半导体行业专题 空白掩模版：光刻工艺核心原料，国产化亟待突破 2025 年 10 月 10 日 ➢ 掩模版是半导体材料自主可控的关键一步。掩模版是半导体生产制造过程中 不可或缺的材料，其基本工作原理是将设计好的电路图形通过光刻刻蚀等工艺绘 制在掩模版上，随后将掩模版承载的电路图形通过曝光的方式转移到硅晶圆等基 体材料上。半导体掩模版是技术要求最高的掩模版品类，同时也是最大的掩模版 应用市场，IC 制造生产占据掩模版下游 60%的份额，而高端半导体掩模版主要 被美国和日韩厂商垄断，因此其国产化突破对国产半导体产业链具备重要战略意 义。 ➢ 全球掩模版市场空间广阔，增长动力强劲。半导体掩模版作为核心半导体材 料之一，2021 年占全球半导体材料市场的 12%，仅次于硅片和电子特气。根据 SEMI、CEMIA 数据，全球半导体掩模版市场规模有望在 2025 年达到 60.79 亿 美元，同比增长 7%。中国大陆半导体掩模版市场规模快速增长，从 2017 年的 9.12 亿美元增至 2022 年的 15.56 亿美元，2017-2022 年复合增速达到 11.3%。 随着中国大陆在先进制程领域不断突破，掩模版市场规模 ...

"它不再是孤立的数据分析工具，而是嵌入生产全流程的自主智能体。能通过感知-认知-决策-执行的完 整闭环，实现生产过程的自优化、自调整。这一突破不仅重构了流程工业的生产力形态。更标志着行业 从自动化阶段正式迈向自主化新阶段，为新型工业化注入核心动能。"中控技术表示。 数据显示，9月1日至9月30日，总共335家科创板公司获得机构调研。其中，共有17家企业获机构调研的 数量超百家。 具体来看，聚和材料、迈威生物、炬光科技、澜起科技、精智达是获机构调研数最多的五家公司，分别 有370家、340家、305家、231家、194家；从细分领域来看，半导体、自动化设备、光伏设备、专用设 备、生物制品为最受关注的五大领域。 企业布局新增长曲线受机构重点关注 随着科创板公司已披露完2025年半年度财报，9月机构在密集调研科创板公司的过程中，除常规关注企 业的业绩情况、业务进展外，亦重点关注存在新增长曲线布局的公司。 其中，聚和材料于9月9日发布公告称，计划与韩投伙伴使用自有或自筹资金680亿韩元收购SK Enpulse 关于空白掩模的业务板块。其中，聚和材料直接或间接出资比例不低于95%。 聚和材料在回复投资者有关"空白掩模版 ...

石基信息调研要点 - 与Amadeus合作打造旅游全程技术平台 Amadeus为全球最大GDS和CRS服务商 合作协议初始期限5年可续期 [1] - DYLIGHT PMS与CRS集成基础功能已完成 后续开发新功能 集成成功可实现旅客预定旅程全过程自动化处理 [1] - 已对接Sabre CRS 凯悦旗下木棉花酒店全面使用DYLIGHT PMS 外围系统将随DYLIGHT PMS迁移并被代理 [1] - 签约显著提升客户信心 利好2026年ARR增长 [1] 聚和材料调研要点 - 计划与韩投伙伴共同出资680亿韩元收购SK Enpulse空白掩模业务 公司直接或间接出资比例不低于95% [2] - 空白掩模版为掩模版核心原材料 需在超高纯度石英基板上完成高精度工序 生产环境洁净度达Class1水平 [2] - 标的公司产品主要为适配DUV-rF及KrF光刻工艺的PSM相移掩模基板 已通过SK海力士 TMC 新锐光等客户量产验证 [2] - 持续依托韩投集团资源 推进解决国内卡脖子问题的核心原材料外延布局 [2] 中国核电调研要点 - 截至8月底汇能收到新能源补贴超28亿元 预计全年约40亿元 尚余180余亿元未收 [3] - 漳州2号机组计划四季度投产 现处调试阶段 十四五核准机组数量领先 储备厂址为十五五打基础 [3] - 小堆技术可用于发电 海水淡化 供热及同位素生产 前景广阔 成立中核运维旨在集约化改革与精益管理 [3] - 浙江部分机组参与省内电力市场 华东电网交易价格稳定 江浙用电需求旺盛 浙江存在电力缺口 [3] - 分红比例维持35%以上 但因19台在建机组致资本压力大 正推进新一期股权激励方案 [3] - 预计所有电源将进入市场 核电将争取电价保障 136号文区域差异大 三北地区限电影响利润 [3] - 公司正布局海上风电及内蒙等地大基地项目 暂无汇能拆分上市计划 [3] 徐工机械调研要点 - 股权激励选取ROE 净利润和经营活动现金流净额为考核指标 兼具挑战性与可实现性 [4] - 矿机方面协同发展宽体车 矿挖 电铲等产品 打造露天矿山成套化解决方案 目标2030年矿业机械板块收入超400亿 [4] - 营销网络覆盖190余个国家和地区 预计海外市场出口收入持续增长 [4] - 下半年行业出口预计保持10%以上增速 内销受益于政策红利 更新周期与新能源智能化叠加 将持续回暖 [4] 利德曼调研要点 - 2025年上半年营收同比下降14.80% 净亏损424.52万元 受行业竞争加剧 集采政策落地等因素影响 [5] - 体外诊断试剂收入下降28.13% 占营收67.84% 诊断仪器业务同比增长106.73% [5] - 约70%试剂产品纳入集采 毛利率同比下降2.34个百分点 影响较去年收窄 [5] - 拟以现金收购先声祥瑞不超过70%股份 拓展结核诊疗与创新疫苗业务 资金来自自有资金及并购贷款 [5] - 控股股东高新科控将公司作为五个一生命科学战略布局重要一环 支持提升综合竞争力 [5] 嘉实基金概况 - 资产管理规模(全部公募基金)11092.93亿元 排名7/210 资产管理规模(非货币公募基金)6742.73亿元 排名6/210 [6] - 管理公募基金数630只 排名9/210 旗下公募基金经理101人 排名5/210 [6] - 最近一年表现最佳公募基金产品为嘉实上证科创板芯片ETF 最新单位净值2.19 近一年增长155.02% [6] - 最新募集公募基金产品为嘉实中证港股通汽车产业主题指数发起式A 类型为指数型-股票 集中认购期2025年9月15日至9月26日 [6] 绿电ETF数据 - 产品代码562550 跟踪中证绿色电力指数 近五日涨跌-0.53% 市盈率17.45倍 [8] - 最新份额1.4亿份 增加0.0份 主力资金净流入74.6万元 估值分位47.70% [8][9]

公司融资与业务进展 - 中科卓尔完成B轮领投方资金交割 领投方为中银国际投资旗下的成都交子中赢创新发展基金 合计B轮融资规模数亿元[5] - 资金将用于半导体光刻用石英掩模基板的工艺研发 国产化产线建设及突破量产瓶颈[5] - 公司成立于2018年 由中科院光电所杨伟博导领衔组建 突破半导体掩模版基板精密抛光与镀膜关键技术 具备从工艺到核心设备的研发生产能力[5] - 主要产品覆盖130-250nm制程半导体/显示用空白掩模版 28-90nm产品正在积极储备研发[5] - 公司已实现三项自主突破：超精密抛光工艺表面粗糙度优于0.2纳米 磁控溅射镀膜设备膜层均匀性±2% 缺陷检测系统可识别0.3微米级瑕疵[7] - 空白掩模版已通过路维光电 龙图光罩和国内多家下游企业验证 成都中试线已完成工艺与产品验证[4][7] - 团队由中科院光电所博导杨伟主导 曾参与国家02专项研发 姜文汉院士为首席科学家顾问 核心技术团队包含多名博士及产业专家顾问[7] 行业市场格局 - 2024年全球空白掩模版市场规模约为36亿美元 中国需求折算约为100亿元人民币[6] - 中国大陆所需中高端空白掩模版严重依赖进口 当前几乎被日本HOYA 日本信越化学 韩国KTG等少数几家企业垄断 国产化率预计不足1%[6] - 电子束曝光与缺陷检测等核心设备长期受美日出口管制 国内扩产受限[6] - 中国大陆能够小批量稳定供应第三方石英空白掩模版的企业仅4-5家 且关键制程设备仍依赖进口[6] - 现有光刻技术路线下 掩模版作为关键材料仍有约10年的不可替代周期[6] 技术发展现状 - 空白掩模版作为光刻工艺中的图形转移载体 是芯与屏用光刻的核心材料 直接影响光刻精度及产品良率[6] - 国产空白掩模版在130-500nm制程已实现技术对标 但在100nm以内更先进节点仍需进一步突破[7] - 依赖进口设备的产线存在停摆风险[6] 投资方观点 - 中银国际投资认为公司具备技术稀缺性与产业链卡位优势 团队拥有十余年产业积淀 高度契合国家高端制造自主化战略[8] - 四川鼎祥认为公司以自研设备和工艺完成中试线建设及运营 覆盖多个关键产业环节 是国产化率较高的国内空白掩模版领域领先企业[8]

行业动态 - 慕尼黑国际光博会是全球光电子行业最具影响力和规模的专业展览之一 覆盖整个光电子行业 展示从基础研究到工业应用全产业链 [1] - 展会吸引了来自43个国家和地区的行业领先企业 科研机构和行业精英 共同探讨光电行业前沿技术与发展趋势 [1] - 展会期间举办的世界光电技术大会是欧洲三大科学大会之一 促进产学研深度融合 [1] 成都光电产业国际化 - 12家成都企业首次组团参展慕尼黑国际光博会 展品涵盖光电子器件制造 光学系统设计 激光与红外器件研发等多个领域 [2] - 成都绛溪未来光电科技展示R-800型四极杆质谱检漏仪 MDS500掩模版缺陷检测仪 空白掩模版等自主创新产品 寻求与欧洲产业链合作 [2] - 成都新源汇博光电科技重点展示激光晶体 精密光学元器件 探测器等三大核心技术产品线 计划收集50家以上潜在客户信息 [2] 产业发展与政策支持 - 成都市积极推动光电产业发展 出台一系列支持政策 培育具有国际竞争力的光电企业 [3] - 成都企业通过参加国际顶级展会了解国际市场需求 学习先进技术 提升创新能力和市场竞争力 [3] - 参展有助于"成都造"光电产品拓展海外市场 推动成都光电产业高质量发展 [3]