持股计划实施 - 2024年3月13日公司审议通过芯征途（三期）持股计划议案[1] - 2024年4月23日议案经股东大会审议通过[1] - 2024年5月15日1,766,800股股票非交易过户至专用账户[2] 持股计划减持 - 2025年7月22 - 23日减持1,766,800股，占总股本0.56%[4] - 截至公告披露日持股计划股票全部减持完毕[4] 后续安排 - 持股计划已实施完毕并提前终止，后续清算分配[5]

资金管理 - 2024年3月13日同意用不超2亿元闲置募集资金现金管理，有效期12个月可滚动使用[3] - 2024年7月17日用7500万元买宁波银行结构性存款，预期年化收益率1.00%-2.80%[3][4] - 2025年7月17日赎回7500万元本金，获理财收益2082739.73元[4] - 2025年7月21日用4000万元买宁波银行结构性存款，预期年化收益率1.00%-2.15%[6] 其他情况 - 公司与受托方无关联关系[6] - 采取措施控风险保资金安全[7] - 使用闲置资金不影响项目建设，可提效获收益[8] - 议案已通过审议，保荐机构同意[9] - 本次额度和期限在审批内，无需另行审议[10] - 公告日前十二个月累计未到期金额4000万元，未超授权额度[11]

行业市场规模与增长 - 2024年半导体电镀铜行业市场规模达52亿元 预计2028年突破97亿元 年复合增长率16.8% [1][12] - 电镀液细分市场占据65%主导份额 先进封装领域年复合增长率达18.92% [1][14] - 先进封装市场规模从2020年351.3亿元增长至2025年超1100亿元 年复合增长率25.6% [10] 技术突破与国产化进展 - 本土企业实现关键技术突破：南通赛可特沉积速率反转专利实现TSV无空隙填充 艾森股份完成28nm电镀液认证 北方华创推出首台国产12英寸TSV设备 [1][16][18] - 产学研协同创新显著：南航协同电铸工艺降低纳米孪晶铜厚度不均性40% 中科院毫米级单晶铜电镀技术缺陷密度下降90% [16][22] - 国产化率不足30% 高端光刻胶及靶材仍依赖进口 但14nm及以上制程电镀液已实现国产替代 [8][18] 产业链结构与应用领域 - 产业链上游为高纯铜盐/添加剂/设备 中游为电镀材料与技术 下游覆盖晶圆制造与先进封装 [8] - 主要应用场景包括铜互连/TSV/RDL/铜柱凸块 其中先进封装与晶圆制造成为增长双引擎 [14] - 国际巨头垄断5nm以下高端市场75%份额 本土企业聚焦成熟制程与先进封装差异化突破 [18] 工艺控制与技术创新 - 电镀工艺需精确控制电流密度(0.1-1.0A/dm²)/温度(40-80℃)/pH值(5.0-7.0)/金浓度(8-20g/L)等参数 [7] - 氰化物镀金工艺通过多变量耦合控制实现粗糙度≤100nm 硬度均匀性±5% 满足5G芯片与GPU高端需求 [6] - 绿色制造成为重点：无氰工艺研发取得进展 AI监控提升良率稳定性 盛美推出电镀-CMP-清洗一体化设备 [20][22] 未来发展趋势 - 行业围绕技术自主化/绿色制造/产业链协同三大方向发力 重点攻关5nm工艺与无氰技术研发 [1][20] - TSV电镀液市场规模预计2028年达50亿元 年复合增长率18.92% HBM存储与3D封装驱动需求增长 [14][23] - 材料-设备企业深度协同 光伏领域推动铜电镀"去银化" 氢能领域拓展应用场景 [23]

光刻胶技术难点 - 光刻胶由光引发剂、树脂、单体、溶剂等组成，配方复杂且不同类型要求各异，如EUV光刻胶需在13.5纳米波长下工作，对光敏感度和分辨率要求极高[7][9] - 纯度要求达ppb甚至ppt级别，例如ArF光刻胶金属离子含量需低于1ppb，否则影响芯片电学性能[11] - 生产设备需精密控制温度、压力等参数，高端设备被国外垄断，国内获取困难[12] - 高端树脂如ArF光刻胶用树脂需在193纳米波长下保持光学透明性，技术被国外企业掌握[14][15] - 光引发剂主要由巴斯夫等外企供应，EUV级别产品合成难度极高[17] - 溶剂纯度需达99.99%以上，且需控制金属离子和颗粒杂质[18] 市场格局与竞争 - 全球CR5企业（信越化学、JSR等）市占率超85%，JSR在ArF光刻胶全球第一且唯一量产EUV光刻胶[19] - 新进入者认证周期长达2-3年，客户粘性强[21] - 2024年全球市场规模47.4亿美元（343.28亿元），预计2025年增长7%至50.6亿美元（366.46亿元）[30] - 2023年中国市场规模121亿元占全球15%，但高端产品自给率极低：g线/i线约10%，KrF不足5%，ArF基本依赖进口[31] - 国内科华实现KrF量产，南大光电ArF胶获小批量订单，新阳ArF胶预计2025年销售[33][34] 国产化进展 - "02专项"支持光刻胶研发，如南大光电建成国内首条EUV胶中试线，预计2026年完成客户导入[24][36] - 地方政府如江苏将光刻胶列入"十四五"重点，提供资金和政策支持[37] - 企业通过产学研合作（如南大光电与北大）和引进再创新（如上海新阳）突破技术瓶颈[38][39] - 国内市场替代优先，科华KrF胶已在国内芯片厂小批量应用[40] 行业发展趋势 - 5G、AI等新兴技术推动高端光刻胶需求增长[44] - 国产替代空间大，但需突破EUV等尖端技术[45] - 政策支持持续，如税收优惠和研发补贴[46] - 技术风险显著，EUV胶研发涉及配方、原材料等多重难题[47] - 国际巨头主导下市场竞争激烈，价格波动大[48]

资金使用 - 2024年3月13日同意用不超2亿闲置募资现金管理，有效期12个月可滚动[1] - 2024年7月9日使用5000万闲置募资买浙商银行两款存款[2] 理财收益 - 2025年7月11日赎回5000万理财本金，获收益1263888.88元[4] 未到期金额 - 截至公告日前十二个月累计未到期现金管理金额7500万[6] 存款信息 - 两款浙商银行存款各2500万，预期年化收益率1.60%或2.50%或2.90%[3]

CMP技术概述 - CMP技术是集成电路制造中实现晶圆表面平坦化的关键工艺，通过化学腐蚀及机械力耦合实现全局平坦化 [6] - CMP设备包含抛光、清洗、传送三大模块，抛光头将晶圆压抵在抛光垫上完成平坦化处理 [6] - 该技术广泛应用于硅片制造、集成电路制造和封装测试三大领域 [9][10] CMP材料市场 - 抛光液和抛光垫合计占CMP材料市场份额超过80%，其中抛光液占比49%，抛光垫占比33% [15][18] - 全球抛光垫市场规模从2016年6.5亿美元增长至2021年11.3亿美元，CAGR达11.69% [45][49] - 中国抛光液市场规模增速显著高于全球，2016-2021年从12.3亿元增至22亿元，CAGR为12.28% [48][50] 技术壁垒与竞争格局 - 抛光垫市场被陶氏杜邦垄断，2019年市占率达79%，其余主要为美日企业 [57][62] - 抛光液市场Cabot占比33%，日立13%，富士美10%，安集科技作为中国企业占2% [66][67] - 国内鼎龙股份实现抛光垫技术突破，2022年该业务收入达4.57亿元，同比增长48.7% [74][77] 行业发展驱动因素 - 制程节点进步导致CMP步骤增加，7nm以下工艺需30余步抛光 [36][38] - 人工智能发展带动算力需求，ChatGPT参数量增长1496倍刺激芯片需求 [37] - 政策扶持推动国产替代，《"十四五"数字经济发展规划》等文件提供支持 [40] 国内企业进展 - 鼎龙股份抛光垫毛利率从2018年16.06%提升至2022年65.54% [77] - 公司布局2万吨抛光液产能项目，预计2023年三季度完成建设 [81] - 安集科技在宁波建设1.5万吨抛光液生产线，突破美日企业垄断 [70] 材料技术特性 - 抛光液由磨料、PH调节剂、氧化剂等组成，按应用分为铜、钨、硅等六大类 [16][19] - 抛光垫寿命仅45-75小时，按材质分为聚合物、无纺布、复合型等四类 [20][22] - 抛光垫沟槽设计影响抛光液流动效率，尺寸增大可提升混合区域但降低更新速度 [53]

股东减持计划公告 - 安控科技股东深圳高新投计划减持不超过总股本3%的股份 [1] - 安诺其控股股东一致行动人及监事计划减持不超过总股本2.01%的股份 [1] - 昂利康监事计划减持不超过总股本0.08%的股份 [1] - 财富趋势实际控制人计划减持不超过总股本3%的股份 [2] - 德艺文创控股股东计划减持不超过总股本3%的股份 [2] - 电声股份控股股东一致行动人计划减持不超过总股本1.7123%的股份 [2] - 东来技术计划减持不超过总股本1%的已回购股份 [3] - 孚能科技股东深圳安晏计划减持不超过总股本1%的股份 [3] - 金龙汽车股东福建投资集团计划减持不超过总股本1%的股份 [4] - 竞业达控股股东计划减持不超过总股本3%的股份 [4] - 青龙管业控股股东及实际控制人计划减持不超过总股本3%的股份 [6] - 深水海纳股东及一致行动人计划减持不超过总股本2%的股份 [8] - 斯迪克控股股东计划减持不超过总股本3.05%的股份 [8] - 索通发展控股股东及一致行动人计划减持不超过总股本2.21%的股份 [8] - 泰嘉股份控股股东计划减持不超过总股本3%的股份 [8] - 万业企业股东计划减持不超过总股本0.2%的股份 [8] - 威唐工业控股股东及一致行动人计划减持不超过总股本1.9453%的股份 [9] - 仙乐健康董事计划减持不超过总股本1.47%的股份 [9] - 鑫铂股份股东南京天鼎计划减持不超过总股本1.54%的股份 [10] - 药石科技董事计划减持不超过总股本0.0065%的股份 [10] - 长高电新高级管理人员计划减持不超过总股本0.0193%的股份 [10] - 浙江自然股东天台瑞聚计划减持不超过总股本1%的股份 [10] - 中钢洛耐股东国新双百壹号计划减持不超过总股本0.5%的股份 [10] - 中伟股份监事计划减持不超过总股本0.02%的股份 [11] 已完成减持情况 - 博实股份股东联创未来累计减持30,676,815股，占总股本3% [2] - 虹软科技股东瑞联新产业累计减持12,035,112股，占总股本3% [4] - 江苏博云股东龚伟累计减持2,913,999股，占总股本2.9418% [4] - 久其软件董事施瑞丰累计减持885,733股，占总股本0.1027% [4] - 欧晶科技股东万兆慧谷减持2,540,380股，占总股本1.32% [6] - 品渥食品股东吴柏赓累计减持896,000股，占总股本0.9%，持股比例降至11.98% [6] - 容大感光董事蔡启上累计减持63,000股，占总股本0.0172% [6] - 上海新阳股东上海新科累计减持2,000,000股，占总股本0.64% [7] - 顺络电子股东袁金钰累计减持7,483,722股，占总股本0.9281%，持股比例降至6% [8] - 咸亨国际股东咸宁等累计减持12,310,503股，占总股本3% [10] - 亚康股份高级管理人员吴晓帆累计减持50,000股，占总股本0.06% [10] - 中信博董事及高级管理人员周石俊等累计减持38,500股，占总股本0.0176% [11] 减持计划未实施情况 - 龙建股份高级管理人员张中洋等减持计划期限届满未减持 [5]

减持计划完成情况 - 公司控股股东上海新科投资有限公司已完成减持计划 减持期间为2025年7月1日至2025年7月2日 [1] - 减持均价为39 06元/股 减持数量为200万股 占公司总股本的0 64% [1] 减持后持股情况 - 减持后上海新科持有公司股份2078 81万股 占总股本的6 67% [1]

股东减持 - 2025年05月08日披露股东减持预披露，近日实施完毕[1] - 上海新科2025年07月01 - 02日集中竞价减持，均价39.06元/股，数量200万股，比例0.64%[1] 股权变化 - 公司总股本311,496,558股[1] - 上海新科减持前持股7.31%，后持股6.67%[3] - 减持前无限售股占比1.83%，后占比1.19%，限售股占比5.49%不变[3] 影响说明 - 减持符合规定无违规[4] - 不会导致控制权变更，不影响治理和经营[5]

持股计划 - 2022年7月5日257,300股公司股票过户至持股计划专用账户[2] - 持股计划存续期48个月，分三期解锁，锁定期12、24、36个月[3] - 每期解锁比例50%、30%、20%[3] 业绩考核 - 第三个锁定期对应51,460股，占总股本0.016%[3] - 2024年营收目标15亿，实际14.75亿，达成率98.33%[3][4] - 第三个锁定期2025年7月5日届满[1]