2025年度经营业绩 - 2025年营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62% [2][6] - 2025年归属于母公司所有者的净利润约21.11亿元，同比增加约30.69%；扣除非经常性损益的净利润约15.50亿元，同比增加约11.64% [2][7] - 报告期末总资产约297.72亿元，较期初增加13.56%；归属于母公司的所有者权益约226.95亿元，较期初增加14.99% [8] 分产品收入与增长 - 刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长约35.12%，是收入增长的核心驱动力 [6][11] - LPCVD和ALD设备销售约5.06亿元，同比增长约224.23%，呈现爆发式增长 [6][11] 研发投入与创新成果 - 2025年研发投入约37.44亿元，较2024年增长12.91亿元，同比增长约52.65%，研发投入占营业收入比例高达30.23% [2][7] - 研发费用24.75亿元，较去年增长约10.58亿元，同比增长约74.61% [7] - 新产品开发成效显著，近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，多款已进入市场并获得重复订单，LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台 [9] 核心技术进展与市场地位 - 刻蚀设备：针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升，已实现稳定可靠的大规模量产；累计已有超过7,800个反应台在国内外170余条客户产线量产，其中刻蚀设备反应台全球累计出货超过6,800台 [2][9] - 薄膜设备：CDP部门开发的LPCVD、ALD等十多款薄膜设备性能已达国际领先水平，薄膜设备覆盖率不断增加 [2] - 外延设备：EPI设备已付运至成熟及先进制程客户进行量产验证；常压外延设备完成开发进入工艺验证阶段；正在开发更多化合物半导体外延设备并付运验证 [2][9] - MOCVD设备：保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，积极布局碳化硅和氮化镓基功率器件市场，Micro-LED等专用MOCVD设备开发取得良好进展 [9] 产能与供应链保障 - 南昌约14万平方米和上海临港约18万平方米的生产和研发基地已投入使用，保障销售快速增长 [10] - 持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定安全，设备交付率保持在较高水准 [10] 重大资产重组事项进展 - 公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司的控股权并募集配套资金 [15] - 公司股票曾因此事项于2025年12月19日起停牌，并于2026年1月5日复牌 [16][17] - 截至2026年2月28日公告日，交易涉及的审计、评估等工作正在有序进行中，公司正在积极推进相关工作 [18]

财务业绩 - 2025年营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62% [1] - 2025年实现归属于母公司所有者的净利润约21.11亿元，同比增加约4.96亿元，增长约30.69% [1] - 2025年实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约15.50亿元，同比增加约1.62亿元，增长约11.64% [1] 研发投入 - 2025年全年研发投入约37.44亿元，较2024年增长12.91亿元，同比增长约52.65% [1] 刻蚀设备业务进展 - 针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺，高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现稳定可靠的大规模量产 [1] - CCP刻蚀产品方面，用于关键刻蚀工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，能全面覆盖存储器刻蚀应用中的各类超高深宽比需求 [1] - ICP刻蚀产品方面，适用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性已达单原子水平 [1] - 截至2025年底，公司刻蚀设备反应台全球累计出货超过6，800台 [2] 市场与客户拓展 - 截至2025年底，公司累计已有超过7，800个反应台在国内外170余条客户芯片及LED生产线全面量产 [2] 薄膜沉积设备业务进展 - CDP产品部门为先进存储和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等十多款导体和介质薄膜设备已顺利进入市场 [2] - 薄膜设备性能完全达到国际领先水平，薄膜设备的覆盖率不断增加 [2] 外延设备业务进展 - EPI设备研发团队已开发出具有自主知识产权的创新平台 [2] - 减压EPI设备已付运至成熟制程客户进行量产验证，同时也付运至先进制程客户进行验证，部分先进工艺已进入量产验证阶段 [2] - 新一代高选择比预清洁腔体满足先进工艺需求，已在客户端进行量产验证 [2] - 常压外延设备现已完成开发，进入工艺验证阶段 [2] - 在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端进行验证 [2]

2025年度业绩快报核心财务表现 - 2025年营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62% [1] - 预计2025年实现归母净利润约21.11亿元，同比增加约4.96亿元，增长约30.69% [1] - 2025年实现扣非归母净利润约15.50亿元，同比增加约1.62亿元，增长约11.64% [1] 研发投入与增长 - 2025年全年研发投入约37.44亿元，较2024年增长12.91亿元，同比增长约52.65% [1] 刻蚀设备业务进展 - 用于先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现稳定可靠的大规模量产 [1] - CCP刻蚀产品中，用于关键工艺的单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，能全面覆盖存储器刻蚀中各类超高深宽比需求 [1] - ICP刻蚀方面，适用于下一代逻辑和存储客户的ICP及化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性已达单原子水平 [1] - 截至2025年底，公司刻蚀设备反应台全球累计出货超过6,800台 [2] 市场覆盖与客户基础 - 截至2025年底，公司累计已有超过7,800个反应台在国内外170余条客户芯片及LED生产线上全面量产 [2] 薄膜沉积设备（CVD/ALD）业务 - CDP产品部门为先进存储和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等十多款导体和介质薄膜设备已顺利进入市场 [2] - 薄膜设备性能完全达到国际领先水平，市场覆盖率不断增加 [2] 外延（EPI）设备业务进展 - EPI设备研发团队已开发出具有自主知识产权的创新平台 [2] - 减压EPI设备已付运至成熟制程客户进行量产验证，同时付运至先进制程客户进行验证，部分先进工艺已进入量产验证阶段 [2] - 新一代高选择比预清洁腔体满足先进工艺需求，已在客户端进行量产验证 [2] - 常压外延设备现已完成开发，进入工艺验证阶段 [2] 泛半导体设备业务拓展 - 公司正在开发更多化合物半导体外延设备，已陆续付运至客户端进行验证 [2]

核心财务业绩 - 2025年实现营业收入123.85亿元，同比增长36.62% [1] - 2025年实现归属于母公司所有者的净利润21.11亿元，同比增长30.69% [1] - 2025年研发投入37.44亿元，同比增长52.65%，占营业收入比例为30.23% [1] 主营业务与市场表现 - 主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备，市场空间广阔且技术壁垒高 [1] - 等离子体刻蚀设备在国内外获更多客户认可，针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现量产 [1] 新产品与研发进展 - 近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，多款新型设备产品已进入市场，部分设备获得重复性订单 [2] - LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目顺利推进 [2] - EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段 [2] MOCVD业务与市场布局 - 持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场 [2] - 在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展，几款MOCVD新产品进入客户端验证阶段 [2] - 新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光LED应用设备已付运至国内领先客户开展验证，目前进展顺利 [2] 产能与供应链保障 - 南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港约18万平方米的生产和研发基地已投入使用，保障了销售快速增长 [2] - 持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定与安全，设备交付率保持较高水准 [2] - 设备的及时交付为公司销售增长提供了有力支撑 [2]

核心财务表现 - 2025年实现营业总收入约123.85亿元，同比增长36.62% [1] - 2025年实现归属于母公司所有者的净利润约21.11亿元，同比增长30.69% [1] - 2025年实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约15.50亿元，同比增长11.64% [1] - 报告期末公司总资产约297.72亿元，较期初增长13.56% [1] - 报告期末归属于母公司的所有者权益约226.95亿元，较期初增长14.99% [1] 主营业务与产品进展 - 主营产品等离子体刻蚀设备2025年销售约98.32亿元，同比增长35.12% [1] - 等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户认可，针对先进逻辑和存储器件制造的高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现量产 [1] - LPCVD和ALD设备2025年销售约5.06亿元，同比增长高达224.23% [1] - LPCVD设备累计出货量已突破三百个反应台，部分新型设备已获得重复性订单 [2] - 公司持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场 [2] - 在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展，几款MOCVD新产品已进入客户端验证阶段 [2] - EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段 [2] - 新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光LED应用的设备已付运至国内领先客户开展验证 [2] 研发投入与创新 - 2025年公司研发投入约37.44亿元，较去年增长12.91亿元，同比增长约52.65% [2] - 研发投入占公司营业收入比例约为30.23%，远高于科创板均值 [2] - 2025年研发费用24.75亿元，较去年增长约10.58亿元，同比增长约74.61% [2] - 近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备 [1] - 多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进 [2] - 公司特别重视核心技术创新，强调创新和差异化并保持高强度研发投入 [3] 产能扩张与运营管理 - 公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港约18万平方米的生产和研发基地已投入使用，合计超过32万平方米的产业化空间 [3] - 持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准 [3] - 运营管理水平持续提升，对产品成本及运营费用的控制能力有效增强 [3]

核心业绩表现 - 2025年全年营业收入约123.85亿元，同比增长约36.62% [1] - 归属于母公司所有者的净利润约21.11亿元，同比增长约30.69% [1] - 基本每股收益为3.40元，同比增长30.19% [6] - 加权平均净资产收益率为9.98%，同比增加1.37个百分点 [6] 收入结构与增长驱动 - 刻蚀设备是核心收入来源，2025年销售额约98.32亿元，同比增长约35.12%，占全年营收比重约79% [4] - 薄膜设备（LPCVD和ALD）销售额约5.06亿元，同比增长约224.23%，成为高速增长的新亮点 [3][4] - 业绩增长由核心刻蚀设备规模扩张与新品类的快速放量共同驱动 [3] 研发投入与技术突破 - 2025年研发总投入约37.44亿元，同比增长约52.65%，占营业收入比例达30.23% [1][5] - 研发费用为24.75亿元，同比增长约74.61% [5] - 公司主动选择以牺牲短期利润换取技术积累，研发投入大幅增加是净利润增速低于营收增速的主要原因之一 [5] - ICP刻蚀设备的加工精度和重复性已达到单原子水平，标志着技术突破进入新阶段 [3] - 针对先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺以及先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺，均实现了稳定可靠的大规模量产 [4] 市场地位与运营数据 - 至2025年底，公司累计已有超过7，800个反应台在国内外170余条客户芯片及LED生产线全面量产 [4] - 刻蚀设备反应台全球累计出货超过6，800台 [4] - LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台，设备性能据称已完全达到国际领先水平 [4] - 公司在南昌约14万平方米以及上海临港约18万平方米的生产和研发基地均已投入使用，支撑规模扩张 [7] 新产品与业务拓展 - 在刻蚀和薄膜设备之外，正积极布局外延设备（EPI）和化合物半导体领域（MOCVD） [7] - EPI设备方面，减压外延设备已付运至客户进行量产验证，常压外延设备已完成开发进入工艺验证阶段 [7] - MOCVD设备方面，持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，新型八寸碳化硅外延设备及新型红黄光LED应用设备已付运至国内领先客户开展验证 [7] - 多款Micro-LED及显示领域专用MOCVD新产品亦进入客户端验证阶段 [7] - CDP产品部门为先进存储和逻辑器件开发的十多款导体和介质薄膜设备已顺利进入市场 [4]

核心业绩表现 - 预计2025年营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62% [1][5] - 预计2025年归属于母公司所有者的净利润为20.80亿元至21.80亿元，同比增长约28.74%至34.93% [1][5] - 预计2025年扣除非经常性损益的净利润为15.00亿元至16.00亿元，同比增加约8.06%至15.26% [2][5] 收入构成与增长驱动 - 刻蚀设备销售是核心收入来源，2025年销售约98.32亿元，同比增长约35.12% [5] - LPCVD和ALD等半导体薄膜设备收入增长迅猛，达5.06亿元，同比增长约224.23% [5] - 业绩增长主要得益于等离子体刻蚀设备获得更多客户认可，高端产品新增付运量显著提升，以及关键工艺实现稳定可靠的大规模量产 [3][7] 研发投入与技术创新 - 2025年研发投入约37.36亿元，较2024年增长12.83亿元，增幅约52.32%，研发投入占营业收入比例高达30.16% [1][9] - 2025年研发费用约24.72亿元，较2024年增长约10.54亿元，增幅约74.36% [9] - 新产品开发成效显著，近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备并进入市场，部分设备已获重复订单 [7] - 在刻蚀设备领域，CCP产品保持高速增长，ICP设备开发取得良好进展，加工精度达单原子水平，截至2025年底刻蚀设备反应台全球累计出货超6,800台 [3] - 在薄膜设备领域，LPCVD、ALD等十多款设备性能达国际领先水平，LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台 [3][7] - 在EPI设备领域，减压外延设备已付运至成熟及先进制程客户验证，常压外延设备进入工艺验证阶段 [3] 市场拓展与产品布局 - 公司在氮化镓基MOCVD设备市场保持国际领先地位，并积极布局碳化硅和氮化镓基功率器件市场 [8] - 在Micro-LED等显示领域的专用MOCVD设备开发取得良好进展，多款新产品进入客户端验证 [8] - 新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光LED应用设备已付运至国内领先客户验证 [8] - 正在开发更多化合物半导体外延设备，并陆续付运至客户端验证 [3] 运营与产能保障 - 南昌约14万平方米和上海临港约18万平方米的生产研发基地已投入使用，保障了销售快速增长 [8] - 公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定安全，设备交付率保持较高水准 [8] - 运营管理水平提升，对产品成本及运营费用的控制能力有效增强 [8] 利润变动原因分析 - 归母净利润增长主要由于营业收入增长带动毛利较去年增长约11.45亿元，以及计入非经常性损益的股权投资收益增加约4.13亿元至6.11亿元 [9] - 扣非净利润增长主要受营业收入增长带来的毛利增加约11.45亿元，以及研发费用大幅增加约10.54亿元的共同影响 [9]

公司2025年财务业绩预测 - 预计2025年营业收入约123.85亿元，较2024年增加约33.19亿元，同比增长约36.62% [1] - 预计2025年归属于母公司所有者的净利润为20.80亿元至21.80亿元，同比增长约28.74%至34.93% [1] - 预计2025年扣除非经常性损益的净利润为15.00亿元至16.00亿元，同比增加约8.06%至15.26% [1] 主营业务分项表现 - 2025年刻蚀设备销售预计约98.32亿元，同比增长约35.12% [1] - 2025年LPCVD和ALD等半导体薄膜设备收入预计5.06亿元，同比增长约224.23% [1] 核心产品与技术进展 - 等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，市场空间广阔，技术壁垒较高 [2] - 刻蚀设备在国内外持续获得更多客户认可，针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升 [2] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现量产 [2] 新产品开发与市场拓展 - 近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场 [2] - 部分新设备已获得重复性订单，LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台 [2] - 多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进，EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段 [2]

核心财务表现 - 公司预计2025年营收同比增长逾36%至123.85亿元人民币 [1] - 预计2025年归属于母公司所有者的净利润为20.80亿元至21.80亿元，同比增长约28.74%至34.93% [1] - 剔除非经常性损益后，核心净利润预计为15.00亿元至16.00亿元，增幅区间为8.06%至15.26% [1] - 2025年计入非经常性损益的股权投资收益预计为6.11亿元，较上年同期的1.98亿元大幅增加约4.13亿元 [3] 核心业务增长 - 刻蚀设备作为核心增长引擎，全年销售额预计达98.32亿元，同比增长约35.12% [1] - 薄膜设备业务增长迅猛，LPCVD和ALD等设备收入录得约5.06亿元，同比激增224.23% [1] - 截至2025年底，公司刻蚀设备反应台全球累计出货量已超过6,800台 [2] - 公司的CDP产品部门已开发出十多款导体和介质薄膜设备，性能达到国际领先水平 [2] - LPCVD设备累计出货量已突破300个反应台，部分设备已获得重复性订单 [2] 研发投入与战略 - 2025年研发投入高达37.36亿元，较上年增长52.32%，占营收比例超三成 [1][2] - 计入损益的研发费用同比增长约74.36%至24.72亿元 [2] - 高强度研发投入旨在弥补国产半导体设备短板并确立长期增长基础 [2] 技术与产品进展 - CCP设备在关键介质刻蚀领域保持高速增长，已全面覆盖存储器应用中的各类超高深宽比需求 [2] - ICP设备针对下一代逻辑和存储客户的设备开发取得进展，加工精度和重复性已达到单原子水平 [2] - EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，减压EPI设备已付运至成熟制程和先进制程客户 [3] - 在化合物半导体领域，保持了在氮化镓基MOCVD设备的市场领先地位 [4] - 新型八寸碳化硅外延设备及新型红黄光LED应用设备已付运至国内领先客户开展验证 [4] - 常压外延设备已完成开发，正式进入工艺验证阶段 [4] 运营与供应链 - 在营收大幅增长的带动下，2025年公司毛利较去年增长约11.45亿元 [3] - 公司位于南昌约14万平方米以及上海临港约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用 [3] - 公司持续开发关键零部件供应商，以推动供应链的稳定与安全，确保了设备交付率保持在较高水准 [3]

核心财务业绩 - 预计2025年全年归属于上市公司股东的净利润为20.80亿元—21.80亿元，同比预增28.74%—34.93% [1] - 预计2025年全年归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为15.00亿元—16.00亿元，同比预增8.06%—15.26% [1] 主营业务（等离子体刻蚀设备）表现 - 等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，市场空间广阔，技术壁垒较高 [1] - 等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户认可 [1] - 针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升 [1] - 先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产 [1] 新产品开发与市场进展 - 近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，多款新型设备产品已进入市场 [1] - 部分新设备已获得重复性订单 [1] - LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台 [1] - 其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进 [1] - EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段 [1] MOCVD设备业务布局 - 持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位 [2] - 积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场 [2] - 在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展 [2] - 几款MOCVD新产品进入客户端验证阶段 [2] - 新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光LED应用的设备已付运至国内领先客户开展验证，目前进展顺利 [2] 产能与供应链保障 - 南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，保障了销售快速增长 [2] - 持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全 [2] - 设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付为销售增长提供有力支撑 [2] 研发与运营管理 - 特别重视核心技术创新，强调创新和差异化并保持高强度研发投入 [2] - 运营管理水平持续提升，对产品成本及运营费用的控制能力有效增强 [2]