，中国半导体湿法清洗设备领先企业之一[16] - 北方华创：业务覆盖半导体集成应用整个产业链，半导体设备是其核心业务领域[16] - 盛美半导体：为全球客户提供高端半导体设备，主要产品包括单晶圆及槽式湿法清洗设备等[16] - 沃凯氟：主营业务聚焦半导体、泛半导体领域，涉及材料配方复合、超纯精密加工等[16] - 沃特华本：专业从事氟塑料制品的研发、生产和销售，产品得到国内外知名半导体客户认可[16] - 霓佳斯：专注于高性能密封材料及精密工业部件，逐步拓展至半导体设备关键部件领域[16] - 芯矽科技：聚焦半导体湿法设备核心组件研发与制造，超纯槽体是其核心业务之一[16]

内容概要：半导体湿法设备是芯片制造中用于清洗、蚀刻、去胶等一系列工艺的核心装备，它是通过使 用化学溶液与半导体材料进行反应来实现特定的工艺目的。全球主流芯片的制造分为4个阶段：原料制 作、单晶生长和晶圆的制造、集成电路晶圆的生产、集成电路的封装。在目前主流的芯片制程中，湿法 清洗是主流的清洗技术路线，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。近年来，随着全球半导体行业的快 速发展，半导体湿法设备市场也呈现出强劲的增长势头。据统计，2024年，全球半导体清洗设备市场规 模约为794.07亿元，较2023年增加82.35亿元；中国半导体清洗设备市场规模为158.82亿元，较2023年增 加30.71亿元。预计2025年全球半导体清洗设备市场规模有望达到880亿元，中国半导体清洗设备市场规 模有望达到195亿元。 上市企业：至纯科技[603690]、北方华创[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037] 相关企业：迪恩士SCREEN、东京电子TEL、泛林LAM与细美事SEMES、Lam Research、中芯国际、长 江存储、华虹集团、富乐德、江化微、上海新阳、芯矽科技、重庆华润、上海华虹、上海积塔、 ...

文章核心观点 公司2024年及2025Q1业绩有阶段性波动，主要因研发投入大、人员成本增加；各产品表现有差异，新签订单增长，新产品逐步放量；北方华创推进取得控制权，有望产生协同效应；预计2025 - 2027年营收和归母净利润增长，维持“买入”评级 [1][3][5][8] 事件 - 2025年4月26日，芯源微发布2024年年报；4月29日，发布2025年一季报 [1] 业绩情况 2024年 - 营收17.54亿元，同比+2.13%；归母净利润2.03亿元，同比-19%；扣非归母净利润0.73亿元，同比-61%；主营业务毛利率36.85%，同比-0.90pct；销售净利率11.49%，同比-3.08pct [1] 2024Q4 - 营收6.49亿元，同比+27%，环比+58%；归母净利润0.95亿元，同比+213%，环比+202%；扣非归母净利润0.33亿元，同比+514%，环比+679%；毛利率29.54%，同比-13.15pct，环比-16.69pct；销售净利率14.85%，同比+8.99pct，环比+7.48pct [1] 2025Q1 - 营收2.75亿元，同比+13%；归母净利润0.05亿元，同比-71%；扣非归母净利润-0.40亿元，同比转亏；毛利率34.29%，同比-6.00pct，环比+4.76pct [2] 投资要点 研发与人员成本 - 2024年研发投入2.97亿元，同比+50%，近五年研发费用CAGR超50%，研发费用率16.9%，同比+5.4pct，研发人员459人，硕士以上学历人员占比超50% [3] - 截至2024年末，员工总人数1366人，同比+22% [3] - 2025Q1研发费用率23.18%，同比+4.58pct，全年研发费用或进一步增长 [3] 产品毛利率 - 涂胶显影设备2024年收入10.50亿元，同比-1.52%，毛利率34.81%，同比+0.09pct，销量169台，同比-25%，均价621万元/台 [4] - 单片式湿法设备2024年收入6.45亿元，同比+7.43%，毛利率39.20%，同比-3.12pct [4] - 键合机及其他设备2024年收入0.15亿元，同比+13.75%，毛利率78.60%，同比+4.36pct [4] 订单情况 - 2024年新签订单约24亿元（含Demo及LOI，含税），同比增长约10% [5] - 截至2025Q1末，合同负债5.48亿元，同比+32%，环比2024年末增长22% [5] 各产品进展 前道Track - 是国内唯一提供量产型前道Track的厂商，推出多种机型，覆盖28nm及以上工艺节点，28nm以下工艺技术在验证中 [5] - 2024年持续获国内头部客户订单，高端offline机台突破，I - line、KrF机台量产跑片数据好，ArF浸没式高产能Track在导入验证 [5] - 新一代超高产能Track架构FTEX研发顺利，有望导入验证；2024年实现多种泵类零部件国产替代 [5] 前道清洗机 - 化学清洗机2024年3月推出，签单表现优秀，获多家大客户订单及验证性订单，高温SPM机台通过工艺验证 [6][7] - 物理清洗机2024年获国内领先逻辑客户批量订单 [7] 后道先进封装设备 - 2024年后道Track及单片式湿法设备签单同比增长，获海外封装龙头客户批量重复性订单 [7] - 新产品临时键合机、解键合机通过多家客户验证，获国内多家客户订单，在手订单接近20台 [7] - Frame清洗设备已通过客户验证，进入小批量销售阶段 [7] 控制权变更 - 北方华创计划通过协议受让和改组董事会取得公司控制权，双方产品布局互补 [8] 盈利预测和投资评级 - 预计2025 - 2027年营收分别为20.53/27.01/36.22亿元，归母净利润分别为2.48/4.01/6.73亿元，同比+22%/+62%/+68%，对应PE分别为80/49/29X [8] - 维持“买入”评级 [8]