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全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”
财联社· 2025-08-14 09:35
国产电子束光刻机技术突破 - 全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"进入应用测试阶段,精度比肩国际主流设备 [1] - 设备由浙大余杭量子研究院自主研发,专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节 [1] - 设备通过高能电子束在硅基上"手写"电路,精度达到0.6nm,线宽8nm [1] 设备技术特点 - 设备无需掩膜版,可灵活修改设计,适合芯片研发初期的反复调试 [1] - 设备被比喻为"纳米神笔",能在头发丝上雕刻出整座城市地图 [1] - 设备采用100kV电子束技术,命名为"羲之",寓意用电子束在芯片上"刻写"电路 [1] 行业影响 - 该设备标志着量子芯片研发有了"中国刻刀",提升了国内在高端光刻机领域的自主创新能力 [1] - 设备已正式投入市场,有望推动量子芯片和新型半导体研发的进程 [1]
国家石墨烯创新中心主任刘兆平:强化关键共性技术攻关 点燃未来产业新“烯”望
上海证券报· 2025-03-31 03:20
文章核心观点 - 石墨烯被视为"新材料之王" 在量子芯片和电机等关键领域具有巨大应用潜力 有望成为新质生产力引擎 [1][2][3] - 国家石墨烯创新中心在关键共性技术研发和产业化应用上取得系列突破 包括超级铜和高比能电池等 并实现自我造血能力增强 [1][4] - 中心计划在2025年强化技术攻关并推进未来产业先导区建设 同时建议通过强化投融资和补强产业链短板来推动产业发展 [1][6][7] 石墨烯材料特性与应用前景 - 石墨烯核心价值在于其突出的材料特性 如在高温等极端环境下保持稳定 对研发高频芯片至关重要 [2] - 石墨烯开创了二维材料研究方向 带动二硫化钼等同类材料发展 并能与其他材料结合创造性能更强的复合材料 [2] - 未来主要应用场景是电子信息领域 特别是量子芯片与光通信 若替代传统硅材料制造芯片将推动人工智能等产业跨越式发展 [2] - 在电机应用领域潜力巨大 石墨烯与铜基体复合后的"超级铜"导电性可超越银 应用于电机可使能效显著提升 [2] - 石墨烯的原子级稳定结构为量子芯片设计提供新思路 或可突破硅基芯片的物理极限 [2] 国家石墨烯创新中心阶段性成果 - 中心团队规模300余人 其中研发人员占比近90% 汇聚行业领军专家10人 累计投入建设资金超5亿元 购置设备1000余台套 [4] - 自我造血能力不断增强 2023年度营业收入突破1000万元 利润总额近500万元 2024年营业收入超2500万元 [4] - 新申请专利近200项 其中发明专利110余项 开展技术标准研制26项 发布标准15项 形成技术成果19项 孵化10家新企业 [4] - 在石墨烯材料规模化制备技术及在超级铜 高比能电池等领域的应用技术方面取得突破 [4] - 超级铜样品实测最高电导率达118%IACS 可使电机性能提升7%至8% 已启动年产300吨石墨烯铜复合材料中试线建设 [5] - 与中车研究院 吉利汽车研究院等合作推进超级铜在高铁牵引电机和新能源汽车电机上的应用开发 [5] 中心未来规划与产业发展建议 - 2025年中心将全力完成既定技术研发任务 并继续在宁波孵化一批石墨烯新企业 推动浙江省石墨烯未来产业先导区建设 [6] - 宁波发展石墨烯产业具备三大优势:创新资源高度集聚 地方政策持续赋能 以及产业链与市场端的双重优势 [6] - 建议从两方面继续发力:强化政府引导的天使投资以扶持早期技术 以及补强产业链短板通过加强上下游协同创新 [7]