投资评级与目标价 - 报告维持中科飞测"强推"评级，目标价109元，预期未来6个月股价涨幅26.6%（当前价86.08元）[1][7] - 基于2025年0.40倍PSG估值，对应2025-2027年营收预测20.76/30.33/41.98亿元[6] 财务表现与预测 - 2025H1营收7.02亿元（+51.39%），毛利率54.31%（+8.08pct），Q2营收4.08亿元（环比+38.71%）[6] - 2025E归母净利润预测1.81亿元（扭亏为盈），2026E/2027E净利润增速63.2%/62.5%[2] - 2025E营收20.76亿元（+50.4%），2027E毛利率提升至51.3%，ROE从6.9%增至14.2%[2][8] 行业驱动因素 - 全球半导体产能2025年预计增长7%至3370万片/月，中国大陆增速14%达1010万片/月[6] - 量检测设备受益于AI/汽车电子需求，国产替代加速推进，海外厂商KLA主导格局面临重构[6] 公司竞争优势 - 7大系列设备在头部客户批量量产，无图形检测第四代产品进入验证阶段[6] - 2025H1研发投入2.85亿元（+37.79%），研发费用率下降4.01pct，规模效应显现[6] - 平台化布局覆盖逻辑/存储/功率/化合物半导体全流程良率管理解决方案[6] 市场表现与估值 - 12个月股价区间47.48-115.5元，当前总市值276.83亿元，PB 10.6倍[3][5] - 2025E市盈率153倍，2027E降至58倍，EV/EBITDA从117倍压缩至49倍[2][8]

纪要涉及的行业和公司 - **行业**：半导体行业，具体聚焦于半导体设备、零部件和材料领域[1] - **公司**：北方华创、中科飞测、科马科技、华大九天、沪硅产业、至纯科技、摩尔沐熙、易唐半导体、台积电、联电、华创中微、拓荆、芯源微、晶测电子、新莱、正帆、汇成、茂莱等[8][11][15][19][22] 纪要提到的核心观点和论据 - **市场需求与国产替代**：国内晶圆厂稼动率高，下游逻辑厂和存储厂持续开工，市场需求强劲，但供给侧需关注光刻机、量检测、涂胶显影等瓶颈工艺的国产替代进展，这将直接影响股票交易策略。2025年一季度半导体国产替代订单和业绩表现不错，国内许多产线国产化率从28nm成熟制程向14nm及更先进制程突破，价值量同步提升[1][2][3] - **全球市场规模与驱动因素**：赛米预测今年全球半导体设备销售额将达1108亿美元，明年有望突破1200亿美元，主要驱动力来自AI。自2000年以来，智能手机普及、移动互联网发展以及2020年后的AI红利推动半导体器件市场发展速度超越GDP增速[4][12] - **投资方向建议**：关注渗透率低但市场空间大的领域，如光刻机零部件、量检测、脱胶显影等；增速快、需求量高的核心材料，如掩模板、气体等耗材；瓶颈工艺中的关键零部件，如光刻机零部件、电子束设备核心部件等[6] - **零部件领域趋势**：近年来越来越多公司进入零部件生产领域，目前约有20家公司专注于此，零部件品类不断丰富，为设备制造提供更多支持，也为投资者提供更多选择[7] - **瓶颈环节对估值影响**：半导体设备行业瓶颈环节取得突破，市场通常给予更高估值。如北方华创、中科飞测等公司进入高速增长通道后，市场愿意给予一定估值溢价，高速增长期可能持续两到五年[8] - **板块市场表现**：自本周二起，半导体设备板块呈现强劲上涨态势，截至收盘，板块指数在昨日上涨基础上又攀升2%。去年9月以来，整个半导体板块持续强化，整体趋势向好。政策和行业层面的催化事件，如海外技术管制加码和关税反复，利好国产半导体自主可控发展[9] - **产业链动态**：国内半导体产业链在设备、零部件和材料方面持续突破，下游验证周期缩短，上市公司收并购加快，一级公司IPO提速，表明产业链正在加速整合和发展[1][10][11] - **国内外政策影响**：未来国内外政策将继续对国产半导体发展产生重要影响，外围技术管制加码利好国产自主可控趋势，国内政策支持下本土企业研发和收并购取得进展，建议关注细分赛道龙头企业以及低国产化率的重要环节[13][14] - **不同企业营收差异**：台积电营收增长趋势明显超过联电，原因是台积电采用更先进工艺技术（如FinFET），反映出AI算力芯片对半导体市场有深远影响[15] - **全球市场地区差异**：全球晶圆厂主要集中在韩国、中国大陆和中国台湾，这些地区是半导体设备核心支出主要区域。中国大陆2024年投资额创历史新高，2025年一季度销售额小双位数回调但仍领跑全球，中芯国际和华虹等龙头Fab厂维持资本开支，国产设备需求增加；台湾和韩国因低基数和产能扩张，今年表现亮眼[16][17] - **国产化进展与影响**：中国长城首条国产设备产线今年下半年试产，长存产能有望提升，若试生产顺利将带动国产半导体设备需求增长和示范作用，大规模量产可能需3到5年验证稳定性和优化成本控制[18] - **存储大厂扩产情况**：2025年中国存储大厂在NAND和DRAM领域有明确扩产规划，预计需求增加一倍以上，下半年设备订单预期乐观，国产技术突破有望推动大厂进一步扩产[20] - **美国政策影响**：美国白宫新AI行动计划将加强半导体管制，中国需加速零部件和材料国产化进程，目前部分核心零部件国产化率低于10%，应重点关注[21] 其他重要但可能被忽略的内容 - 半导体设备行业瓶颈环节影响估值，以北方华创为例，其估值更多关注市销率（PS）而非市盈率（PE）[8] - 台积电和联电两年前月度营收数据走势相似，但近两年台积电因采用更先进工艺技术营收增长明显超过联电[15] - 建议关注长存产业链上的华创中微、拓荆、芯源微以及晶测电子等公司[19] - 中国半导体产业链应重点关注机械类静电卡盘、电器类射频电源等核心零部件，建议关注新莱、正帆等细分品类龙头企业[22]

科创板发展历程 - 2019年7月22日科创板正式开市，首批25家公司上市，标志着中国资本市场增量改革的重要里程碑[1][2] - 6年间科创板已汇聚589家硬科技企业，包括产业链"链主"企业、国家级专精特新"小巨人"企业及细分赛道冠军企业[10] - 科创板显著提升我国集成电路产业自主化水平，汇集120余家涵盖芯片设计、制造、封测等全产业链的领先企业[3][4] 中微公司案例 - 中微公司上市6年销售规模增长5倍以上，产品从单一刻蚀设备拓展至刻蚀、薄膜、量检测等多类高端集成电路设备[3] - 公司在美国VLSIresearch/Tech Insights评选中四次获客户满意度第三名，薄膜设备第一名[3] - 从15人创业团队发展为全球2600名员工，拥有2000余项授权专利，厂房面积达45万平方米[4] 制度规则建设 - 2019年3月2日发布科创板8项核心制度规则，涉及注册程序、信息披露、上市条件等67处重要修改[4][5] - 审核中心日均工作14小时（8点至22点），单个企业问询函平均文字量达1.6万字[7][8] - 2019年6月5日完成首场上市委审议会议，审核理念强调透明与效率[7][9] 产业影响 - 科创板形成集成电路产业集聚效应，推动中国芯片技术持续突破[3][4] - 资本市场成为全球科技创新"主战场"，科创板包容性政策支持硬科技企业发展[10] - 改革通过制度创新释放科技创新潜力，体现"惟改革者进，惟创新者强"的发展路径[10]

核心观点 报告围绕宏观经济、行业动态、公司业绩等方面展开分析，认为国内出口和工业生产有回升态势，反内卷政策预期升温，海外美国经济数据有超预期表现；行业上，水电、快递、食品饮料等有发展机会；公司方面，星网锐捷、拓荆科技等多家公司业绩良好，具备投资价值 [2][3][9] 宏观经济 - 上周港口数据活跃，6月出口带动工业生产回升，政府债和短贷推动社融增长，但投资及消费减速，十大重点行业稳增长方案将出台，反内卷政策预期升温，黑色/光伏产业链商品价格上涨 [2] - 美国零售数据超预期，通胀略低于预期，关税传导仅部分显现，关税谈判无实质进展，联储内部对降息表态分化，经济数据提振市场表现 [3] 策略研究 - A股偏强运行，有向大盘成长切换迹象，“反内卷”行业补涨维持热度，中报预告支持风格切换，6月金融数据改善盈利预期，建议关注部分景气成长和“反内卷”品种，战略超配大金融、创新药、军工 [3] - 港股科技板块或迎来景气和估值改善双击，提示关注科技重估驱动的第三轮中国资产重估行情 [4] - 印度期权市场操纵案件调查结果公布，中国市场实现类似操纵可能性低，因现货和期货市场流动性好、外资监管放开、指数成份股权重分散 [11] 金融工程 - 上周全球大类资产走势分化，股市多数上涨，黄金、原油下跌，美元指数反弹，A股连续四周上行，成长、小盘风格占优，通信ETF强势上涨 [5] 固定收益 - 股指短期上行动力或转弱，但底部更高且局部活跃，投资者应顺应趋势、保持持仓、关注低位科技或主题品种；转债性价比透支但风险小于前几次估值高位，关注股债性均衡品种和优质新券 [6] - 7月问卷显示热点集中于重要会议、反内卷及消费政策，债市难摆脱震荡格局，投资者倾向增加权益暴露，关注科创公司债补涨机会 [7] 行业研究 - 电力设备与新能源/公用事业：雅鲁藏布江下游水电工程开工，水电设备投资可观，东方电气与哈尔滨电气有望受益，估值有望修复 [9] - 交通运输：快递二季度件量高增，6月增速放缓，7月末端价格有望触底回升，关注相关快递公司，推荐极兔速递 [10] - 食品饮料：乳制品行业周期筑底，供需重构，预计26年重回平衡，原奶价格上涨将催化牧业企业，利于下游企业利润提升 [12] 公司研究 - 星网锐捷：1H25业绩预增，系AI数据中心需求带动，上调至“买入”评级 [13] - 拓荆科技：2Q25业绩预增，新机台量产，毛利率和净利率提升，预计新签订单及营收高增，维持“买入” [14] - 奈飞：2Q营收增长，毛利率和净利润改善，上调收入指引和经营利润率，维持“增持” [15] - 台积电：2Q25收入超指引，上调2025年收入增速指引，看好AI需求驱动，上调收入预测和目标价，维持“买入” [16] 评级变动 - 星网锐捷评级由增持调为买入，目标价35.65元 [18] - 哈原工首次评级为买入，目标价58.91元 [18] - 石英股份首次评级为增持，目标价37.30元 [18] - 古茗首次评级为买入，目标价35.27元 [18]

产业规模与地位 - 2024年上海集成电路产业规模首次突破3900亿元，约占全国25%，其中设计业、制造业、装备材料业规模居国内前列 [1] - 2024年上半年上海集成电路产业同比增长20%，目前集聚超过1200家企业和全国约40%的专业人才 [1] - 2024年全球集成电路产业综合竞争力排名中，上海位列第四，超过美国圣何塞、日本东京和新加坡 [1] 技术创新与布局 - 芯片制造龙头企业进入全球晶圆代工行业前五，先进封装加速布局 [1] - 5G芯片实现大规模应用，CIS芯片进入全球前五，高端智驾芯片和车载激光雷达等汽车核心芯片加速创新 [1] - 刻蚀设备、清洗设备、离子技术设备、量检测设备已进入产线大规模应用 [2] 资本支持与产业生态 - 上海设立规模达1000亿元的先导产业基金，重点投资集成电路等三大先导产业 [2] - 成立上海集成电路三期基金，同步组建装备、材料、EDA等行业并购基金，推动并购整合和补链强链 [2] - 组建EDA、IP产业创新中心、RISC-V产业创新中心、汽车芯片工程中心等，加强全流程研发和行业应用 [2] 未来发展规划 - 加速产业创新发展，提升工艺水平和规模，加快战略平台建设 [3] - 深化张江、临港、嘉定的"一体两翼"布局，推动电子化学品项目研制，保障国家重大产业项目 [3] - 优化营商环境，加大人才、金融和政策支持，开展国际合作，搭建全球交流平台 [3]

半导体产业链发展 - 半导体产业链从设计到制造、设备到零部件缺一不可，技术进步使1TB储存芯片从60年前需800万栋5层大楼容纳到如今微型化[1] - 器件结构从2D到3D转换推动等离子体刻蚀和薄膜制程成为核心步骤，市场需求大幅增加[1] 中微公司产品与技术 - 主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备是光刻设备外核心微观加工设备，制程复杂度与工艺开发难度业内领先[2] - 刻蚀设备通过"二重模板"和"四重模板"工艺技术加工先进微观结构，市场需求提升带动公司高速成长[2] - 量检测设备市场占半导体前道设备总市场13%，公司通过设立超微公司布局电子束量检测设备[2] - 刻蚀设备已覆盖国内绝大多数应用，薄膜设备覆盖度持续扩大，量检测设备全面布局[2] - 首创甚高频去耦合反应离子刻蚀技术(D-RIE)引领国际巨头跟随，奠定领先地位[3] - 独创"双反应台"设计，刻蚀速度精准至0.1-0.2纳米水平，设备应用于5纳米及更先进产线[3] 技术创新与差异化战略 - 坚持不抄袭国际标配设备，综合竞品优点开发更优产品，刻蚀设备近五年营收年均增速超50%[4] - 实施三维发展、有机生长和外延扩展战略，贯彻"五个十大"确保高质量发展[4] 知识产权与市场认可 - 国外主流厂商多次发起专利诉讼，公司在四次重大诉讼中两胜两和解[5] - 截至2025年3月，累计申请专利2941项(发明专利占比83%)，构建完整专利覆盖体系[5] - 2025年TechInsights评选中获六大奖项，WFE基础芯片制造商和薄膜沉积设备榜单位列第一[6] 市场目标 - 当前产品覆盖30%集成电路前道设备，计划5-10年内覆盖60%以上高端设备市场[6] - 2035年目标成为全球第一梯队半导体设备平台型公司[6]

公司业绩与财务表现 - 2024年实现营收90.65亿元，同比增长44.7%，扣非净利润13.88亿元，同比增长16.5% [2] - 2025年一季度营收21.73亿元，同比上升35.4%，归母净利润3.13亿元，同比上升25.67% [2] - 最近14年营业收入年均增长高于35%，最近几年年均增速超过40% [2] - 2024年研发费用24.5亿元，占销售额27%，2025年一季度研发投入占比增至31.6% [2][3] - 2025年一季度末净资产201.4亿元，在手现金84.7亿元，银行借款余额7.5亿元 [3] 市场地位与战略布局 - 已覆盖约30%集成电路高端设备市场，目标未来五到十年覆盖近60% [1][4] - 等离子体刻蚀设备2024年贡献营收超72亿元，同比增长54.7%，市场份额近20% [4] - 薄膜设备市场份额约5%，光学检测设备市场占比约5% [4] - 实施三维立体发展战略：集成电路设备、泛半导体设备、外延扩展培育产业链 [4][5] - 已投资40家公司，投资额超20亿元，8家已上市，投资浮盈近59亿元 [5] 研发能力与技术创新 - 研发团队近400人，新产品开发周期从3-5年缩短至18个月 [3] - 累计装机数年均增速高于37%，最近五年增长更快 [2] - 已完成开发9种薄膜设备，2024年计划再开发7种，6种已进入市场 [4] - 泛半导体设备领域开发多种MOCVD设备，市场销售形势良好 [5] 行业趋势与国际化 - 2024年中国大陆集成电路前道设备市场规模495亿美元，占全球42% [2] - 行业未来主流趋势是整合，预计最终形成3家左右龙头企业 [6] - 海外市场已有布局，如美国有几十个反应器进行5纳米生产 [6] - 未来五到十年国产设备有望打开国际市场，可能做出超越美国企业的设备 [7]

公司业绩表现 - 2024年营业收入41.03亿元同比增长51 7%归母净利润6 88亿元同比增长3 86%但2025年一季度归母净利润同比转亏1 47亿元 [1] - 一季度盈利下降主因新产品新工艺占比达70%客户验证成本高致毛利率同比下降预计随着产品工艺成熟盈利能力将改善 [1] - 截至2024年末在手订单金额约94亿元主要产品包括薄膜沉积设备和三维集成领域先进键合设备 [1] 行业竞争格局 - 薄膜沉积设备行业由应用材料泛林半导体东京电子三大厂商垄断CVD市场70%份额三维集成领域由EV Group东京电子等公司高度垄断 [2] - 公司在薄膜沉积设备和三维集成键合设备领域形成显著先发优势成为国内半导体设备领军企业 [2] - 2024年三维集成领域先进键合设备及配套量检测设备销售收入9566 85万元同比增长48 78%多款设备获重复订单并扩大产业化应用 [2] 研发投入与产品创新 - 2024年研发投入7 56亿元2025年一季度研发投入1 57亿元占营收22 38%占比居国内同行前列 [3] - 2024年自主研发推出10余款新产品包括Flowable CVD PECVD Bianca等薄膜沉积设备及晶圆熔融键合设备等三维集成设备多数已实现产业化应用 [3] - 未来将深耕PECVD ALD SACVD等薄膜沉积设备扩大应用覆盖面并为三维集成领域提供全面技术解决方案 [3] 市场拓展战略 - 2024年收入全部来自中国大陆已在日本新加坡设立子公司布局海外市场 [4] - 2025年将继续积极寻找海外市场机会持续拓展国际化业务 [4]

报告公司投资评级 - 维持“买入”评级，目标价 212.8 元 [4][7] 报告的核心观点 - 拓荆科技 1Q25 营收 7.09 亿元同比增 50.22%，归母净利 -1 亿元同环比转亏，因部分在研设备验证成本高及加大新产品投入，毛利率降至 19.89%环比下滑 19.42pct，但新产品/工艺批量验证、工艺覆盖面扩大、量产规模增长，预计后期新签订单及营收高增，毛利率及净利率有望回升 [1] 根据相关目录分别进行总结 回顾 - 1Q25 营业收入 7.09 亿元同比大增 50.22%，毛利率 19.89%环比降 19.42pct，新产品、新工艺设备销售收入占比近 70%，部分在研商品验证费用计入成本致毛利率同比下降，研发投入 1.59 亿元占比 22.38%，归母净利润亏损 1 亿元；已实现全系列 PECVD 介质薄膜材料覆盖，先进制程 PECVD 产品贡献提升，ALD 工艺覆盖率本土第一，一季度末合同负债 37.52 亿同比增 171%，后续毛利率及净利率有望回升 [2] 展望 - 截至 2024 年末在手订单约 94 亿元；围绕薄膜和键合领域拓展新品，薄膜领域新品覆盖沟槽类等，Gapfill 和 ALD 产品已放量有望持续贡献收入；先进键合及配套量检测设备自 2023 年引入后获重复订单并扩大产业化应用，处于加速增长阶段；已建立日本和新加坡分公司，开拓海外销售渠道 [3] 盈利预测 |会计年度|2023|2024|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----|----| |营业收入(人民币百万)|2,705|4,103|5,412|6,996|8,865| |+/-%|58.60|51.70|31.88|29.27|26.72| |归属母公司净利润(人民币百万)|662.58|688.15|954.88|1,270|1,853| |+/-%|79.80|3.86|38.76|32.97|45.93| |EPS(人民币，最新摊薄)|2.37|2.46|3.41|4.54|6.62| |ROE(%)|15.96|13.94|16.58|18.48|21.98| |PE(倍)|66.02|63.57|45.81|34.45|23.61| |PB(倍)|9.52|8.28|7.02|5.83|4.67| |EV EBITDA(倍)|57.92|55.13|38.90|28.76|20.01|[6][18] 可比公司估值 |股票代码|股票简称|收盘价(当地币种)|市值(当地币种，百万)|PE(倍，2025E)|PE(倍，2026E)|PS(倍，2025E)|PS(倍，2026E)| |----|----|----|----|----|----|----|----| |002371 CH|北方华创|450.96|240891.7|32.6|25|7.6|5.3| |688012 CH|中微公司|188.26|117308.3|51.3|39.3|11.1|7.9| |688082 CH|盛美上海|104.91|46295.9|29.7|23.9|8.0|5.7| |688361 CH|中科飞测|78.28|25049.6|119.9|48.7|13.5|8.1| |688037 CH|芯源微|95.29|19166.5|61.3|41.2|9.4|6.6| |688120 CH|华海清科|165.26|39121.2|28.7|23.2|9.6|6.9| |平均| |180.49|81305.5|53.9|33.6|8.7|6.1|[12]

财务表现 - 2024年公司全年收入90.65亿元，同比+44.7%，归母净利润16.16亿元，同比-9.5%，扣非净利润13.88亿元，同比+16.5%，剔除股份支付费用后的扣非净利润18.46亿元，同比+23.6% [2] - 2024年刻蚀设备收入72.77亿元，同比+54.72%，薄膜沉积设备实现首台销售，收入1.56亿元，MOCVD设备收入3.79亿元 [2] - 25Q1公司收入21.73亿元，同比+35.4%/环比-38.9%，毛利率41.5%，同比-3.4pcts/环比+2.3pcts，归母净利润3.13亿元，同比+25.7%/环比-55.4%，扣非净利润2.98亿元，同比+13.4%/环比-48% [3] - 25Q1研发投入6.87亿元，同比+90.53%，收入占比达31.6%，远超行业平均水平 [3] 产品与技术进展 - 刻蚀工艺：先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产，高端产品新增付运量显著提升 [4] - 薄膜工艺：六种薄膜设备进入市场，开发多款金属薄膜沉积设备和新一代等离子体源的PECVD设备，LPCVD和ALD设备多款新品进入市场并获得重复性订单，其中LPCVD设备2024全年签单约4.76亿元 [4] - EPI设备进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件、MEMS和传感器、CIS、功率及射频等客户的工艺验证，化合物半导体外延设备陆续付运至客户端开展验证 [4] - 量检测工艺：子公司"超微公司"引入多名国际顶尖的电子束检测设备领域专家和领军人才，已规划多款量检测设备产品 [4] 研发与新品开发 - 公司显著增大研发投入力度，多种关键刻蚀工艺实现量产，LPCVD设备获得批量订单，EPI设备进入量产验证阶段 [2] - 公司研发新品速度显著加快，目前仅需2年或更短的时间就能开发出有竞争力的新品 [3]