财务业绩 - 2025年上半年营业收入约49.61亿元，同比增长约43.88% [3] - 2025年上半年归母净利润为6.8亿元到7.3亿元，同比增加31.61%到41.28% [3] 业务增长驱动因素 - 刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81亿元 [4] - LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99亿元 [4] - 先进逻辑和先进存储产线的刻蚀设备出货量快速增长 [4] - 高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [4] 研发投入与创新 - 2025年上半年研发投入约14.92亿元，同比增加5.21亿元（增长约53.70%） [6] - 研发投入占营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司平均水平的10%~15% [6] - 研发费用11.16亿元，较2024年上半年增长约5.49亿元（增长约96.65%） [6] - 新产品开发周期从三到五年缩短至两年或更短时间 [5] - 在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发 [5] 产品开发进展 - LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150个反应台 [6] - EPI设备已进入客户端量产验证阶段 [6] - Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发及客户验证取得良好进展 [6] - 正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备 [6] - 其他多个关键薄膜沉积设备研发项目进展顺利，有望尽快进入客户验证阶段 [6]

财务表现 - 2024年公司全年收入90.65亿元，同比+44.7%，归母净利润16.16亿元，同比-9.5%，扣非净利润13.88亿元，同比+16.5%，剔除股份支付费用后的扣非净利润18.46亿元，同比+23.6% [2] - 2024年刻蚀设备收入72.77亿元，同比+54.72%，薄膜沉积设备实现首台销售，收入1.56亿元，MOCVD设备收入3.79亿元 [2] - 25Q1公司收入21.73亿元，同比+35.4%/环比-38.9%，毛利率41.5%，同比-3.4pcts/环比+2.3pcts，归母净利润3.13亿元，同比+25.7%/环比-55.4%，扣非净利润2.98亿元，同比+13.4%/环比-48% [3] - 25Q1研发投入6.87亿元，同比+90.53%，收入占比达31.6%，远超行业平均水平 [3] 产品与技术进展 - 刻蚀工艺：先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产，高端产品新增付运量显著提升 [4] - 薄膜工艺：六种薄膜设备进入市场，开发多款金属薄膜沉积设备和新一代等离子体源的PECVD设备，LPCVD和ALD设备多款新品进入市场并获得重复性订单，其中LPCVD设备2024全年签单约4.76亿元 [4] - EPI设备进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件、MEMS和传感器、CIS、功率及射频等客户的工艺验证，化合物半导体外延设备陆续付运至客户端开展验证 [4] - 量检测工艺：子公司"超微公司"引入多名国际顶尖的电子束检测设备领域专家和领军人才，已规划多款量检测设备产品 [4] 研发与新品开发 - 公司显著增大研发投入力度，多种关键刻蚀工艺实现量产，LPCVD设备获得批量订单，EPI设备进入量产验证阶段 [2] - 公司研发新品速度显著加快，目前仅需2年或更短的时间就能开发出有竞争力的新品 [3]