个股市场表现 - 拓荆科技股价下跌超过6% [1] - 长川科技股价下跌超过5% [1] - 华海清科股价下跌超过4% [1] - 芯源微股价下跌超过4% [1] 行业ETF市场表现 - 半导体材料ETF（562590）下跌4.52%，现价1.459元 [2] - 芯片设备ETF（560780）下跌4.43%，现价1.530元 [2] - 半导体设备ETF基金（159327）下跌4.37%，现价1.643元 [2] - 半导体设备ETF（159516）下跌4.34%，现价1.390元 [2] - 半导体设备ETF易方达（159558）下跌4.25%，现价1.624元 [2] - 半导体设备相关ETF整体下跌超过4% [1] 行业前景与驱动因素 - 在AI浪潮和国产化替代背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在 [2] - 半导体设备是晶圆代工扩张的基石，也是实现产业链自主可控的重要环节 [2] - 国产半导体设备厂家迎来发展机遇 [2]

限制性股票激励计划 - 2023年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期4名激励对象因离职等不具备资格[2] - 该归属期可归属激励对象87名[2] - 87名激励对象对应可归属限制性股票数量为24.8518万股[3]

激励计划授予情况 - 首次授予187.8136万股，价格97.40元/股，人数257人[2] - 预留授予47.68万股，价格102.21元/股，人数91人[2] - 激励计划首次授予时间为2023年7月6日，价格43.255元/股，数量416.9561万股，人数257人[15] - 激励计划预留授予时间为2023年10月27日，价格45.422元/股，数量105.8518万股，人数91人[15] 归属情况 - 首次/预留授予限制性股票第一个归属期归属权益数量占比25%，第二个归属期30%，第三个归属期45%[4] - 首次授予部分第一个归属期归属价格43.255元/股，数量93.6405万股，上市日期2025年8月4日，人数230人[17] - 2025年10月30日确定预留授予部分第一个归属期可归属数量为24.8518万股，人数87人[18] 业绩目标 - 2023年每股收益不低于3.92元/股，营业收入增长率不低于160%，研发投入增长率不低于110%[5] - 2024年每股收益不低于4.42元/股，营业收入增长率不低于220%，研发投入增长率不低于150%[5] - 2025年每股收益不低于5.62元/股，营业收入增长率不低于300%，研发投入增长率不低于210%[5] 实际业绩 - 2023年度每股收益为5.70元/股，高于对标企业75分位值[20] - 2023年营业收入为25.0799105737亿美元，较2021年增长率为211.60%，高于对标企业75分位值[20] - 以2021年研发投入为基准，2023年研发投入增长率为154.74%[20] 其他要点 - 激励计划选取25家A股上市公司作为对标企业样本[8] - 激励对象考核结果为A的标准系数为1.0，B为0.75，D为0[8] - 2023年3月21日，公司召开第一届董事会第三十五次会议审议通过激励计划相关议案[9] - 2023年5月8日公司收到国资监管部门对激励计划备案同意的批复[10] - 2023年5月9 - 18日公司对首次授予激励对象进行内部公示，监事会未收到异议[11] - 2023年5月24日公司2023年第二次临时股东大会审议通过激励计划相关议案[12] - 2025年7月7日公司审议通过调整激励计划、作废部分股票、首次授予部分第一个归属期归属条件成就等议案[13] - 预留授予部分第一个归属期为2025年10月27日至2026年10月26日[19] - 公司及激励对象均符合预留授予部分第一个归属期归属条件[19] - 股票来源为公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票[22] - 本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响[27] - 本次归属已取得现阶段必要的批准和授权[28,29] - 本次归属符合相关法律、法规和规范性文件以及《激励计划》规定[28,29] - 公司需就本次归属继续履行信息披露义务[28] - 公司需向中国证券登记结算有限责任公司申请办理本次归属手续[28] - 公司须依照相关规定办理本次归属涉及的增资手续[28] - 本次限制性股票的归属尚需在规定期限内进行信息披露和办理相应后续手续[29]

激励计划时间节点 - 2023年3月21日召开相关会议审议通过激励计划相关议案[9] - 2023年5月8日收到国资监管部门对激励计划备案同意的批复[10] - 2023年5月9 - 18日对激励计划首次授予激励对象进行内部公示[10] - 2023年5月24日召开股东大会审议通过激励计划相关议案[11] - 2023年7月6日召开会议审议通过首次授予相关议案[12] - 2023年10月27日召开会议审议通过预留部分授予相关议案[12] - 2025年7月7日召开会议审议通过激励计划相关议案[13] - 2025年10月30日召开会议审议通过预留授予部分第一个归属期归属条件成就议案[13] 业绩考核数据 - 2023年年度每股收益考核目标不低于3.92元/股，实际为5.70元/股[15] - 2023年营业收入增长率考核目标不低于160%，实际为211.60%[15] - 2023年研发投入增长率考核目标不低于110%，实际为154.74%[15][16] 激励对象及归属情况 - 2023年限制性股票激励计划预留授予91名激励对象，4名离职，4名考核C，83名考核B及以上[16] - 第一个归属期符合条件的87名激励对象可归属数量为24.8518万股[16][17] - 授予价格为45.422元/股（调整后），股票来源为定向发行A股普通股[17] - 核心骨干已获授予100.3938万股，可归属24.8518万股，占比24.75%[17] - 独立财务顾问认为第一个归属期归属条件已成就[18]

激励计划进程 - 2023年3月21日董事会、监事会审议通过激励计划相关议案[9][10] - 2023年5月9 - 18日公示授予激励对象名单，监事会无异议[10] - 2023年5月24日股东大会审议通过激励计划相关议案[11] - 2023年7月6日董事会、监事会审议通过调整及首次授予限制性股票议案[11] - 2023年10月27日董事会、监事会审议通过调整预留部分授予数量等议案[11][12] - 2025年7月7日董事会审议通过作废、调整及首次授予部分归属条件成就议案[12] - 2025年10月30日董事会审议通过预留授予部分归属条件成就议案[13] 业绩数据 - 2023年每股收益为5.70元/股，高于对标企业75分位值[18] - 2023年营业收入增长率为211.60%，高于对标企业75分位值[18] - 2023年研发投入增长率为154.74%，不低于110%[18] 激励对象与股票数据 - 2023年预留授予91名激励对象，8人不符合资格[18] - 核心骨干87人获授限制性股票100.3938万股[19] - 激励计划预留部分可归属数量24.8518万股，占比24.75%[15][19] 后续事项 - 归属条件已成就，公司需履行信息披露义务[16][19][21] - 公司需向结算公司申请办理归属手续[20][21] - 公司须办理本次归属涉及的增资手续[20][21]

收入和利润表现 - 第三季度营业收入12.44亿元人民币，同比增长30.28%[4] - 年初至报告期末营业收入31.94亿元人民币，同比增长30.28%[4] - 营业总收入同比增长30.3%，达到31.94亿元[18] - 第三季度归属于上市公司股东的净利润2.86亿元人民币，同比微降0.71%[4] - 年初至报告期末归属于上市公司股东的净利润7.91亿元人民币，同比增长9.81%[4] - 净利润同比增长9.8%，达到7.91亿元[19] - 基本每股收益为2.25元/股，同比增长9.8%[20] - 归属于母公司股东的未分配利润增长29.3%，达到29.23亿元[16] 成本和费用 - 营业成本同比增长27.8%，达到17.86亿元[19] - 研发投入1.30亿元人民币，同比增长47.56%，占营业收入比例10.42%[4] - 年初至报告期末研发投入3.76亿元人民币，同比增长42.81%，占营业收入比例11.77%[4] - 研发费用同比增长47.3%，达到3.76亿元[19] - 销售费用同比增长87.7%，达到1.49亿元[19] - 管理费用同比增长60.5%，达到2.01亿元[19] - 财务费用为净收入551万元，主要由于利息收入1465万元[19] 现金流量表现 - 年初至报告期末经营活动产生的现金流量净额为4.24亿元人民币，同比下降51.55%[4] - 经营活动产生的现金流量净额同比下降51.6%，从8.76亿元降至4.24亿元[22] - 经营活动现金流入小计同比增加4.8%，从31.71亿元增至33.24亿元[22] - 经营活动现金流入销售商品提供劳务收到现金31.66亿元[21] - 购买商品、接受劳务支付的现金同比增加24.9%，从16.29亿元增至20.35亿元[22] - 支付给职工及为职工支付的现金同比增加61.6%，从3.31亿元增至5.35亿元[22] - 支付的各项税费同比下降14.5%，从2.51亿元降至2.14亿元[22] - 投资活动产生的现金流量净额为负值，净流出9.13亿元，同比恶化63.2%[22] - 投资支付的现金为34.05亿元，同比减少28.3%[22] - 筹资活动产生的现金流量净额为负2.18亿元，同比改善34.1%[22][24] - 分配股利、利润或偿付利息支付的现金同比增加40.8%，从0.97亿元增至1.37亿元[22] - 现金及现金等价物净减少7.07亿元，期末余额为19.42亿元[24] 资产和负债变动 - 货币资金为19.94亿元，较期初27.61亿元减少7.67亿元[14] - 交易性金融资产为21.56亿元，较期初18.45亿元增加3.11亿元[14] - 应收账款为7.89亿元，较期初6.64亿元增加1.25亿元[14] - 存货为38.98亿元，较期初32.68亿元增加6.30亿元[14] - 流动资产合计为93.12亿元，较期初88.32亿元增加4.80亿元[14] - 资产总计为125.13亿元，较期初117.51亿元增加7.62亿元[14][15] - 报告期末总资产125.13亿元人民币，较上年度末增长6.49%[5] - 应付账款为18.09亿元，较期初10.43亿元增加7.66亿元[15] - 合同负债为15.12亿元，较期初17.91亿元减少2.79亿元[15] 股东权益和股东信息 - 报告期末归属于上市公司股东的所有者权益72.02亿元人民币，较上年度末增长11.26%[5] - 报告期末普通股股东总数为28,859名[11] - 第一大股东清控创业投资有限公司持股99,460,887股，占总股本28.14%[11] 其他重要事项 - 年初至报告期末计入当期损益的政府补助为3708.64万元人民币[7]

第三季度财务表现 - 第三季度营收为12.44亿元，同比增长30.28% [1] - 第三季度净利润为2.86亿元，同比下降0.71% [1] 前三季度累计财务表现 - 前三季度累计营收为31.94亿元，同比增长30.28% [1] - 前三季度累计净利润为7.91亿元，同比增长9.81% [1]

股价与资金流向 - 10月29日盘中股价下跌2.02%至146.80元/股，成交额5.19亿元，换手率0.99%，总市值518.80亿元 [1] - 当日主力资金净流出6642.72万元，其中特大单净卖出3890万元，大单净卖出2800万元 [1] - 公司今年以来股价上涨34.56%，近60日上涨26.52%，近20日上涨7.18%，近5个交易日上涨3.61% [1] 公司业务与行业 - 公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，CMP/减薄装备销售占总收入的87.70% [1] - 公司属于电子-半导体-半导体设备行业，概念板块包括半导体设备、先进封装、中芯国际概念、集成电路等 [1] 财务表现 - 2025年1-6月实现营业收入19.50亿元，同比增长30.28%，归母净利润5.05亿元，同比增长16.82% [2] - A股上市后累计派发现金分红2.71亿元 [3] 股东结构变化 - 截至2025年6月30日股东户数为1.36万户，较上期减少10.00%，人均流通股增加54.75%至17452股 [2] - 多只科创板ETF增持公司股份，华夏上证科创板50成份ETF增持90.47万股，易方达上证科创板50ETF增持114.97万股，嘉实上证科创板芯片ETF增持87.38万股 [3] - 香港中央结算有限公司退出十大流通股东之列 [3]

指数及ETF表现 - 截至2025年10月29日，上证科创板芯片指数下跌0.14%，成分股中佰维存储领涨9.48%，中船特气上涨6.80%，思瑞浦上涨5.18%，安集科技领跌 [1] - 科创芯片ETF近1周规模增长22.03亿元，新增规模位居可比基金第一，近1周份额增长1200.00万份，新增份额位居可比基金第一 [1] - 科创芯片ETF近3年净值上涨136.21%，在指数股票型基金中排名27/1903，居于前1.42%，自成立以来最高单月回报为35.07%，最长连涨月数为4个月，连涨涨幅为74.17%，上涨月份平均收益率为9.90% [1] - 科创芯片ETF近5个交易日内合计资金流入2.76亿元，盘中换手率为3.35%，成交14.14亿元 [1] 指数成分与权重 - 截至2025年9月30日，上证科创板芯片指数前十大权重股合计占比59.69%，包括海光信息、澜起科技、中芯国际、寒武纪、中微公司、芯原股份、华虹公司、沪硅产业、华海清科、晶晨股份 [2] - 前十大权重股中，海光信息权重为11.09%，澜起科技权重为9.96%，中芯国际权重为9.58% [4] 行业前景与驱动因素 - 半导体材料板块在"十五五"政策预期与AI产业趋势共振下展开结构性行情，"十五五"规划强调供应链安全与自主可控，驱动国产材料验证导入进程加速 [2] - 存储行业自2025年第二季度开启新一轮量价齐升的上行周期，AI训练和推理对算力需求的快速增长是存储未来的核心驱动力 [2] - 先进逻辑及存储技术迭代对设备要求升级，推动全球半导体设备需求保持增长 [2]

市场表现 - 沪指站上4000点，半导体设备与材料板块走强 [1] - 半导体设备ETF（561980）上涨0.38%，其成份股艾森股份涨超13%，晶瑞电材、神工股份涨超6%，华峰测控涨超5%，中微公司、北方华创、拓荆科技、华海清科等设备股强势走强 [3] - 半导体设备ETF最近20个交易日累计获资金净流入12.83亿元 [3] 公司业绩 - 晶瑞电材前三季度实现归母净利润同比增长超192倍 [3] - 中船特气、上海合晶、神工股份、艾森股份等公司前三季度营收和归母净利润均录得同比正增长 [3] 行业动态与驱动因素 - 北大团队在光刻胶技术上取得重大突破，有望推动国产芯片"卖铲子"环节加速实现国产替代，提振晶瑞电材等材料股 [3] - 方正证券指出当前本土先进节点晶圆产能难以满足高速增长的算力需求，从设备、制造等层面增强算力基础设施能力和产业保障尤为迫切 [3] - 摩尔线程表示中国约有300万张GPU卡的产能缺口 [3] - 国内半导体产业链从上游设备与材料到中游制造再到下游先进封装，均致力于提升算力芯片国产化率，半导体设备国产化大势所趋且替代空间广阔 [3] 产品信息 - 半导体设备ETF（561980）跟踪中证半导指数，该指数中半导体设备、材料、集成电路设计三大行业占比约90%，行业集中度为同类较高 [4]